1.適用于鎢銅靶板的集成模塊化探針系統，其特征在于：包括鎢銅靶板和多個探針組件構成的集成化模塊，其中鎢銅靶板包括鉻鋯銅基座，鉻鋯銅基座中設有空腔，鉻鋯銅基座頂部敞口，且敞口處從下至上依次蓋合連接有無氧純銅適應層、鎢片，鉻鋯銅基座的空腔被中間隔座隔分為兩個水冷管道，兩個水冷管道的后端通過連接管連通，其中一個水冷管道前端連接有進水管，另一個水冷管道前端連接有出水管，從鎢片頂面中間位置向下豎直設有多個探針孔，多個探針孔沿水冷管道長邊方向排列，每個探針孔分別豎直貫通鎢片、無氧純銅適應層、鉻鋯銅基座的中間隔座，多個探針組件一一對應安裝在探針孔中，探針組件上端從探針孔位于鎢片頂面的孔口露出或與鎢片頂面齊平，探針組件下端連接有導線，導線從探針孔位于鉻鋯銅基座底面的孔口穿出；所述探 針孔為上細下粗的階梯孔，其中小孔位于鎢片及無氧純銅適應層中，大孔位于鉻鋯銅基座 的中間隔座中；所述探針組件包括同軸設置在大孔內上端的前端陶瓷圈、同軸設置在大孔內并位于前端陶瓷圈下方的后端陶瓷圈，前、后端陶瓷圈的圈孔均為階梯通孔，且前端陶瓷圈貼緊階梯孔中大孔與小孔交界處；大孔內位于前、后端陶瓷圈之間同軸設有銅連接件，銅連接件為階梯圓柱形，銅連接件上、下端分別對應裝配在前端陶瓷圈、后端陶瓷圈的圈孔中，由前、后端陶瓷圈固定準直銅連接件，且銅連接件與鉻鋯銅基座絕緣隔離；銅連接件上、下端端面分別加工有螺紋孔，其中銅連接件上端的螺紋孔同軸螺紋連接有探針頭，探針頭向上從探針孔位于鎢片頂面的孔口穿出，或者探針頭上端與鎢片頂面齊平；所述探針組件還包括同軸設在大孔內下端的緊定螺釘，階梯孔中大孔內下端成型有內螺紋，頂緊螺釘螺紋裝配在大孔內下端，頂緊螺釘中間同軸設有通孔，大孔內位于頂緊螺釘和后端陶瓷圈之間設有彈簧墊圈，由頂緊螺釘、后端陶瓷圈夾持彈簧墊圈；銅連接件下端螺紋孔同軸螺紋連接有接線螺釘，接線螺釘下端穿過彈簧墊圈并伸入頂緊螺釘的通孔中，且接線螺釘下端加工為管狀延伸部，管狀延伸部中連接有導線，導線從頂緊螺釘的通孔下端穿出并最終從鉻鋯銅基座底面穿出。2. 根據權利要求1所述的適用于鎢銅靶板的集成模塊化探針系統，其特征在于：所述頂 緊螺釘底面設置有矩形槽口，以便能使用工具擰緊螺釘，牢固固定探針組件，頂緊螺釘擰緊 后做沖邊防松處理。3. 根據權利要求1所述的適用于鎢銅靶板的集成模塊化探針系統，其特征在于：所述導 線為耐高溫玻璃絲云母編織銅導線。4. 根據權利要求1所述的適用于鎢銅靶板的集成模塊化探針系統，其特征在于：所述連 接管、進水管和出水管均為不銹鋼材質，通過釬焊方式與鉻鋯銅基座的水冷管道對應端連 接；進水管和出水管分別與外系統水冷管道通過焊接相連，構成一個水冷環路，實現對本發 明系統的整體冷卻。5. 根據權利要求1所述的適用于鎢銅靶板的集成模塊化探針系統，其特征在于：所述探針頭采用石墨材料加工而成，探針頭下端為螺紋柱，該端螺合在銅連接件上端螺孔內；探針頭上端為球頂部，球頂部突出于鎢片頂面，球頂部下方為圓柱，圓柱與螺紋柱之間為兩側削平的圓柱，以便于使用特制夾具夾緊，并擰緊螺紋，其尺寸大于兩端圓柱和螺紋柱直徑，以與前端陶瓷圈貼緊。6. 根據權利要求1所述的適用于鎢銅靶板的集成模塊化探針系統，其特征在于：所述探針頭采用鎢銅材料制備而成，探針頭下端為螺紋柱，該端螺合在銅連接件上端螺孔內；探針頭上端為球頂部，探針頭上端的球頂部頂端為平頂圓柱狀，平頂部 頂端與鎢片頂面齊平，即構成齊平探針形式，以避免球頂突出導致溫度過于集中而使鎢探 針頭熔化發生黏連現象；同時由于鎢材料無法加工螺紋，故其螺紋端為鎢圓柱表面通過熱 壓方式與無氧純銅圓套管進行焊接連接，然后再加工螺紋。
展開
