1.一種液靜壓工作裝置,包括:
基座,該基座包括多個基準面及一對軌道,該些基準面位于該對軌道的
外側;
載臺,設置于該基座,該載臺設有一液靜壓通道,該液靜壓通道內設有
油液,該載臺通過該液靜壓通道內的油液與該基座間具有一間距,該載臺設
置于該基座的該對軌道,且能沿該對軌道移動;
液靜壓提供器,供給該液靜壓通道的油液并調整油液供給壓力;
測量器,設置于該載臺,該測量器包括多個測量單元,該些測量單元分
別朝向該些基準面測量,該多個測量單元能夠測量該載臺和該基座之間的間
距和偏移角度,并輸出距離信號和偏移角度信號;以及
控制器,連接該液靜壓提供器與該測量器,該控制器根據該距離信號和
該偏移角度信號控制該液靜壓提供器調整油液供給壓力,
其中該些基準面朝向該對軌道,該些測量單元設置于該載臺的側面,且
分別背對該對軌道而朝向該些基準面。
2.如權利要求1所述的液靜壓工作裝置,還包含一罩體,設置于該載
臺且覆蓋該測量器。
3.如權利要求1所述的液靜壓工作裝置,其中該載臺朝向該基座具有
一底部,該測量器設置于該底部。
4.如權利要求1所述的液靜壓工作裝置,其中該基座還具有一排放通
道,與該間距連通。
5.如權利要求1所述的液靜壓工作裝置,其中該測量器為光線感測器。
6.如權利要求5所述的液靜壓工作裝置,其中該些基準面的光線反射
率為百分之七十以上。
7.如權利要求1所述的液靜壓工作裝置,其中該些基準面設置有多個
刻度。
8.如權利要求1所述的液靜壓工作裝置,其中該些基準面背對該對軌
道,該載臺朝向該基座具有一底部,該底部具有一凹部,該凹部具有一側壁,
該些測量單元設置于該側壁且分別朝向該對軌道而朝向該些基準面。
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