本發(fā)明提供一種氯硅烷的精煉裝置及氯硅烷制造方法，可有效地從在氯化反應(yīng)爐中生成的含有氯硅烷的氣體中除去氯化鋁。在容器(1)中填充氯化鈉并由加熱機構(gòu)(17)進行加熱，使含有由金屬硅和氯化氫反應(yīng)生成的氯硅烷的氣體通過該氯化鈉的層(16)中，從而生成該氣體中含有的氯化鋁與氯化鈉的復(fù)鹽，從氣體回收管(26)將分離了該復(fù)鹽后的氣體回收。

1.一種氯硅烷的精煉裝置，其特征在于，
在填充了氯化鈉的容器上設(shè)有：對該氯化鈉的層進行加熱的加熱
機構(gòu)、供給含有由金屬硅和氯化氫反應(yīng)生成的氯硅烷的氣體的氣體供
給管、將通過了上述氯化鈉的層后的氣體排出的氣體回收管，
形成有覆蓋上述容器的至少底部外表面的外套，并且，對該外套
供給熱介質(zhì)，在容器底部，以貫通上述外套的方式連接有將所生成的
復(fù)鹽排出的復(fù)鹽排出管，在復(fù)鹽排出管的貫通部形成有包圍上述復(fù)鹽
排出管的筒狀壁，上述外套形成在該筒狀壁的外側(cè)，
設(shè)置有環(huán)狀的端板，以堵塞上述筒狀壁與上述復(fù)鹽排出管之間的
空間，由上述筒狀壁、上述復(fù)鹽排出管和上述端板在上述容器的底部
的外側(cè)形成包圍上述復(fù)鹽排出管的環(huán)狀室。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氯硅烷的精煉裝置，其特征在于，在上
述容器內(nèi)設(shè)有上下分隔該容器的網(wǎng)板，在該網(wǎng)板的下方位置連接有上
述氣體供給管，在網(wǎng)板的上方位置連接有上述氣體回收管，上述氯化
鈉填充于上述網(wǎng)板上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的氯硅烷的精煉裝置，其特征在于，
在上述氣體供給管的上游位置設(shè)有除去含有上述氯硅烷的氣體中的粉
塵的過濾器，該過濾器具有使用聚四氟乙烯的織物制成的過濾器、或
將聚四氟乙烯做成連續(xù)多孔質(zhì)體而成的膜式過濾器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的氯硅烷的精煉裝置，其特征在于，
在上述環(huán)狀室設(shè)置有排出管。
5.一種氯硅烷制造方法，制造使用權(quán)利要求1所述的氯硅烷的精
煉裝置精煉的氯硅烷，其特征在于，從上述氣體供給管將含有上述氯
硅烷的氣體供給到上述容器內(nèi)，并使該氣體通過填充于該容器內(nèi)的上
述氯化鈉的層，從上述氣體回收管進行回收。