關于發布國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”2011年項目申報指南的通知
發布時間：2010-05-05 來源：上海市科學技術委員會各有關單位：
為推動我國集成電路制造產業的發展，國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”根據實施方案和“十二五”實施計劃，在全國公開發布2011年項目申報指南。通過競爭擇優方式選擇優勢單位。
一、申請資格與要求詳見附件
項目申請受理的截止日期為2010年5月24日
二、咨詢方式
聯系電話：（010）51530051
傳真：（010）51530052
聯系人：張國銘 高華東
三、指南內容
國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”2011年項目指南（附件一）
附件一：國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”2011年項目指南
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02專項實施管理辦公室
二○一○年五月五日
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