本發明提供一種設置于探針裝置的探針卡，其具有支承接觸體的支承板和設置在支承板的上表面側的電路基板。在電路基板的上表面設置有連結部件，連結部件和支承板利用連結體被連結。在連結部件的上表面設置有多個載荷調整部件，其將接觸體和被檢查體的接觸載荷維持為一定。在連結部件的外周部設置有多個彈性部件，其固定支承板的水平方向的位置。在電路基板與支承板之間設置有多個中間部件，其使該電路基板和支承板彈性地電連接。

1.一種探針卡，用于檢查被檢查體的電特性，所述探針卡的特征
在于，具有：
支承板，其在檢查時支承與被檢查體接觸的接觸體；
電路基板，其設置在所述支承板的上表面側，向所述接觸體發送用
于檢查的電信號；
連結部件，其設置在所述電路基板的上表面，與所述支承板連結；
多個載荷調整部件，其設置在所述連結部件的上表面，將所述接觸
體和被檢查體的接觸載荷維持為恒定；以及
多個彈性部件，其設置在所述連結部件的外周部，固定所述支承板
的水平方向的位置，
所述載荷調整部件，調整向內部供給的空氣的壓力，從而總是將所
述接觸體和被檢查體的接觸載荷維持為恒定的接觸載荷而無論該接觸
載荷的作用點的位置如何。
2.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，
具有中間部件，該中間部件設置在所述電路基板與所述支承板之
間，使該電路基板和支承板彈性地電連接。
3.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，具有：
載荷測定器，其測定施加于所述多個載荷調整部件的載荷；以及
控制部，其基于所述載荷測定器的測定結果，以使施加于所述多個
載荷調整部件的載荷均等地成為規定值的方式進行控制。
4.如權利要求1所述的探針卡，其中，
所述支承板和所述連結部件被連結體連結，
在所述連結體的外周部，設置有僅引導所述支承板在垂直方向上的
移動的引導部件。
5.如權利要求1所述的探針卡，其中，
所述彈性部件是板簧，該板簧的一端固定于所述連結部件的外周
部，另一端固定于加強所述電路基板的加強部件。
6.如權利要求1所述的探針卡，其中，
所述接觸體具有三層構造，該三層構造包括平板狀的中間體，和安
裝于該中間體的上下兩面的彈性片，
所述下表面側的彈性片具有在檢查時與被檢查體接觸的導電部。
7.如權利要求1所述的探針卡，其中，
所述接觸體具有：梁部，其懸臂支承于所述支承板；以及觸頭，其
從所述梁部的自由端部向被檢查體側延伸，在檢查時與被檢查體接觸。