1.一種使多種可溶性重金屬離子從含有研磨固體的半導體廢水中同
時形成沉淀、并提高微濾器工作效率的方法,其特征在于以下步驟:
(a)在含有研磨固體的半導體廢水中添加有效量的含有二硫代氨基
甲酸鹽官能團的水溶性聚合物;
其中所述重金屬離子選自銅、鎳、鋅、鉛、汞、鎘、銀、鐵、鎂以
及它們的混合物;
其中所述研磨固體選自鋁土、硅土、鈰土、氧化鍺、二氧化鈦、氧
化鋯以及它們的混合物;
其中所述微濾器濾芯的最大通過微粒尺寸在0.1-5微米范圍內;
其中所述含有二硫代氨基甲酸鹽官能團的水溶性聚合物選自聚二烯
丙基胺二硫代氨基甲酸鹽;
其中所述含有二硫代氨基甲酸鹽官能團的水溶性聚合物加入到所述
廢水的量為200ppm;
其中所述含有二硫代氨基甲酸鹽官能團的水溶性聚合物中摻入的
CS2為35%、50%或50-70%;
(b)使所述重金屬離子形成沉淀;和
(c)使所述廢水通過微濾器,除去研磨固體及重金屬離子。
2.如權利要求1所述的方法,其特征在于所述的水溶性聚合物是聚
二烯丙基胺二硫代氨基甲酸鹽。
3.如權利要求1所述的方法,其特征在于微濾器濾芯的最大通過微
粒尺寸在0.1-1微米范圍內。
4.如權利要求1所述的方法,其特征在于進一步包括在向半導體廢
水加入含有二硫代氨基甲酸鹽官能團的水溶性聚合物之前,將半導體廢
水的pH值調節到4-12之間。
5.如權利要求1所述的方法,其特征在于進一步包括在向半導體廢
水加入含有二硫代氨基甲酸鹽官能團的水溶性聚合物之前,將半導體廢
水的pH值調節到6-10之間。
6.如權利要求1所述的方法,其特征在于進一步包括在向半導體廢
水加入含有二硫代氨基甲酸鹽官能團的水溶性聚合物之前,將半導體廢
水的pH值調節到7-9之間。
7.如權利要求1所述的方法,其特征在于半導體廢水中還含有氧化
劑。
8.如權利要求7所述的方法,其特征在于氧化劑選自碘酸鉀、亞鐵
氰化鉀、過氧化氫、硝酸鐵、硝酸銀、硝酸、硫酸、次氯酸鉀、高錳酸
鉀、過硫酸銨、過二硫酸銨、過乙酸、高碘酸、過一硫酸、過一硫酸鉀、
過一硫酸鹽、丙二酰胺、脲過氧化氫、重鉻酸鉀、溴酸鉀、三氧化二釩、
氧化水、臭氧化水以及它們的混合物。
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