1.一種用于測試半導體裝置的測試設備,其特征在于,包括:電路板,其具有信號接觸
結構及防護接觸結構,該電路板被配置為具有頂部側、底部側及穿過所述頂部及底部側的
開口的板;及
探針卡,其包含導線導引器及與該導線導引器連接的探針塊及由該導線導引器及探針
塊支撐的多個探針導線,每一探針導線通過導線導引器及該探針塊定位,每一探針導線包
含延伸穿過該探針塊的探針尖端,所述探針尖端形成陣列以探測受測試的裝置,每一探針
導線包含從該導線導引器暴露的信號傳輸部分及防護部分,所述信號傳輸部分及所述防護
部分形成接觸結構且通過該陣列而安置于該探針卡的一側上,且一固位體部件安置于該探
針卡的另一側上;
其中,所述探針塊可插入至該電路板的該開口中以允許該陣列探測受測試的裝置,且
所述探針卡的所述接觸結構可與所述電路板上的信號接觸結構及防護接觸結構接觸,所述
探針卡與所述電路板的此接觸允許使信號穿過所述探針導線及電路板而傳送。
2.如權利要求1所述的的測試設備,其特征在于,該固位體部件包含一插座,其中該插
座用于接納一球形架座。
3.如權利要求1所述的的測試設備,其特征在于,該固位體部件包含保持槽。
4.如權利要求1所述的的測試設備,其特征在于,進一步包括相對于該陣列及接觸結構
安置于其上的側,在該探針卡的另一側處,連接至該固位體部件的固持器,該固持器用于定
位該探針卡且允許自該固持器斷開該探針卡的連接。
5.如權利要求4所述的的測試設備,其特征在于,該固持器包含該探針卡可安裝于其
上,且其它探針卡可安裝于其上的至少五個位置。
6.如權利要求5所述的的測試設備,其特征在于,該固持器是具有五個面的五邊形輪,
其中每一個面都可用于安裝探針卡,該五邊形輪用于執行所述探針卡的旋轉轉位。
7.如權利要求5所述的的測試設備,其特征在于,該固持器用于通過氣動操作及自動化
控制從一個探針卡切換至另一探針卡。
8.如權利要求4所述的的測試設備,其特征在于,該固持器用于執行所述探針卡的平移
轉位。
9.一種探測受測試裝置的方法,其特征在于,包括:將固持器定位至探測位置中,包含
將探針卡保持在該固持器的一側上;
使用該固持器并通過氣動操作及自動化控制將該探針卡定位至電路板上及定位至受
測試裝置上,該電路板具有信號接觸結構及防護接觸結構,該探針卡包含多個探針導線,每
一探針導線包含延伸穿過探針塊的探針尖端,所述探針尖端形成陣列以探測該受測試的裝
置,每一探針導線包含自該導線導引器暴露的信號傳輸部分及防護部分,該信號傳輸部分
及該防護部分形成接觸結構且通過該陣列而安置于該探針卡的一側上,該側不同于保持至
該固持器的側,且分別接觸該電路板上的該信號接觸結構及該防護接觸結構,且接觸該受
測試的裝置;
使用該陣列探測該受測試的裝置;及通過該探針卡與該電路板的接觸及該探針卡與該
受測試裝置的接觸而使信號通過該陣列傳輸至受測試的設備,此使信號通過所述探針導線
及電路板而傳送。
10.如權利要求9的方法,其特征在于,進一步包括用另一探針卡替換該探針卡。
11.如權利要求9的方法,其特征在于,進一步包括使該固持器旋轉以切換至至少四個
其它探針卡中的一個。
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