本發明公開了一種制備電子級氫氟酸的方法，包括；工業級HF原料的氣化：從無水氟化氫貯槽引出氣體氟化氫，除去其中的非揮發性和高沸點雜質；氟氣氧化和脫輕組分；通過氟氣氧化反應器把HF中的As氧化為As，S、P、B等元素形成的部分不揮發性成分氧化為揮發性成分，然后通過脫輕組分設備除去；高沸精餾，把HF中以HAsF或鹽MAsF的形式存在As以及HSO、HPO、HSiF、HO和金屬離子鹽等高沸物，通過精餾除去；水洗精餾；把前面過程中沒有除去的雜質進一步脫除。經過上述步驟后從水洗精餾塔頂餾出的HF溶于水就制得符合電子級產品質量要求的氫氟酸。本方法簡單可靠，能使氫氟酸中的金屬和非金屬元素對應的雜質含量低于半導體設備和材料國際標準SEMI－2標準。

1.?一種制備電子級氫氟酸的方法，包括以下步驟：?（1）工業級無水HF原料的氣化：將原料工業級HF在35℃氣化；（2）氟氣氧化和脫輕組分將氣化后的HF和氟氣連續通入氟氣氧化反應器，氟氣氧化反應器上安裝有調節反應物料溫度的冷卻換熱器，及內裝填料的吸收塔，通過循環泵把HF不斷的打入吸收塔的頂部，使未反應完的氟氣與吸收塔流下的循環HF逆流接觸；氟氣的用量為1－2g/kgHF，氟氣氧化反應的溫度控制在0－20℃，設備的壓力為常壓，泵的循環量為進料HF質量的10倍；（3）高沸精餾經過上部的氧化脫輕組分后的HF進入高沸精餾塔，高沸精餾塔塔頂HF的溫度控制在20℃，高沸精餾塔的回流比為1－3；（4）水洗精餾經過高沸精餾后的HF和新鮮的電子級高純水分別打入水洗精餾塔的塔釜中，水洗精餾塔設為兩段，下面為洗滌段，上面為精餾段；在洗滌段，在塔釜加熱器的作用下，氫氟酸發生氣化，回流的氫氟酸和新加入的高純水通過液體分布器均勻的分布在填料上，與塔釜上升的氫氟酸蒸汽逆流接觸，把HF中的雜質洗滌下來，塔釜引出液體的濃度控制在70－80%，水洗精餾塔塔底再沸器中液體的溫度為48-65℃；經過洗滌后的氫氟酸進入精餾段，經過精餾提純后進入塔頂冷凝器，冷凝后，部分回流，回流比控制在2－4，塔的操作壓力為110kPa，塔頂采出的產品即為符合電子級產品質量要求的無水HF；其中：無水HF被水吸收后制得各種濃度的電子級產品氫氟酸。2.如權利要求1所述的一種制備電子級氫氟酸的方法，其中：原料HF的貯罐由碳鋼或不銹鋼制成。3.如權利要求1所述的一種制備電子級氫氟酸的方法，其中：反應器所用的設備的材質為碳鋼或不銹鋼。4.如權利要求1所述的一種制備電子級氫氟酸的方法，其中：高沸塔的材質為不銹鋼內襯氟塑料。5.如權利要求1所述的一種制備電子級氫氟酸的方法，其中：水洗精餾塔的材質為不銹鋼內襯氟塑料。