本發(fā)明公開了深海用電靜液作動器，采用一體式集成結(jié)構(gòu)。其中，通過雙向液壓泵控制液壓缸的運(yùn)動；通過調(diào)控電機(jī)的正、反轉(zhuǎn)和調(diào)速運(yùn)行控制液壓缸活塞桿的位移與加速度，并取消液壓換向閥、減壓閥等控制閥件，設(shè)有傳感器監(jiān)控并調(diào)節(jié)系統(tǒng)工作情況。系統(tǒng)外部設(shè)置壓力補(bǔ)償器，用于補(bǔ)償系統(tǒng)壓力以適應(yīng)深海高壓環(huán)境。液壓回路采用板式連接，無外部連接管路，外部僅存在供電和信號傳輸接口，兼有液壓作動系統(tǒng)與電作動系統(tǒng)的優(yōu)點，系統(tǒng)組成大幅簡化，設(shè)備體積大大減小。因此，深海用電靜液作動器在深海作業(yè)裝備及船舶裝備中具有廣泛的應(yīng)用前景。

1.深海用電靜液作動器，其特征在于：共包含三個部分，分別是集成閥塊部分、壓力補(bǔ)償器部分、液壓缸部分；液壓缸部分中的液壓缸缸體(22)通過螺栓與集成閥塊部分中的集成閥塊(3)連接，壓力補(bǔ)償器部分中的壓力補(bǔ)償器上端蓋(10)連接在油箱底蓋(9)的外側(cè)；伺服電機(jī)(1)、油箱(8)、雙向液壓泵(7)通過螺栓安裝在集成閥塊(3)上并連接為一體；集成閥塊(3)的側(cè)面裝有插裝式液壓鎖(4)；集成閥塊(3)的伺服電機(jī)(1)一側(cè)裝有插裝式溢流閥(2)，構(gòu)成集成閥塊部分；壓力補(bǔ)償器上端蓋(10)、壓力補(bǔ)償器下端蓋(16)、補(bǔ)償彈簧(14)、滾動膜片(12)、壓力補(bǔ)償器活塞桿(15)、壓力補(bǔ)償器活塞閥帽(11)和壓力補(bǔ)償器活塞(13)連接后構(gòu)成壓力補(bǔ)償器部分，壓力補(bǔ)償器上端蓋(10)、壓力補(bǔ)償器下端蓋(16)、滾動膜片(12)安裝在同一軸線，滾動膜片(12)邊緣由壓力補(bǔ)償器上端蓋(10)和壓力補(bǔ)償器下端蓋(16)壓緊；壓力補(bǔ)償器活塞桿(15)依次穿過壓力補(bǔ)償器活塞(13)、滾動膜片(12)、壓力補(bǔ)償器活塞閥帽(11)的中心，并用螺母固定；沿壓力補(bǔ)償器活塞桿(15)軸線方向上設(shè)有一補(bǔ)償彈簧(14)；液壓缸部分中，液壓缸為雙作用對稱式結(jié)構(gòu)；液壓缸端蓋(20)螺栓連接處安裝有一不銹鋼質(zhì)薄板，其末端通過螺釘連接設(shè)有行程開關(guān)(18)；液壓缸端蓋(20)裝有節(jié)流板(24)，節(jié)流板(24)上裝有減壓槽，與液壓缸端蓋(20)為過盈配合；液壓缸端蓋(20)內(nèi)側(cè)裝有緩沖套(23)；液壓缸端蓋(20)末端裝有擋板(25)，與液壓缸端蓋(20)為螺紋連接；液壓缸缸體(22)端部部分外側(cè)裝有插裝式壓力傳感器(21)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的深海用電靜液作動器，其特征在于：液壓缸活塞桿(19)上活塞密封(26)的材料為丁晴橡膠。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的深海用電靜液作動器，其特征在于：所述的補(bǔ)償彈簧(14)，壓力補(bǔ)償器活塞桿(15)個數(shù)為一個，若補(bǔ)償壓力增大，補(bǔ)償彈簧(14)，壓力補(bǔ)償器活塞桿(15)個數(shù)能夠增加。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的深海用電靜液作動器，其特征在于：補(bǔ)償彈簧(14)的材料為彈性合金或其他隨溫度變化其物理化學(xué)性能變化小的材料；壓力補(bǔ)償器活塞桿(15)為不銹鋼耐海水腐蝕的材料。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的深海用電靜液作動器，其特征在于：所述液壓缸組件中液壓缸的左右兩側(cè)的液壓缸端蓋(20)外側(cè)均裝有行程開關(guān)(18)，通過觸頭與液壓缸活塞桿(19)上的凸起的觸碰檢測位移情況。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的深海用電靜液作動器，其特征在于：滾動膜片(12)的材料為聚酯纖維、尼龍、丁晴涂層尼龍、丁晴涂層棉或丁晴橡膠夾布。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的深海用電靜液作動器，其特征在于：所述的雙向液壓泵(7)位于油箱內(nèi)部，增加集成程度，減小體積。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的深海用電靜液作動器，其特征在于：所述的緩沖套(23)為楔形結(jié)構(gòu)，緩沖套(23)的一側(cè)以擋板(25)定位，緩沖套(23)的另一側(cè)以液壓缸端蓋(20)定位。