1.一種氣體溫度控制裝置，包括氣體側管路，其特征在于，還包括：
液體側管路以及控制器；
其中，所述氣體側管路由消音器，潔凈風機，熱交換器，溫度傳感器、以
及風速傳感器組成，所述消音器設置于裝置進氣口處和出氣口處，所述潔凈風
機通過氣體管路連接于所述進氣口處的消音器，所述熱交換器通過氣體管路連
接于所述潔凈風機和所述出氣口處的消音器，所述溫度傳感器設置于所述熱交
換器兩側，所述風速傳感器設置于所述熱交換器與所述出氣口處的消音器之間；
所述液體側管路由第一回路與第二回路組成，所述液體側管路連接于所述
熱交換器；
其中所述第二回路包括電動雙通閥，手動調壓閥，循環泵與溫度傳感器；
所述第一回路則包括球閥，過濾器與溫度傳感器；
所述循環泵使得液體在所述熱交換器內連續循環，使得旁通的回液側壓力
高于進水側壓力，使得部分經過所述熱交換器的回水與新的循環水相混合，其
余回水流出循環。
2.根據權利要求1所述的氣體溫度控制裝置，其特征在于，所述電動雙通
閥控制所述新的循環水的流量，通過占空比控制氣體的溫度精度。
3.根據權利要求1所述的氣體溫度控制裝置，其特征在于，所述熱交換器
的數量為兩個。
4.根據權利要求3所述的氣體溫度控制裝置，其特征在于，所述液體側管
路還包括第三回路，所述第三回路與所述第二回路結構相同，所述兩個熱交換
器分別連接于所述第二回路和第三回路。
5.根據權利要求3所述的氣體溫度控制裝置，其特征在于，所述兩個熱交
換器的出口處分別設置有管道加熱器。
6.根據權利要求1所述的氣體溫度控制裝置，其特征在于，該裝置包括回
風風道，連接所述裝置進氣口和出氣口。
7.根據權利要求6所述的氣體溫度控制裝置，其特征在于，所述回風風道
上設置有回風風閥。
8.根據權利要求7所述的氣體溫度控制裝置，其特征在于，所述回風風閥改變
氣體供應流量，同時將裝置出氣口的氣體，與進入裝置的氣體混合后，通過熱
交換器與液體循環回路的控制，進一步提高氣溫精度。
展開
