1.一種藍寶石和硅片用金剛線切片冷卻液集成式處理方法,其特征為,其處理方法如
下:
(1)將若干切片機通過第一管路與儲存罐相連,由第一管路將切片機排出的廢棄冷卻
液輸送至儲存罐;
(2)將儲存罐通過第二管路和渾水旁通管路與板框壓濾機相連,由第二管路將儲存罐
內的冷卻液輸送至板框壓濾機內,進行壓濾除去冷卻液中的固體廢棄物,當壓濾過程中未
出現清水時,將冷卻液從渾水旁通管路輸送入儲存罐;
(3)將板框壓濾機通過第三管路與精密過濾罐相連,通過第三管路將經板框壓濾機處
理后的冷卻液輸送至精密過濾罐,進行精密過濾去除冷卻液中的細小顆粒和金屬離子,所
述精密過濾罐內設有精密過濾筒,所述精密過濾筒內設有孔徑200um的過濾袋,進行一次過
濾去除冷卻液中的細小顆粒,所述精密過濾罐內設有吸附樹脂層及活性炭吸附層,進行二
次過濾去除冷卻液中的金屬離子;
(4)將精密過濾罐通過第四管路與成品液管理系統相連,所述成品液管理系統包括調
配罐、成品罐和PLC控制器,所述調配罐分別與成品罐和PLC控制器相連,所述調配罐和PLC
控制器之間設有冷卻液補充系統,所述成品罐通過第五管路與步驟(1)中的若干切片機相
連,由第四管路將經精密過濾罐處理的冷卻液輸送至調配罐,控制PLC控制器使冷卻液補充
系統對調配罐補充冷卻液,隨后由成品罐通過第五管路將冷卻液輸送至若干切片機內,所
述第一管路、第二管路、渾水旁通管路、第三管路、第四管路和第五管路上均設有電磁閥和
水泵,所述電磁閥和水泵均與PLC控制器電連接。
2.如權利要求1所述的一種藍寶石和硅片用金剛線切片冷卻液集成式處理方法,其特
征為,所述板框壓濾機的進氣氣壓>12kg,反充氣壓力值4~6kg。
3.如權利要求1所述的一種藍寶石和硅片用金剛線切片冷卻液集成式處理方法,其特
征為,所述精密過濾罐內設有酸堿度測試儀、電導率測定儀、cod檢測儀,所述酸堿度測試
儀、電導率測定儀、cod檢測儀均與PLC控制器電連接。
4.如權利要求1所述的一種藍寶石和硅片用金剛線切片冷卻液集成式處理方法,其特
征為,所述儲存罐和調配罐內均設有攪拌裝置,對冷卻液攪拌混勻。
5.如權利要求1所述的一種藍寶石和硅片用金剛線切片冷卻液集成式處理方法,其特
征為,所述儲存罐、精密過濾罐、調配罐和成品罐上設有稱重傳感器和液位顯示器,所述稱
重傳感器和液位顯示器均與PLC控制器電連接。
6.如權利要求1所述的一種藍寶石和硅片用金剛線切片冷卻液集成式處理方法,其特
征為,所述冷卻液補充系統包括冷卻液儲存罐、輸液泵和示警器,所述輸液泵與PLC控制器
電連接,所述示警器連接有液位傳感器,所述液位傳感器設置于冷卻液儲存罐內。
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