本發明屬于碳化硅襯底加工技術領域，具體涉及一種用于2英寸及以上規格碳化硅襯底的倒角用砂輪及其制備方法。所述碳化硅襯底倒角用砂輪，包括基體和磨料層，所述磨料層包括以下重量份的原料：磨料20?30份，金屬結合劑56?95份，添加劑1?7份；所述添加劑是氯化鈉、氯化鉀、碳酸鈉、碳酸鉀中的一種或幾種任意比例混合物。本發明的砂輪配方、加工工藝簡單，操作簡便；可對2英寸及以上尺寸的碳化硅襯底進行倒角加工，加工效果好，工件在高亮白光下目測無鋸齒和崩口現象。

1.一種碳化硅襯底倒角用砂輪，包括基體和磨料層，其特征在于：所述砂輪用于2英寸和4英寸的碳化硅襯底倒角加工，所述磨料層由以下重量份的原料組成：磨料20-30份，金屬結合劑56-95份，添加劑1-7份；所述添加劑是氯化鈉、氯化鉀、碳酸鈉、碳酸鉀中的一種或幾種任意比例混合物；所述添加劑的粒徑≤100μm；所述金屬結合劑由以下重量份數的原料組成：銅粉30-50份，錫粉25-40份，鋁粉1-5份；所述磨料為金剛石，金剛石目數是500-1500目；所述基體的制備材料為鋁合金；所述碳化硅襯底倒角用砂輪的制備方法，包括如下步驟：1) 按比例取磨料層各原料，加入到充滿保護性氣氛的混料罐內并密封，混料均勻；2) 將步驟1) 所得的混合料加入到模具中，進行壓制，壓制壓力為1000kg/cm²或2000kg/cm²或2500kg/cm²，得到坯料；3) 將步驟2) 坯料燒結，充入氫氣作為保護氣，以100℃/h的速率升溫至400-500℃并保溫1-2h，保溫結束后即得砂輪磨料層；4) 將步驟3) 所得的砂輪磨料層粘接在砂輪基體上，即得砂輪毛坯；5) 將步驟4) 所得的砂輪毛坯按照要求加工到需要的尺寸精度，制備砂輪半成品；6) 將步驟5) 加工合格的砂輪半成品進行檢驗并做動平衡，達到精度要求后即為碳化硅襯底倒角用砂輪；步驟1) 中所述保護性氣氛為氮氣。2.根據權利要求1所述的碳化硅襯底倒角用砂輪，其特征在于，磨料層由以下重量份的原料制成：銅50份，錫28份，鋁1份，氯化鉀1份，金剛石20份，所述金剛石目數為500；步驟1) 磨料層混料時間為5h，步驟2) 壓制壓力為1000kg/cm²；步驟3) 坯料升溫至400℃并保溫1h。3.根據權利要求1所述的碳化硅襯底倒角用砂輪，其特征在于，磨料層由以下重量份的原料制成：銅33份，錫25份，鋁5份，氯化鉀2份，碳酸鉀5份，金剛石30份，所述金剛石目數為1500；步驟1) 磨料層混料時間為20h，步驟2) 壓制壓力為2500kg/cm²；步驟3) 坯料升溫至500℃并保溫2h。4.根據權利要求1所述的碳化硅襯底倒角用砂輪，其特征在于，磨料層由以下重量份的原料制成：銅40份，錫28份，鋁3份，氯化鈉2份或碳酸鉀2份或氯化鈉、碳酸鉀各1份，碳酸鈉2份，金剛石25份，所述金剛石目數為1000；步驟1) 磨料層混料時間為10h，步驟2) 壓制壓力為2000kg/cm²；步驟3) 坯料升溫至450℃并保溫1.5h。5.根據權利要求1所述的碳化硅襯底倒角用砂輪，其特征在于，磨料層由以下重量份的原料制成：銅36份，錫40份，鋁3份，碳酸鈉1份，金剛石20份，所述金剛石目數為500；步驟1) 磨料層混料時間為5h，步驟2) 壓制壓力為1000kg/cm²；步驟3) 坯料升溫至500℃并保溫1h。6.根據權利要求1所述的碳化硅襯底倒角用砂輪，其特征在于，磨料層由以下重量份的原料制成：磨料層由以下重量份的原料制成：銅40份，錫28份，鋁5份，氯化鉀2份，碳酸鉀5份，金剛石20份，所述金剛石目數為500；步驟1) 磨料層混料時間為5h，步驟2) 壓制壓力為1000kg/cm²；步驟3) 坯料升溫至480℃并保溫1h。7.根據權利要求1所述的碳化硅襯底倒角用砂輪，其特征在于，磨料層由以下重量份的原料制成：磨料層由以下重量份的原料制成：銅30份，錫30份，鋁3份，氯化鈉3份，碳酸鈉4份，金剛石30份，所述金剛石目數為500；步驟1) 磨料層混料時間為10h，步驟2) 壓制壓力為1000kg/cm²；步驟3) 坯料升溫至500℃并保溫1h。8.根據權利要求1所述的碳化硅襯底倒角用砂輪，其特征在于，磨料層由以下重量份的原料制成：磨料層由以下重量份的原料制成：銅30份，錫30份，鋁3份，氯化鉀2份，碳酸鉀3份，金剛石30份，所述金剛石目數為500；步驟1) 磨料層混料時間為10h，步驟2) 壓制壓力為1000kg/cm²；步驟3) 坯料升溫至420℃并保溫2h。9.根據權利要求1所述的碳化硅襯底倒角用砂輪，其特征在于，所述砂輪的型號為1FF1V/9或1FF1V/6；所述型號為1FF1V/9的砂輪用于2英寸碳化硅襯底的倒角加工，所述型號為1FF1V/6的砂輪用于4英寸碳化硅襯底的倒角加工。