本發明公開了一種電噴霧裝置及利用電噴霧制備太陽能電池減反層的方法，利用電噴霧的原理，在透明導電薄膜上制備一層倒置納米碗微結構的減反層，形狀類似于倒扣的半球形；通過調節噴液的流速，噴嘴的口徑大小，高壓發生器的電壓以及金屬噴嘴與透明導電層的間距等參數來控制倒置“納米碗”的形狀及大小；通過PC控制單元調節運動平臺在X和Y方向的運動速度來控制倒置納米碗的密度。本發明采用電噴霧技術來制備減反層，工藝環境要求低，整個工藝過程采用數字化控制，工藝參數易于控制；制備的減反層能有效地降低太陽能電池表面的反射，增大光的通透性，在一定波長范圍內能有效地提高了太陽能電池的光電轉換效率。

1.一種電噴霧裝置，其特征在于，包括：微量注射泵(1)，注射器(2)，
硅橡膠管(3)，可程控高壓發生器(4)，金屬噴嘴(5)，夾持裝置(6)，
冷光源(8)，CCD高速相機(9)，PC控制單元(10)，TCO基板(11)，
電極板(12)和可程控的運動平臺(13)，
所述注射器(2)中用于填充電噴霧溶液并被安裝在所述微量注射泵(1)
上，在所述微量注射泵(1)的推動作用下，通過所述硅橡膠管(3)將電
噴霧溶液輸送至所述金屬噴嘴(5)；所述可程控高壓發生器(4)的正極與
所述金屬噴嘴(5)相連，所述可程控高壓發生器(4)的負極接地線，由
此使電噴霧溶液在電場作用下從所述金屬噴嘴(5)向所述TCO基板(11)
的表面噴射；所述TCO基板(11)位于所述金屬噴嘴(5)的噴射下方，
且所述金屬噴嘴(5)垂直于所述TCO基板(11)；所述金屬噴嘴(5)在Z
方向的位置由所述夾持裝置(6)決定，通過所述夾持裝置(6)來調節所
述金屬噴嘴(5)與所述TCO基板(11)之間的垂直距離；所述TCO基板
(11)、所述電極板(12)和所述可程控的運動平臺(13)固定在一起，所
述TCO基板(11)在頂層，所述電極板(12)在中間層，所述可程控的運
動平臺(13)在底層；所述電極板(12)用于增強所述金屬噴嘴(5)與所
述TCO基板(11)之間的電場強度，且與地線相連接；當電場逐漸增強時，
所述金屬噴嘴(5)處的液滴由球狀被拉長為錐狀，即形成泰勒錐；所述PC
控制單元(10)引出一條數據線與所述CCD高速相機(9)相連接，所述
冷光源(8)射出的光線進入所述CCD高速相機(9)的鏡頭后，通過所述
PC控制單元(10)可以查看所述金屬噴頭(5)處的噴射狀態；所述PC控
制單元(10)引出另一條數據線與所述可程控的運動平臺(13)相連接，
通過所述PC控制單元(10)來精確調節所述TCO基板(11)沿著X軸或
Y軸方向的平移位移及速度。
2.如權利要求1所述的電噴霧裝置，其特征在于，所述金屬噴頭(5)
與所述TCO基板(11)之間的垂直距離為5cm～10cm。
3.如權利要求1所述的電噴霧裝置，其特征在于，所述電噴霧溶液為
質量百分比濃度為1％～10％的納米TCO溶液。
4.如權利要求1所述的電噴霧裝置，其特征在于，所述金屬噴頭(5)
的內徑為0.1mm～0.5mm。
5.一種利用權利要求1-4任一項所述的電噴霧裝置制備太陽能電池減
反層的方法，其特征在于，包括下述步驟：
(1)將TCO基板進行改性處理，若TCO基板為親水性，則進行疏水
處理，反之進行親水處理；
(2)配置質量百分比濃度為1％～10％的納米TCO溶液作為電噴霧溶
液；
(3)調節微量注射泵使得所述注射器輸出至金屬噴嘴的噴液流量為1～
10uL/min；
(4)通過高壓發生裝置在所述金屬噴嘴與所述TCO基板之間施加3～
10kV的電壓，并調節所述可程控的運動平臺沿著X軸或Y軸方向以10～
20mm/s的速度平移使得所述TCO基板沿著X軸或Y軸平移；
(5)所述噴液從噴嘴處噴射、霧化，在所述TCO基板上形成直徑為
0.1～1um的液滴，并逐漸固化為半球形的納米碗陣列后獲得太陽能電池減
反層結構。
6.如權利要求5所述的方法，其特征在于，所述TCO基板為納米FTO
基片、納米AZO基片或納米ITO基片。
7.如權利要求5所述的方法，其特征在于，所述TCO基板的材料與
所述電噴霧溶液的材料相同。
8.如權利要求5所述的方法，其特征在于，通過所述PC控制單元來
調節所述可程控的運動平臺沿X軸或Y軸的運動速度來控制所述納米碗陣
列的分布密度。
9.如權利要求5所述的方法，其特征在于，所述納米碗陣列中納米碗
的直徑為0.1um～1um；相鄰納米碗之間的統計距離為0.1um～1.5um。
10.一種太陽能電池，包括根據權利要求5-9任一項所述的方法制備的
太陽能電池減反層。