本發(fā)明的一種探針裝置在一側(cè)上具有帶有接觸結(jié)構(gòu)的探針導(dǎo)線。該接觸結(jié)構(gòu)用于接觸另一測試設(shè)備或組件（例如一電路板）上對應(yīng)的接觸結(jié)構(gòu)。該探針導(dǎo)線具有探測期望接受測試的一器件的尖端。信號通過來自探針卡的該探針導(dǎo)線（例如，通過一電路板）被傳輸?shù)狡渌\斷設(shè)備。該探針卡與該電路板的該接觸允許信號通過該探針導(dǎo)線傳送到該其他診斷設(shè)備。在該探針卡的另一側(cè)上為一連接器結(jié)構(gòu)。該連接器結(jié)構(gòu)包括一固位體，該固持器可允許自一測試系統(tǒng)替換該探針卡，例如允許該探針卡自一固持器連接及斷開連接。

1.一種用于測試一半導(dǎo)體裝置的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括：
一電路板，所述電路板具有一信號接觸結(jié)構(gòu)及一防護(hù)接觸結(jié)構(gòu)，所述電路板被配置為
一板片，所述板片具有一頂部側(cè)、一底部側(cè)以及通過所述頂部側(cè)和底部側(cè)的一開口；
一探針卡，所述探針卡包括一導(dǎo)線導(dǎo)引器、與該導(dǎo)線導(dǎo)引器連接的一探針塊、由所述導(dǎo)
線導(dǎo)引器及探針塊支撐的多個(gè)探針導(dǎo)線，所述探針導(dǎo)線通過所述導(dǎo)線導(dǎo)引器以及所述探針
塊被定位，所述探針導(dǎo)線包括延伸通過所述探針塊的一探針尖端，所述探針尖端形成一陣
列以探測一受測試器件，每根探針導(dǎo)線包括自所述導(dǎo)線導(dǎo)引器暴露的一信號傳輸部分以及
一防護(hù)部分，所述信號傳輸部分以及所述防護(hù)部分形成一接觸結(jié)構(gòu)，并通過所述陣列被安
置于所述探針卡的一側(cè)上，一固位體部件安置于所述探針卡的另一側(cè)上；
一固持器，所述固持器具有多個(gè)探針卡站，所述探針卡站具有一連接器結(jié)構(gòu)，以連接到
所述探針卡的所述固位體部件以及斷開自所述探針卡的所述固位體部件的連接，并允許所
述探針卡與所述電路板和一受測試器件兩者接觸；以及
一托架機(jī)構(gòu)，所述托架機(jī)構(gòu)被配置用于將所述探針卡定位到所述電路板上，所述托架
機(jī)構(gòu)被配置用于定位所述探針卡站中的任何一個(gè)探針卡站以允許連接到其他探針卡以及
與其他探針卡斷開連接，以及用于定位所述其他探針卡中的一個(gè)或多個(gè)以接觸所述電路
板；
其中，所述探針塊可插入到所述電路板的所述開口中以允許所述陣列探測一受測試器
件，所述探針卡的所述接觸結(jié)構(gòu)可與所述電路板上的所述信號接觸結(jié)構(gòu)以及防護(hù)接觸結(jié)構(gòu)
接觸，所述探針卡與所述電路板的所述接觸允許信號通過所述探針導(dǎo)線以及電路板而被傳
送。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述固位體部件包括一插座，其中所述插座
被配置用于接納一球形架座。
3.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述固持器包括至少五個(gè)位置，所述探針卡
和其他探針卡可安裝于所述至少五個(gè)位置上。
4.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述固持器為具有五個(gè)面的一五邊形輪，其
中，每個(gè)面可用于安裝一探針卡，所述五邊形輪被配置以執(zhí)行所述探針卡的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)位。
5.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述固持器被配置用于通過一氣動操作以及
一自動化控制自一個(gè)探針卡切換到另一探針卡。
6.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述固持器被配置用于執(zhí)行所述探針卡的平
移轉(zhuǎn)位。
7.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述托架機(jī)構(gòu)包括一框架及轉(zhuǎn)位組件。
8.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包括用于自所述固持器裝載及移除探
針卡的一裝載工具。
9.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包括一封裝，以用于容納所述電路板、
固持器及托架機(jī)構(gòu)以作為一單一單元。
10.一種探測受測試器件的方法，其特征在于，所述方法包括：
將一固持器定位到一探測位置中，包括將一探針卡保持在所述固持器的一側(cè)上；
使用連接到一托架機(jī)構(gòu)的所述固持器，將所述探針卡定位到一電路板以及一受測試器
件上，所述電路板具有一信號接觸結(jié)構(gòu)及一防護(hù)接觸結(jié)構(gòu)，所述探針卡包括多個(gè)探針導(dǎo)線，
每根探針導(dǎo)線包括延伸通過一探針塊的一探針尖端，所述探針尖端形成一陣列以探測所述
受測試器件，每根探針導(dǎo)線包括自一導(dǎo)線導(dǎo)引器暴露的一信號傳輸部分以及一防護(hù)部分，
所述信號傳輸部分以及所述防護(hù)部分形成一接觸結(jié)構(gòu)，并通過所述陣列被安置于所述探針
卡的一側(cè)上，該側(cè)與保持所述固持器的一側(cè)不同；
使用所述托架機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)位所述探針卡，以用于將所述探針卡的所述接觸結(jié)構(gòu)與所述信號
接觸結(jié)構(gòu)以及所述防護(hù)接觸結(jié)構(gòu)對準(zhǔn)接觸，以及用于將所述陣列與所述受測試器件接觸；
使用所述陣列探測所述受測試器件；以及
通過所述探針卡與所述電路板的接觸以及所述探針卡與所述受測試器件的接觸，將信
號通過所述陣列傳輸?shù)揭粶y試設(shè)備，從而允許信號通過所述探針導(dǎo)線及電路板被傳送。
11.如權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，進(jìn)一步包括：使用另一探針卡替換所述探
針卡。
12.如權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，進(jìn)一步包括：旋轉(zhuǎn)所述固持器以切換到至
少四個(gè)其他探針卡中的一個(gè)。
13.如權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，通過一氣動操作以及一自動化控制執(zhí)行定
位所述固持器、定位所述探針卡以及轉(zhuǎn)位所述探針卡的步驟中的一個(gè)或多個(gè)步驟。