本發明提供一種功率器件用的探針卡，能夠顯著地減小探針與測試器間的測定線路和載置臺與測試器間的測定線路各自的電阻，在用作探針裝置的實際設備時也能夠充分地確保可靠性。本發明的探針卡（10）具備：與功率器件（D）的發射極電極電接觸的第一探針（11）；與第一探針（11）連接的塊狀的第一連接端子（12）；與功率器件（D）的柵極電極電接觸的第二探針（13）；與第二探針（13）連接的塊狀的第二連接端子（14）、能夠與功率器件（D）的集電極電極側電接觸的接觸板（15）；和固定于接觸板（15）的塊狀的第三連接端子（16）。第一連接端子、第二連接端子、第三連接端子（12）、（14）、（16）分別與測試器側的連接端子直接電接觸。

1.一種探針卡(10)，其在檢查形成于半導體晶片(W)的多個功率器件(D)的動態特性時
使用，所述功率器件(D)包括：形成在半導體晶片(W)的上表面的柵極電極和發射極電極，形
成在半導體晶片(W)的下表面的集電極電極，該探針卡(10)的特征在于，包括：
與所述功率器件(D)的所述發射極電極電接觸的第一探針(11)；
與所述第一探針連接的第一連接端子(12)；
與所述功率器件(D)的所述柵極電極電接觸的第二探針(13)；
與所述第二探針(13)連接的第二連接端子(14)；
能夠與所述功率器件(D)的所述集電極電極電接觸的接觸板(15)；
固定有所述第一連接端子(12)和所述第二連接端子(14)的支承基板(18)；和
固定于所述接觸板(15)的第三連接端子(16)，
所述第一連接端子(12)和所述第二連接端子(14)分別貫通所述支承基板(18)，并且從
所述支承基板(18)的兩個表面露出，
所述第三連接端子(16)貫通形成于所述支承基板(18)的孔(18C)。
2.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于：
在所述第一連接端子(12)、第二連接端子(14)和第三連接端子(16)的面上，分別形成
有中央部鼓起的板簧部(12B、14B、16B)。
3.如權利要求2所述的探針卡，其特征在于：
所述板簧部(12B、14B、16B)包括多個帶狀部。
4.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于：
所述第一連接端子(12)、所述第二連接端子(14)、所述第三連接端子(16)分別具有端
子板(12A、14A、16A)。
5.一種探針裝置，其在檢查形成于半導體晶片(W)的多個功率器件(D)的動態特性時使
用，包括：探針卡(10)、載置臺(20)和測試器(50)，所述功率器件(D)包括：形成在半導體晶
片(W)的上表面的柵極電極和發射極電極，形成在半導體晶片(W)的下表面的集電極電極，
其特征在于：
所述探針卡(10)包括：
與所述功率器件(D)的發射極電極電接觸的第一探針(11)；
與所述第一探針連接的第一連接端子(12)；
與所述功率器件(D)的柵極電極電接觸的第二探針(13)；
與所述第二探針(13)連接的第二連接端子(14)；
能夠與所述功率器件(D)的所述集電極電極電接觸的接觸板(15)；
固定有所述第一連接端子(12)和所述第二連接端子(14)的支承基板(18)；和
固定于所述接觸板(15)的第三連接端子(16)，
所述第一連接端子(12)、所述第二連接端子(14)和所述第三連接端子(16)分別與對應
的測試器的連接端子(51、52、53)直接電接觸，
所述第一連接端子(12)和所述第二連接端子(14)貫通所述支承基板(18)，并且從所述
支承基板(18)的兩個表面露出，
所述接觸板(15)通過與設置于所述載置臺(20)的側面的接觸塊(21)彈性地接觸而與
所述集電極電極電接觸，
第三連接端子(16)貫通形成于所述支承基板(18)的孔(18C)。
6.如權利要求5所述的探針裝置，其特征在于：
所述接觸塊(21)的前端部在上下方向上彈性地搖動。
7.如權利要求5所述的探針裝置，其特征在于：
所述接觸板(15)通過所述接觸塊(21)與形成于所述載置臺(20)的表面的導體膜電極
連接。
8.如權利要求5所述的探針裝置，其特征在于：
所述探針裝置具有卡座(30)，所述支承基板(18)固定于所述卡座(30)。
9.如權利要求5所述的探針裝置，其特征在于：
所述探針裝置具有卡座(30)，所述接觸板(15)經由墊片固定于所述卡座(30)。