1.異質倒置流式芯片,其特征在于:包括上支持體(1)、下支持體(3)、
封裝于上下支持體之間的芯片片基(2),上支持體(1)上設置與芯片片基對應
的芯片卡槽,下支持體(3)上設置端口伸出芯片邊緣的微導流槽(33),靠近
下支持體(3)一側的芯片片基表面上設置向下的若干檢測探針(21),檢測探
針的設置位置與微導流槽相對應,上支持體(1)上設置與微導流槽端口對應的
微導流孔,所述微導流槽(33)設置兩個或兩個以上位于芯片邊緣以外的端口,
上支持體的微導流孔對應為兩個或兩個以上,微導流孔為上粗下細的錐形導流
孔。
2.根據權利要求1所述的異質倒置流式芯片,其特征在于:所述下支持體
和上支持體的材質為聚甲基丙烯酸甲酯、聚二甲基硅烷、聚碳酯有機聚合物中
的一種,芯片片基的材質為硅或玻璃。
3.根據權利要求1所述的異質倒置流式芯片的制備方法,其特征在于:
步驟A:檢驗下支持體的板材質量,切割下支持體毛坯件,用銑床切削整
理毛坯的外形尺寸,通過激光刻蝕技術在毛坯表面加工微導流槽,對毛坯進行
粗拋光和細拋光,拋光后的下支持體用軟紙包裝或貼保護膜;
步驟B:檢驗上支持體的板材質量,切割上支持體毛坯件,用銑床切削整理
毛坯的外形尺寸,通過激光刻蝕技術在毛坯表面加工芯片卡槽、微導流孔,對
毛坯進行粗拋光和細拋光,拋光后的上支持體用軟紙包裝或貼保護膜;
步驟C:檢驗芯片片基的板材質量,切割芯片片基毛坯件,整理外形尺寸,
對芯片片基進行清洗、干燥,在芯片上固定檢測探針,涂上固定膠后風干15~20
秒;
步驟D:芯片片基的涂膠面向下,定位準確后固定粘貼到下支持體上,將
上支持體涂抹固定膠后風干15~20秒,定位準確后固定粘貼到下支持體和芯片
片基上。
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