1.一種以雙轉子壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組,包括低壓平衡器、雙轉
子壓縮機、油氣冷卻器、油氣分離器與吸附器;其特征在于:所述的低壓
平衡器通過第一管道與所述雙轉子壓縮機進氣端連通;所述雙轉子壓縮機
通過第二管道與油氣冷卻器進氣端連通;所述油氣冷卻器出氣端通過第三
管道與所述油氣分離器進氣端連接;所述油氣分離器出氣端通過第四管道
與所述吸附器連接;所述油氣分離器出油端通過第五管道與所述第一管道
連通;所述雙轉子壓縮機出油端通過第六管道與所述油氣冷卻器進油端連
通;所述油氣冷卻器出油端通過第七管道與所述第一管道連通;所述第四
管道通過第八管道與所述第一管道連通;所述第八管道上設置有溢流閥;
所述的雙轉子壓縮機外壁上設置有外冷卻系統;所述外冷卻系統包括盤繞
在所述雙轉子壓縮機外壁上的冷卻水管,所述冷卻水管兩端分別為冷卻水
進水口和冷卻水出水口;所述冷卻水管之間的間隔處設置有熱傳導介質。
2.根據權利要求1所述的以雙轉子壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組,其特
征在于所述的低壓平衡器上設置有低壓進氣管,所述低壓進氣管上設置有
低壓進氣自密封接頭。
3.根據權利要求1所述的以雙轉子壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組,其特
征在于所述的低壓平衡器上的第一管道上設置有低壓壓力表。
4.根據權利要求1所述的以雙轉子壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組,其特
征在于所述的第七管道上設置有油過濾器。
5.根據權利要求1所述的以雙轉子壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組,其特
征在于所述的油氣冷卻器上設置有油氣冷卻器出水接頭和油氣冷卻器進水
接頭;所述油氣冷卻器進水接頭的管道上設置有水壓保護繼電器。
6.根據權利要求1所述的以雙轉子壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組,其特
征在于所述的油氣分離器上設置有安全閥。
7.根據權利要求1所述的以雙轉子壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組,其特
征在于所述的吸附器上的第四管道上設置有高壓進氣自密封接頭;所述高
壓進氣自密封接頭連接有氣體高壓保護繼電器。
8.根據權利要求1所述的以雙轉子壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組,其特
征在于所述的吸附器上設置有高壓出氣自密封接頭。
9.根據權利要求1所述的以雙轉子壓縮機為核心的氦氣壓縮凈化機組,其特
征在于所述的第四管道上設置有高壓壓力表。
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