本發(fā)明涉及一種用于減少蒸氣流中的非氣態(tài)成分的量的過濾裝置，過濾裝置包括碳泡沫作為過濾材料，蒸氣流能夠穿過所述過濾材料，并且過濾材料設(shè)置成使得蒸氣流通過碳泡沫的唯一路徑是經(jīng)由穿過碳泡沫。本過濾裝置特別地適于通過蒸氣的物理氣相沉積而涂覆基底。過濾裝置形成的均質(zhì)且單相的蒸氣流致使涂覆的基底光滑，其中實質(zhì)上不存在濺沫。

1.一種用于物理氣相沉積裝置的過濾裝置(1)，所述過濾裝置用于減少來自于所述物理氣相沉積裝置的蒸氣發(fā)生器的蒸氣流中的非氣態(tài)成分的量，所述過濾裝置包括：-用于蒸氣流(5)的入口通道(2)；-用于從蒸氣流(5)中移除非氣態(tài)成分的移除器件(6)；-用于從過濾裝置(1)釋放蒸氣流(5)的出口通道(7)；其中，入口通道(2)與用于移除非氣態(tài)成分的移除器件(6)流體連通；并且其中，用于移除非氣態(tài)成分的移除器件(6)與出口通道(7)流體連通；其特征在于，-用于移除非氣態(tài)成分的移除器件(6)包括碳泡沫部件(8)，蒸氣流(5)能夠穿過所述碳泡沫部件(8)，以允許蒸氣流朝向出口通道(7)通過；-用于蒸氣流通過所述用于移除非氣態(tài)成分的移除器件(6)的唯一路徑穿過碳泡沫部件(8)；-其中，用于移除非氣態(tài)成分的移除器件(6)包括粘附至碳泡沫部件(8)的石墨部件(9)，所述石墨部件能夠通過電磁感應(yīng)加熱并且能夠?qū)醾鲗?dǎo)至碳泡沫部件(8)，過濾裝置還包括圍繞石墨部件(9)定位的感應(yīng)線圈(10)；以及-石墨部件(9)是包圍碳泡沫部件(8)的石墨管。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其中，用于移除非氣態(tài)成分的移除器件(6)包括具有第一直徑的第一石墨管、以及具有比第一直徑小的第二直徑的第二石墨管，其中：-第一石墨管包圍第一碳泡沫部件；-第二石墨管包圍第二碳泡沫部件；-第一碳泡沫部件連接至第二石墨管，使得所述第一石墨管和第二石墨管基本處于相同的方向上。3.一種用于物理氣相沉積裝置的過濾裝置(1)，所述過濾裝置用于減少來自于所述物理氣相沉積裝置的蒸氣發(fā)生器的蒸氣流中的非氣態(tài)成分的量，所述過濾裝置包括：-用于蒸氣流(5)的入口通道(2)；-用于從蒸氣流(5)中移除非氣態(tài)成分的移除器件(6)；-用于從過濾裝置(1)釋放蒸氣流(5)的出口通道(7)；其中，入口通道(2)與用于移除非氣態(tài)成分的移除器件(6)流體連通；并且其中，用于移除非氣態(tài)成分的移除器件(6)與出口通道(7)流體連通；其特征在于，-用于移除非氣態(tài)成分的移除器件(6)包括碳泡沫部件(8)，蒸氣流(5)能夠穿過所述碳泡沫部件(8)，以允許蒸氣流朝向出口通道(7)通過；-用于蒸氣流通過所述用于移除非氣態(tài)成分的移除器件(6)的唯一路徑穿過碳泡沫部件(8)；其中，用于移除非氣態(tài)成分的移除器件(6)包括具有呈交替形式的石墨部件(9)和碳泡沫部件(8)組成的結(jié)構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的過濾裝置，其中，交替的石墨部件和碳泡沫部件呈環(huán)狀并且一同形成管形的層狀結(jié)構(gòu)，所述層狀結(jié)構(gòu)基本平行于蒸氣流(5)的方向延伸。5.根據(jù)權(quán)利要求1-3中的任一項所述的過濾裝置，其中，用于移除非氣態(tài)成分的移除器件(6)包括與碳泡沫部件(8)串聯(lián)并且流體連通的另一碳泡沫部件(8’)，所述碳泡沫部件(8)與所述另一碳泡沫部件(8’)設(shè)置成使得蒸氣流(5)首先穿過碳泡沫部件(8)、之后穿過所述另一碳泡沫部件(8’)。6.根據(jù)權(quán)利要求1-3中的任一項所述的過濾裝置，其中，粘附至碳泡沫部件(8)的石墨部件(9)通過粘合劑熔合至碳泡沫部件上，以增大從石墨部件(9)至碳泡沫部件(8)的熱傳導(dǎo)。7.一種蒸氣發(fā)生器(11)，包括：-用于源材料(13)的蒸發(fā)容器(12)；-加熱器件(14)，所述加熱器件用于將源材料(13)加熱至源材料(13)蒸發(fā)并且形成蒸氣流(5)的溫度；-根據(jù)權(quán)利要求1-6中的任一項所述的過濾裝置(1)；-蒸氣發(fā)生器的出口通道(15)；其中，蒸發(fā)容器(12)與過濾裝置(1)流體連通；并且其中，過濾裝置(1)與蒸氣發(fā)生器(11)的出口通道(15)流體連通。8.一種用于在基底上沉積蒸氣的設(shè)備(21)，所述設(shè)備包括：-根據(jù)權(quán)利要求7所述的蒸氣發(fā)生器(11)；以及-傳遞基底通過蒸氣發(fā)生器(11)的出口通道(15)的傳遞器件。9.一種將蒸氣沉積在基底上以形成涂層的方法，所述方法包括：-提供根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于在基底上沉積蒸氣的設(shè)備(21)；然后-將源材料(13)放置在蒸發(fā)容器(12)中；然后-致動用于加熱源材料(13)的加熱器件(14)，由此形成蒸氣流；以及如果存在圍繞石墨部件(9)的感應(yīng)線圈(10)的話，致動圍繞石墨部件的所述感應(yīng)線圈；然后-使蒸氣流(5)通過移除器件(6)的碳泡沫部件(8)，以形成基本不具有非氣態(tài)成分的蒸氣流(5)；然后-通過蒸氣發(fā)生器的出口通道(15)釋放蒸氣流(5)，并且將蒸氣流噴射至基底上以形成涂層。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中，源材料(13)包括選自以下組的金屬：鋅、鎂、鈦、鉻、錳、鎳、鉍、鍶、銻和鋁。11.根據(jù)權(quán)利要求9和10中的任一項所述的方法，還包括在蒸氣發(fā)生器中提供小于760托的氣壓的壓力。12.一種涂層基底，所述涂層基底能夠通過根據(jù)權(quán)利要求9-11中的任一項所述的方法而獲得。13.一種碳泡沫部件在根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項所述的過濾裝置中的用途，用來減少當(dāng)將蒸氣沉積在基底上時形成的濺沫的數(shù)量。