本發明屬于襯底基片加工技術領域，具體涉及一種減薄砂輪及其制備方法。所述減薄砂輪，包括以下體積份數的原料：金剛石17?22份、碳化硅9?19份、氧化鋅2?5份、石墨1?3份、酚醛樹脂25?45份、碳酸氫鈉2?4份、偶聯劑2?4份。本發明制備的襯底基片加工用砂輪分別采用單向壓制和雙向壓制而成，采用該砂輪可以使磨削的基片表面粗糙度低，無劃痕、凹坑、微裂紋等表面/亞表面損傷；砂輪可以實現縱向梯度差小于2%，基片表面粗糙度值小于20nm，提高了基片表面幾何精度和表面完整性；避免了基片加工的質量不穩定，提高了生產效率和良品率。

1.一種減薄砂輪的制備方法，其特征在于，所述砂輪用于基片襯底的減薄，包括以下體積份數的原料：金剛石17-22份、碳化硅9-19份、氧化鋅2-5份、石墨1-3份、酚醛樹脂25-45份、碳酸氫鈉2-4份、偶聯劑2-4份；包括如下步驟：1）將配方中的金剛石、碳化硅、偶聯劑與稀釋劑攪拌均勻；2）將步驟1）的混合物料進行超聲分散，然后烘干；3）將氧化鋅、石墨、酚醛樹脂和碳酸氫鈉與步驟2）的物料進行混合、過篩；4）將步驟3）的混合物料分成兩部分投入模具進行壓制成型，投入第一部分用料時，采取單向壓制；投入第二部分用料時，采用雙向壓制；5）將步驟4）壓制成型后的物料降至室溫脫模，得到砂輪環；6）步驟5）得到的砂輪環經過加工即得所述減薄砂輪；所述金剛石為鍍鎳金剛石，偶聯劑為偶聯劑550；配料中金剛石粒徑為8-12μm，碳化硅采用兩種不同的粒徑，分別為3.5μm、5μm，其對應的體積份數分別為4-10份、5-9份，氧化鋅粒徑為1-3μm，石墨粒徑為2-4μm，酚醛樹脂粒徑為13-20μm，碳酸氫鈉粒徑為50-100μm；步驟1）中稀釋劑為乙醇；步驟4）壓制成型溫度為150-250℃；步驟4）中第一部分用料投入高度為1-5mm，單向壓制的壓力為1-10Mpa；第二部分用料投入高度為5-10mm，雙向壓制的壓力為5-20Mpa。2.權利要求1所述減薄砂輪的制備方法，其特征在于，步驟4）中第二部分用料均分成五部分進行投料。3.權利要求1所述減薄砂輪的制備方法，其特征在于，步驟4）中第一部分用料硬化后鑲在基體槽內，第二部分用料硬化后用作基片減薄。4.根據權利要求1所述減薄砂輪的制備方法，其特征在于，步驟4）中第二部分用料硬化后砂輪密度是第一部分用料硬化后砂輪密度的75%。5.權利要求1-4任一所述制備方法制得的砂輪。6.根據權利要求5所述的砂輪，其特征在于，砂輪環尺寸是1A8型。