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液靜壓工作裝置

  • 專利類型:發明專利
  • 有效期:不限
  • 發布日期:2021-12-23
  • 技術成熟度:詳情咨詢
交易價格: ¥面議
  • 法律狀態核實
  • 簽署交易協議
  • 代辦官方過戶
  • 交易成功

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  • 技術(專利)類型 發明專利
  • 申請號/專利號 CN201210475267.7 
  • 技術(專利)名稱 液靜壓工作裝置 
  • 項目單位 財團法人工業技術研究院
  • 發明人 陳羿銘,羅佐良,洪紹穎,廖建智,林衛助,黃少谷 
  • 行業類別 醫藥制造-制藥設備
  • 技術成熟度 詳情咨詢
  • 交易價格 ¥面議
  • 聯系人 韓竣番
  • 發布時間 2021-12-23  
  • 01

    項目簡介

    本發明公開一種液靜壓工作裝置,其包括一基座、一載臺、一液靜壓提供器、一測量器及一控制器。載臺設置于基座。載臺設有一液靜壓通道,液靜壓通道內設有油液。載臺通過液靜壓通道內的油液與基座間具有一間距。液靜壓提供器,供給液靜壓通道的油液并調整油液供給壓力。測量器設置于載臺,用以測量載臺與基座間的間距,并輸出一距離信號。控制器連接液靜壓提供器與測量器。控制器根據距離信號控制液靜壓提供器調整油液供給壓力。
    展開
  • 02

    說明書

    1.一種液靜壓工作裝置,包括:
    基座,該基座包括多個基準面及一對軌道,該些基準面位于該對軌道的
    外側;
    載臺,設置于該基座,該載臺設有一液靜壓通道,該液靜壓通道內設有
    油液,該載臺通過該液靜壓通道內的油液與該基座間具有一間距,該載臺設
    置于該基座的該對軌道,且能沿該對軌道移動;
    液靜壓提供器,供給該液靜壓通道的油液并調整油液供給壓力;
    測量器,設置于該載臺,該測量器包括多個測量單元,該些測量單元分
    別朝向該些基準面測量,該多個測量單元能夠測量該載臺和該基座之間的間
    距和偏移角度,并輸出距離信號和偏移角度信號;以及
    控制器,連接該液靜壓提供器與該測量器,該控制器根據該距離信號和
    該偏移角度信號控制該液靜壓提供器調整油液供給壓力,
    其中該些基準面朝向該對軌道,該些測量單元設置于該載臺的側面,且
    分別背對該對軌道而朝向該些基準面。
    2.如權利要求1所述的液靜壓工作裝置,還包含一罩體,設置于該載
    臺且覆蓋該測量器。
    3.如權利要求1所述的液靜壓工作裝置,其中該載臺朝向該基座具有
    一底部,該測量器設置于該底部。
    4.如權利要求1所述的液靜壓工作裝置,其中該基座還具有一排放通
    道,與該間距連通。
    5.如權利要求1所述的液靜壓工作裝置,其中該測量器為光線感測器。
    6.如權利要求5所述的液靜壓工作裝置,其中該些基準面的光線反射
    率為百分之七十以上。
    7.如權利要求1所述的液靜壓工作裝置,其中該些基準面設置有多個
    刻度。
    8.如權利要求1所述的液靜壓工作裝置,其中該些基準面背對該對軌
    道,該載臺朝向該基座具有一底部,該底部具有一凹部,該凹部具有一側壁,
    該些測量單元設置于該側壁且分別朝向該對軌道而朝向該些基準面。
    展開

專利技術附圖

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