永久免费黄色大片-乱老胖熟妇60XXXXXX-亚洲成人手机AV-久久鬼色-三级片视频网站在线观看-韩日成人午夜

您現在的位置: 首頁 > 技術轉讓 > 半導體晶圓的粘合帶粘貼方法及采用該方法的裝置

半導體晶圓的粘合帶粘貼方法及采用該方法的裝置

  • 專利類型:發明專利
  • 有效期:不限
  • 發布日期:2021-12-25
  • 技術成熟度:通過中試
交易價格: ¥面議
  • 法律狀態核實
  • 簽署交易協議
  • 代辦官方過戶
  • 交易成功

專利推薦

  • 技術(專利)類型 發明專利
  • 申請號/專利號 CN200710079874.0 
  • 技術(專利)名稱 半導體晶圓的粘合帶粘貼方法及采用該方法的裝置 
  • 項目單位 日東電工株式會社
  • 發明人 山本雅之 
  • 行業類別 其他領域
  • 技術成熟度 通過中試
  • 交易價格 ¥面議
  • 聯系人 吳裕彤
  • 發布時間 2021-12-25  
  • 01

    項目簡介

    本發明提供一種半導體晶圓的粘合帶粘貼方法及采用該方法的裝置。為了使在停止粘合帶的供給及分離片的剝離的時刻的粘合帶上的分離片的剝離點,通過下一帶粘貼工作而移動到從半導體晶圓表面上離開的位置,與粘合帶的供給工作對應地控制分離片的剝離回收工作。
    展開
  • 02

    說明書

    1.一種半導體晶圓的粘合帶粘貼方法,從放出來的帶有分離片的粘合帶剝離分離片后將粘合帶沿著半導體晶圓的表面進行粘貼,上述方法包括以下過程:為了使剝離點通過下一帶粘貼工作而移動到從半導體晶圓表面上離開的位置,與粘合帶的供給工作對應地如下地控制分離片的剝離回收工作,上述剝離點是這樣被確定的:在從被供給的上述粘合帶剝離分離片的過程中,在進行下一帶粘貼時剝離點從半導體晶圓的表面上離開的預先確定的位置進行檢測,基于其檢測結果確定上述剝離點,分離片的上述剝離回收控制是這樣進行的:為了在粘貼粘合帶的過程中將上述剝離點的位置保持在預先確定的位置,根據粘合帶的放出量向與回收方向相反的方向放出已回收的上述分離片,該剝離點是在停止粘合帶的供給及分離片的剝離的時刻的粘合帶上的分離片的剝離點。2.根據權利要求1所述的半導體晶圓的粘合帶粘貼方法,其中,用由夾著位于粘合帶的供給路徑上的粘合帶而相對配置的投光器和受光器構成的光傳感器檢測剝離點,同時為了基于該檢測結果將剝離點維持在規定位置而根據粘合帶的放出量向與回收方向相反的方向放出回收了的上述分離片。3.根據權利要求1所述的半導體晶圓的粘合帶粘貼方法,其中,用由投光器和受光器構成的光傳感器檢測剝離點,同時為了基于該檢測結果將剝離點保持在規定位置而根據粘合帶的放出量向與回收方向相反的方向放出已回收的上述分離片,該受光器接受從投光器向位于粘合帶的供給路徑上的粘合帶照射的光中的、由粘合帶反射回來的反射光。4.根據權利要求1所述的半導體晶圓的粘合帶粘貼方法,其中,用攝像裝置對位于粘合帶的供給路徑中的粘合帶的表面圖像進行攝像,監視剝離點,同時為了將剝離點保持在規定位置而根據粘合帶的放出量向與回收方向相反的方向放出已回收的上述分離片。5.一種半導體晶圓的粘合帶粘貼裝置,從放出來的帶有分離片的粘合帶剝離分離片后將粘合帶沿著半導體晶圓的表面進行粘貼,上述裝置包括以下構造:保持臺,用于載置保持上述半導體晶圓;粘合帶供給部件,用于將粘合帶供給到由上述保持臺載置保持的半導體晶圓的表面;粘貼單元,具有粘貼輥,使上述粘貼輥滾動移動而將粘合帶按壓并粘貼于晶圓的表面;剝離點檢測部件,用于檢測在上述粘合帶的供給路徑中的分離片的剝離點,上述剝離點是在停止粘合帶的供給及分離片的剝離的時刻的粘合帶上的分離片的剝離點,該剝離點是這樣被確定的:在從被供給的上述粘合帶剝離分離片的過程中,在進行下一帶粘貼時剝離點從半導體晶圓的表面上離開的預先確定的位置利用上述剝離點檢測部件進行檢測,基于其檢測結果確定上述剝離點;分離片剝離回收控制部件,為了使上述剝離點通過下一帶粘貼工作而移動到從半導體晶圓離開的位置,基于上述剝離點檢測部件的檢測信息來控制分離片的回收卷軸使其正反旋轉而進行分離片剝離點的位置控制。6.根據權利要求5所述的半導體晶圓的粘合帶粘貼裝置,其中,上述剝離點檢測部件是光學檢測位于上述粘合帶的供給路徑上的分離片的剝離點上所殘留的剝離停止痕跡的光傳感器。7.根據權利要求6所述的半導體晶圓的粘合帶粘貼裝置,其中,上述光傳感器由夾著位于粘合帶的供給路徑中的粘合帶而相對配置的投光器和受光器構成,上述分離片剝離回收控制部件這樣進行控制:基于用受光器接受到透過了分離片的剝離點上所殘留的剝離停止痕跡的透過光時的其光強度的變化,控制分離片的剝離點的位置。8.根據權利要求6所述的半導體晶圓的粘合帶粘貼裝置,其中,上述光傳感器由對位于粘合帶的供給路徑上的粘合帶照射光的投光器、和接受從粘合帶的表面反射回來的反射光的受光器構成,上述分離片剝離回收控制部件這樣進行控制:基于用受光器接受到在分離片的剝離點上所殘留的剝離停止痕跡反射來的反射光時的其光強度的變化,控制分離片的剝離點的位置。9.根據權利要求5所述的半導體晶圓的粘合帶粘貼裝置,其中,上述剝離點檢測部件由沿粘合帶的供給路徑配置的攝像裝置構成,上述分離片剝離回收控制部件這樣進行控制:對用上述攝像裝置取得的粘合帶進行圖像解析,根據粘合帶表面的濃度變化求出剝離停止痕跡,基于該剝離開始后的位置信息來控制分離片的剝離點的位置。10.一種半導體晶圓的粘合帶粘貼裝置,從放出來的帶有分離片的粘合帶剝離分離片后將粘合帶沿著半導體晶圓的表面進行粘貼,上述裝置包括以下構造:保持臺,用于載置保持上述半導體晶圓;粘合帶供給部件,用于將粘合帶供給到由上述保持臺載置保持的半導體晶圓的表面;粘貼單元,具有粘貼輥,使上述粘貼輥滾動移動而將粘合帶按壓并粘貼于晶圓的表面;檢測部件,用于檢測從上述粘合帶供給部件供給的粘合帶的放出長度;分離片剝離回收控制部件,其這樣進行控制:為了使剝離點通過下一帶粘貼工作而移動到從半導體晶圓離開的位置,預先確定大于半導體晶圓直徑的粘合帶的放出長度的基準間距,上述剝離點是在停止粘合帶的供給及分離片的剝離的時刻的粘合帶上的分離片的剝離點,在從上述粘合帶供給部件供給粘合帶的過程中,比較由上述檢測部件檢測出的粘合帶的放出長度的實測值、和預先確定的上述基準間距,求出兩個值一致的位置作為剝離停止痕跡,基于該求出的結果,根據粘合帶的放出量向與回收方向相反的方向放出已回收的上述分離片,進行分離片的剝離點的位置控制。
    展開

專利技術附圖

服務流程

過戶資料

  • 買賣雙方需提供資料
  • 平臺提供
  • 過戶后您將獲得
  • 買家
  • 賣家
  • 公司
  • 企業營業執照
  • 企業營業執照

    專利注冊證原件

  • 個人
  • 身份證

    個體戶營業執照

  • 身份證

    專利注冊證原件

  • 專利代理委托書

    轉讓申請書

    轉讓協議

  • 手續合格通知書

    專利證書

    專利利登記簿副本

安全保障

  • 品類齊全

    海量資源庫,平臺整合幾十萬閑置資源。
  • 交易保障

    完善的資金保障體系確保買賣雙方資金安全。
  • 專人跟進

    專業交易顧問全程服跟進,確保交易流暢。
  • 快速響應

    專業在線/電話客服服務,快速響應貼心服務。
  • 售后無憂

    資質過硬,國內大知識產權服務平臺。
  • -我要咨詢-
  • ×
聯系人:
專利名稱: *
聯系電話: *
驗證碼:

提交

關于我們 | 聯系我們

傳真:0435-3213171 電話:18801213919 郵箱:lizhiwen@bayuegua.com 地址:吉林省通化市東昌區新華大街1003號(通化市科技成果轉化中心)


舉報電話:0435-5112631     舉報郵箱:chenwenbo@bayuegua.com

備案號ICP備18003140號-1
主站蜘蛛池模板: 国产白丝一区二区三区 | 日韩aaa| 无码喷水 | 亚洲AV影院 | 91亚洲一区 | 无码av免费精品一区二区三区 | 丁香五香天堂网 | 免费视频一区 | 日本a网站 | www在线91国产| 苍井空无码不卡免费二区 | 亚洲AV无码一区二区乱子伦 | 日本欧美一区二区三区 | 久久黄色三级片 | 日韩精品 A片在线观看报备 | 四季AV无码一区二区三区在线播放 | 麻豆亚洲| 亚洲AV无码成人片在线观看一区 | 制服.丝袜.亚洲.另类.中文 | 精品人妻熟女一区二区三区免费看 | 国产午夜精品一区二区三区 | 精品人人搡人妻人人玩A片 性无码一区二区三区无码免费 | 蜜臀av一区二区三区 | 精品人妻无码一区二区三区牛牛 | 国产人妻精品一区二区三水牛 | 久久国产三级片 | www.77e98.com国产 91精品视频在线 | 三级电影在线观看 | 国产第一A片成人网站777 | 国产精品一区二区人妻喷水 | 无码AV观看 | 69成人电影 | 精品久久久久久久久久久久 | 91久久精品无嫩草影院 | 精品人妻无码一区二区三区免费 | 国产成人A片大片免费 | 激情午夜成人影院无码在线 | 国产午夜精品一区二区 | 亚洲经典一区二区三区 | 最新国产中文字幕 | 美国丰满少妇熟乱XXXXX |