本發明公開了一種探針臺的結構，該探針臺內部設計有可移動的支架，用于支撐晶圓，并帶動晶圓一起移動；探針臺的卡盤固定不動，且上表面面積大于或等于被測芯片的面積，小于被測晶圓的面積。本發明還公開了利用上述探針臺測試晶圓的方法，步驟包括：1)在支架的上表面加負壓；2)將被測晶圓放置在支架上方，利用負壓吸住晶圓；3)晶圓跟隨支架移動，當被測芯片移動到卡盤和探針卡中間時，對芯片進行測試。本發明通過減小探針臺卡盤的上表面面積，并利用多根支架固定支撐晶圓，使薄晶圓的背部可以和探針臺的卡盤很好地接觸，從而提高了測試的精度。

1.利用探針臺測試晶圓的方法，所述探針臺包括卡盤和支架，所述卡盤固定不動，且上
表面面積大于或等于被測芯片的面積，小于被測晶圓的面積，所述支架能夠移動，其特征在
于，步驟包括：
1)在支架的上表面加負壓；
2)將被測晶圓放置在支架上方，利用負壓吸住晶圓；
3)晶圓跟隨支架移動，當被測芯片移動到卡盤和探針卡中間時，對芯片進行測試，測試
時，在卡盤的上表面加負壓。