本發(fā)明提供一種探針卡盒，其能夠容易地進(jìn)行探針卡的操作處理且還能夠應(yīng)對小徑化(小型化)了的探針卡。一種用于收納探針卡的探針卡盒，其特征在于，包括：第1盒部件，其能夠?qū)⑸鲜鎏结樋ㄝd置在規(guī)定位置；第2盒部件，其能夠與上述第1盒部件的上側(cè)嵌合，具有用于固定上述探針卡的探針卡固定機構(gòu)；和盒固定機構(gòu)，其用于固定上述第1盒部件和上述第2盒部件，能夠在將上述探針卡收納在上述探針卡盒的內(nèi)部、且將上述第1盒部件和上述第2盒部件固定了的狀態(tài)下進(jìn)行輸送，并且，能夠在將上述探針卡固定在上述第2盒部件的狀態(tài)下，將上述探針卡僅與上述第2盒部件一起輸送。

1.一種探針卡輸送件，其特征在于：所述探針卡可安裝于晶片檢查裝置，具有絕緣性基板，該絕緣性基板具有探針，為了進(jìn)行形成于半導(dǎo)體晶片上的半導(dǎo)體器件的電檢查而使該探針與半導(dǎo)體晶片上的電極極板接觸，所述探針卡輸送件包括：頂板部，其具有與探針卡的一個面相對的第1面和與所述第1面相反側(cè)的第2面，其中，所述探針卡的一個面是與所述探針卡的探針設(shè)置面相反側(cè)的面；和探針卡固定機構(gòu)，其配置在所述頂板部，通過從所述頂板部的第2面?zhèn)冗M(jìn)行的操作，能夠?qū)⑺鎏结樋ü潭ㄔ谒鲰敯宀浚⑶夷軌驈乃鲰敯宀拷獬鎏结樋ǎ鎏结樋ㄔ谄浔还潭ㄔ谒鲰敯宀康臓顟B(tài)下被輸送，所述探針卡被從所述頂板部解除而安裝于所述晶片檢查裝置。2.如權(quán)利要求1所述的探針卡輸送件，其特征在于：所述頂板部從所述第1面?zhèn)鹊闹芫壊垦由欤哂邪鼑鎏结樋ǖ膫?cè)壁部。3.如權(quán)利要求1所述的探針卡輸送件，其特征在于：所述探針卡固定機構(gòu)是貫通所述頂板部的翼形螺釘，所述翼形螺釘具有在所述第1面?zhèn)扰c所述探針卡螺合的螺紋部和配置在所述第2面?zhèn)鹊囊聿俊?.如權(quán)利要求2所述的探針卡輸送件，其特征在于：在所述頂板部的所述側(cè)壁部具有用于輸送的把手。5.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的探針卡輸送件，其特征在于：所述探針卡輸送件至少一部分為透明，能夠隔著所述探針卡輸送件目視所述探針卡。