本發明揭示一種用于至少一個熱單元的冷卻系統，其包含：水箱組合件，所述水箱組合件包含：集水室；凈化室，其位于所述集水室上方；及儲液室，其位于所述凈化室上方；冷卻回路，其包含泵、熱交換器及導管，所述冷卻回路經配置以循環液體冷卻劑通過所述至少一個熱單元、所述集水室、所述泵、所述熱交換器及所述儲液室；第一閥，其位于所述水箱組合件的外部且經配置使得當所述第一閥打開時，(i)所述液體冷卻劑可經由所述第一閥從所述凈化室流動到所述集水室，及(ii)空氣可同時經由所述第一閥從所述集水室流動到所述凈化室；及第二閥，其位于所述水箱組合件的外部且經配置使得當所述第二閥打開時，(i)所述液體冷卻劑可經由所述第二閥從所述儲液室流動到所述凈化室，及(ii)空氣可同時經由所述第二閥從所述凈化室流動到所述儲液室。

1.一種用于至少一個熱單元的冷卻系統，所述冷卻系統包括：水箱組合件，所述水箱組合件包含：集水室，凈化室，其位于所述集水室上方，其中所述集水室及所述凈化室由第一壁分離，及儲液室，其位于所述凈化室上方，其中所述凈化室及所述儲液室由第二壁分離，且其中所述第一壁及所述第二壁各自由連續材料片制成，其中無閥或開口延伸通過所述第一壁及所述第二壁；冷卻回路，其包含泵、熱交換器及導管，所述冷卻回路經配置以循環液體冷卻劑通過所述至少一個熱單元、所述集水室、所述泵、所述熱交換器及所述儲液室；第一閥，其位于所述水箱組合件的外部且經配置使得當所述第一閥打開時，(i)所述液體冷卻劑可經由所述第一閥從所述凈化室流動到所述集水室，及(ii)空氣可同時經由所述第一閥從所述集水室流動到所述凈化室；及第二閥，其位于所述水箱組合件的外部且經配置使得當所述第二閥打開時，(i)所述液體冷卻劑可經由所述第二閥從所述儲液室流動到所述凈化室，及(ii)空氣可同時經由所述第二閥從所述凈化室流動到所述儲液室。2.根據權利要求1所述的冷卻系統，其中所述冷卻回路進一步包括過濾器，其位于所述泵與所述儲液室之間的所述冷卻回路中的位置處。3.根據權利要求1所述的冷卻系統，其中在所述系統的正常操作期間，所述第一閥打開且所述第二閥閉合。4.根據權利要求3所述的冷卻系統，其中當無電力供應到所述第一閥及所述第二閥時，所述第一閥及所述第二閥打開。5.根據權利要求4的冷卻系統，其中所述至少一個熱單元位于所述儲液室的正常液面上方。6.根據權利要求3所述的冷卻系統，其中在所述系統的正常操作期間，所述集水室、所述凈化室及所述冷卻回路的位于所述至少一個熱單元處的部分處于負壓力下，而所述儲液室處于大氣壓力或以上壓力下。7.根據權利要求6所述的冷卻系統，其中所述系統經配置使得如果在所述冷卻回路中出現泄漏，那么進入所述集水室的空氣變慢且通過所述第一閥上升到所述凈化室，而所述凈化室中的冷卻劑同時通過所述第一閥傳遞到所述集水室。8.根據權利要求7所述的冷卻系統，其進一步包括傳感器，所述傳感器與所述儲液室相連通且經配置以提供輸出信號，其指示所述儲液室中的所述冷卻劑何時已降到預定液面。9.根據權利要求8所述的冷卻系統，其中所述系統經配置使得當所述輸出信號指示所述凈化室中的所述冷卻劑已降到預定液面時，所述第一閥閉合且所述第二閥打開，使得冷卻劑從所述儲液室通過所述第二閥傳遞到所述凈化室，而空氣同時從所述凈化室通過所述第二閥傳遞到所述儲液室。10.根據權利要求9所述的冷卻系統，其進一步包括S型氣泡氣塞，所述S型氣泡氣塞位于所述水箱組合件的外部且經配置以允許所述儲液室保持在大氣壓力下。11.根據權利要求10所述的冷卻系統，其中所述S型氣泡氣塞經配置以密封所述儲液室使其與外部環境隔絕，但允許所述儲液室保持在大氣壓力下。12.根據權利要求10所述的冷卻系統，其中所述S型氣泡氣塞含有包含除生物劑的流體。13.根據權利要求1所述的冷卻系統，其中固定脈沖寬度調制PWM用以控制所述熱交換器的冷卻風扇的速度。14.根據權利要求1所述的冷卻系統，其中提供到所述至少一個熱單元的冷卻劑的溫度由溫度傳感器監測，且通過基于所感測的溫度改變所述熱交換器的冷卻風扇的速度而被控制到給定設置點。15.根據權利要求1所述的冷卻系統，其中監測所述至少一個熱單元的加熱器的電力使用量，且通過基于所監測的加熱器電力使用量改變所述熱交換器的冷卻風扇的速度來控制提供到所述至少一個熱單元的冷卻劑的溫度。16.根據權利要求1所述的冷卻系統，其進一步包括至少一個釋壓閥，所述釋壓閥位于導入所述至少一個熱單元的至少一個導管與從所述至少一個熱單元導出的至少一個導管之間，其與所述至少一個熱單元平行，所述釋壓閥經配置以當導入所述至少一個熱單元的所述導管中的壓力超過預定閾值時允許冷卻劑的流動通過所述釋壓閥。17.根據權利要求1所述的冷卻系統，其進一步包括溫度傳感器，所述溫度傳感器經配置以測量所述儲液室中的冷卻劑的溫度。18.根據權利要求1所述的冷卻系統，其進一步包括差壓傳感器，所述差壓傳感器位于導入所述熱交換器的導管與從所述熱交換器導出的導管之間。19.根據權利要求9所述的冷卻系統，其進一步包括第三閥，所述第三閥位于(i)位于所述泵與所述儲液室之間的導管與(ii)所述凈化室之間，其中所述系統經配置使得當所述輸出信號指示所述儲液室中的所述冷卻劑已降到預定液面時，所述第三閥打開，使得冷卻劑由所述泵泵抽到所述凈化室。20.根據權利要求1所述的冷卻系統，其中所述凈化室一體地附接到所述集水室，且所述儲液室一體地附接到所述凈化室。21.一種半導體裝置處置器，其包括至少一個熱單元及根據權利要求1所述的冷卻系統，其中所述至少一個熱單元包括：電加熱器，其具有用于與電子裝置接觸的第一面及與所述第一面相對的第二面；及散熱器，其耦合到所述電 加熱器的所述第二面使得所述電 加熱器插置于所述散熱器與所述電子裝置之間。