本發(fā)明公開了一種連接電氣信號用坐標(biāo)變換裝置；該裝置用在可因應(yīng)狹密間距焊墊的探針卡上，特別是容易從測頭，布線至檢查裝置電路板，且防止電氣接觸不良；因此在連接電氣信號用坐標(biāo)變換裝置上，因應(yīng)探針輸出端之一的第1布線群輸入端，是由可在y z平面內(nèi)，獨立活動的至少2個端子所構(gòu)成；接觸導(dǎo)通前述探針輸出端、與前述第1布線群輸入端時，前述第1布線群輸入端的第1端子壁面，會接觸前述探針輸出端的一側(cè)，且第2端子壁面，會接觸前述探針輸出端的相反側(cè)。

1.一種連接電氣信號用坐標(biāo)變換裝置，其特征在于：使用黏接金屬箔的樹脂膠膜，并蝕刻加工前述金屬箔后，在樹脂膠膜上形成包含探針功能且構(gòu)成導(dǎo)電體的導(dǎo)電圖案；層迭數(shù)片前述附探針功能的樹脂膠膜，讓前述探針前端部，完全接觸半導(dǎo)體芯片的電極焊墊，以進(jìn)行半導(dǎo)體芯片回路檢查的測頭組裝；使用黏接金屬箔的樹脂膠膜，蝕刻加工前述金屬箔，并于樹脂膠膜上形成導(dǎo)電圖案，而自樹脂膠膜外周，突出前期導(dǎo)電圖案的輸入端及輸出端，將前述探針的輸出端的間距，做為在第1水平方向(y向)的第1布線群的輸入端的間距后，再將間距比前述第1布線群輸入端的間距，還稀疏的間距，做為第1布線群的輸出端的間距后，即成為第1布線群；將前述第1布線群間輸出端的間距，做為在第1水平方向上、呈直交的第2水平方向(x向)上的第2布線群的輸入端的間距后；及再將間距比前述第2布線群的輸入端的間距，還稀疏的間距，做為第2布線群的輸出端的間距后，即成為第2布線群，而屬第2布線群的連接電氣信號用坐標(biāo)變換裝置上，相應(yīng)的前述探針輸出端之一的前述第1布線群輸入端，是由可在y?z平面內(nèi)獨立活動的至少2個端子所構(gòu)成，接觸導(dǎo)通前述探針的輸出端、與前述第1布線群輸入端時，前述第1布線群輸入端的第1端子壁面，會接觸前述探針輸出端的一側(cè)，且第2端子壁面，會接觸前述探針輸出端的相反側(cè)。2.如權(quán)利要求1的連接電氣信號用坐標(biāo)變換裝置，其特征在于：將連結(jié)于第1布線群導(dǎo)電圖案的輸入端，視為第1端子，并使用黏接金屬箔的樹脂膠膜，蝕刻加工前述金屬箔，且于樹脂膠膜上形成前述第2端子，再將該樹脂膠膜，黏接于構(gòu)成前述第1布線群的樹脂膠膜兩面上。3.如權(quán)利要求1的連接電氣信號用坐標(biāo)變換裝置，其特征在于：讓接觸前述探針輸出端側(cè)面的第1端子壁面、和第2端子壁面之間的對向距離，是以小于事先接觸構(gòu)成探針輸出端導(dǎo)體圖案厚度的方式所設(shè)置而成。4.如權(quán)利要求1的連接電氣信號用坐標(biāo)變換裝置，其特征在于：因應(yīng)第1布線群輸出端之一的第2布線群輸入端，是由可在xz平面內(nèi)，獨立活動的至少2個端子所構(gòu)成；接觸導(dǎo)通前述第1布線群輸出端、與前述第2布線群輸入端時，前述第2布線群輸入端的第1端子壁面，會接觸前述第1布線群輸出端的一側(cè)，且前述第2布線群輸入端的第2端子壁面，會接觸前述第1布線群輸出端的相反側(cè)。5.如權(quán)利要求1的連接電氣信號用坐標(biāo)變換裝置，其特征在于：將連結(jié)于第2布線群導(dǎo)電圖案的輸入端，視為第1端子，并使用黏接金屬箔的樹脂膠膜，蝕刻加工前述前述金屬箔，且于樹脂膠膜上形成前述第2端子，再將該樹脂膠膜，黏接于構(gòu)成前述第2布線群的樹脂膠膜兩面上。6.如權(quán)利要求4的連接電氣信號用坐標(biāo)變換裝置，其特征在于：讓接觸第1布線群輸出端側(cè)面的第2布線群輸入端的第1端子壁面、和第2端子壁面之間的對向距離，是以小于事先接觸構(gòu)成第1布線群輸出端圖案厚度的方式所設(shè)置而成。