1.一種半導體裝置的檢查設備，其用于檢查具有多個電的檢查接觸點
的檢查目標的電特性，該檢查設備包括：
插槽組件，該插槽組件包括在縱向方向上可縮回的多個探針、支撐彼
此平行的所述探針的探針支撐器、和包括與所述探針的第一端部接觸的多
個固定接觸點的插槽板；和
檢查目標載體，該檢查目標載體包括容納所述檢查目標從而使所述檢
查接觸點面朝所述探針的第二端部的檢查目標容納部分，和被插入于所述
檢查目標與所述探針支撐器之間并包括探針孔的底板元件，其中所述探針
孔在與所述檢查接觸點對應的位置穿透底板元件并且所述探針的第二端部
穿過所述探針孔；其中，所述底板元件和所述探針支撐器包括凸起連接部
分，該凸起連接部分包括將沿探針的縱向方向連接和對準的位于一側的引
導突起和位于另一側的引導槽；
其中引導突起和引導槽在探針被插入探針孔之前彼此連接。
2.根據權利要求1所述的檢查設備，其中，所述凸起連接部分被形成
為當探針支撐器接近底板元件時，引導突起與引導槽之間的連接早于探針
與探針孔之間的連接。
3.根據權利要求1所述的檢查設備，其中，所述探針孔沿探針的所述
縱向方向容納所述檢查接觸點的至少一部分。
4.根據權利要求2所述的檢查設備，其中，所述探針支撐器包括在所
述探針的區域中的、朝向所述底板元件突出的突出部，并且所述底板元件
包括用于容納所述突出部的突出部容納部分。
5.根據權利要求4所述的檢查設備，其中，當引導突起與引導槽連接
時，所述突出部不與所述突出部容納部分相接觸。
6.根據權利要求1所述的檢查設備，其中，所述凸起連接部分包括至
少兩對位于一側的引導突起和位于另一側的引導槽，并且所述至少兩對引
導突起和引導槽在形狀上不同，以便不會彼此卡住。
7.根據權利要求6所述的檢查設備，其中，所述不同形狀包括圓形和
橢圓形。
8.根據權利要求1所述的檢查設備，其中，所述底板元件包括排塵口。
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