本發(fā)明涉及一種包括粗糙度測量系統(tǒng)和粗糙度測量傳感器的裝置(10)，其中使用滑動件(15.3)和探測尖端(1.4)。所述滑動件(15.3)以傳感滑動件(15.3)的形式設置在探針(15.2)的最外端。所述探測尖端(15.4)與所述探針(15.2)成一體，其中所述傳感滑動件(15.3)和所述探測尖端(15.4)之間的距離(A)是預定的。粗糙度傳感系統(tǒng)為具有平行四邊形結(jié)構(gòu)的一維、二維或三維傳感系統(tǒng)。所述裝置還包括一種伺服裝置，其使到所述探針(15.2)連同所述傳感滑動件(15.3)可在待掃描的表面(F)作為一體地移動。本發(fā)明還涉及一種相應的使用所述裝置(10)的方法。

1.一種包括粗糙度傳感系統(tǒng)(12)和粗糙度測量傳感器(15)的裝置(10)，
其中滑動件和探測尖端(15.4)共同工作，其中：
-所述滑動件以掃描滑動件(15.3)的形式設置在探針(15.2)的最外
端，
-所述探測尖端(15.4)與所述探針(15.2)成一體，其中所述掃描滑
動件(15.3)和所述探測尖端(15.4)之間的距離(A)是預定的，
-所述裝置(10)包括伺服裝置，所述伺服裝置使所述探針(15.2)可
與所述掃描滑動件(15.3)和所述探測尖端(15.4)在待掃描的表面(F)
上共同地移動，
其特征在于：
-所述探針(15.2)包括可轉(zhuǎn)動地支承在樞軸承(13.2)的周圍的桿臂
(13.1)；
-所述探測尖端(15.4)設置在所述桿臂(13.1)的前端，使得所述探
測尖端(15.4)在所述桿臂(13.1)的前端的向上和向下運動在所述桿臂
(13.1)的后端產(chǎn)生相應的向上和向下運動；
-所述粗糙度傳感系統(tǒng)(12)為具有平行四邊形結(jié)構(gòu)(31,38；40)的
一維、二維或三維掃描系統(tǒng)，該平行四邊形結(jié)構(gòu)(31,38；40)用于將所述
粗糙度傳感系統(tǒng)(12)連接于所述伺服裝置；
-所述粗糙度傳感系統(tǒng)(12)提供通過所述掃描滑動件(15.3)的應用
來獲得的第一信號(f2)，所述第一信號允許對所述待掃描的表面(F)的
形狀下結(jié)論，以及
-同時地，所述粗糙度傳感系統(tǒng)(12)提供通過所述探測尖端(15.4)
的應用來獲得的第二信號(f3)，所述第二信號允許對所述待掃描的表面
(F)的粗糙度下結(jié)論。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置(10)，其特征在于：所述第一信號(f2)
允許對所述待掃描的表面(F)的幾何形狀下結(jié)論。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置(10)，其特征在于：所述第一信號(f2)
和所述第二信號(f3)彼此在空間上和/或時間上相關聯(lián)，以便提供與
所述待掃描的表面(F)的紋理有關的信息。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置(10)，其特征在于：所述粗糙度測量傳感
器(15)偏移多個自由度以及所述粗糙度傳感系統(tǒng)(12)產(chǎn)生第一信
號(f2)，所述第一信號(f2)表示與所述偏移有關的信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置(10)，其特征在于：所述粗糙度測量傳感
器(15)偏移多個自由度以及所述粗糙度傳感系統(tǒng)(12)產(chǎn)生第一信
號(f2)，所述第一信號(f2)表示與所述偏移有關的信息。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置(10)，其特征在于：所述粗糙度測量傳感
器(15)偏移多個自由度以及所述粗糙度傳感系統(tǒng)(12)產(chǎn)生第一信
號(f2)，所述第一信號(f2)表示與所述偏移有關的信息。
7.根據(jù)權(quán)利要求1－6的其中一項所述的裝置(10)，其特征在于：所述
探針(15.2)與所述掃描滑動件(15.3)和所述探測尖端(15.4)一起
繞著所述探針(15.2)的縱軸線(A2)可轉(zhuǎn)動地支承。
8.根據(jù)權(quán)利要求1－6的其中一項所述的裝置(10)，其特征在于：所述
探針(15.2)構(gòu)成為至少部分地中空，以使所述探針的內(nèi)部可容納桿臂
(13.1)，所述探測尖端(15.4)設置在所述桿臂的一端上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1－6的任一項所述的裝置(10)，其特征在于：電磁鐵
設置在所述探針(15.2)之內(nèi)或之上，以便可收回所述探測尖端(15.4)。
10.一種掃描表面(F)的方法，所述方法包括以下步驟：
-伺服一個探針(15.2)，所述探針的最外端具有掃描滑動件(15.3)，
并包括與所述掃描滑動件(15.3)相隔一段距離(A)的探測尖端(15.4)，
以便使所述掃描滑動件(15.3)與所述表面(F)的一個點接觸，
-沿著所述表面(F)至少朝一個坐標方向移動所述探針(15.2)，從
而使所述掃描滑動件(15.3)和所述探測尖端(15.4)于所述表面(F)上
在相隔所述一段距離(A)的情況下一起移動，其中所述探測尖端(15.4)
設置在可轉(zhuǎn)動地支承在樞軸承(13.2)的周圍的桿臂(13.1)的前端，使
得所述探測尖端(15.4)在所述桿臂(13.1)的前端的向上和向下運動在
所述桿臂(13.1)的后端產(chǎn)生相應的向上和向下運動，
-收集與所述掃描滑動件(15.3)相關聯(lián)的一維、二維或三維轉(zhuǎn)換器的
第一信號(f2)，
-同時收集與所述探測尖端(15.4)相關聯(lián)的轉(zhuǎn)換器的第二信號(f3)，
以及
-將所述第一信號(f2)與所述第二信號(f3)設定成相關聯(lián)，
其特征在于，所述第一信號(f2)允許對所述表面(F)的形狀下結(jié)論，
且所述第二信號(f3)允許對所述表面(F)的粗糙度下結(jié)論。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于：所述第一信號(f2)允
許對所述表面(F)的幾何形狀下結(jié)論。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于：通過在所述第一信號(f2)
和所述第二信號(f3)進行疊加之前以所述距離(A)使所述第一信號
(f2)或所述第二信號(f3)進行空間位移來實現(xiàn)所述的設定成相關聯(lián)
的步驟。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于：通過在所述第一信號(f2)
和所述第二信號(f3)進行疊加之前使所述第一信號(f2)或所述第二
信號(f3)進行時間位移來實現(xiàn)所述的設定成相關聯(lián)的步驟。
14.根據(jù)權(quán)利要求10－13的任一項所述的方法，其特征在于：在伺服所述
探針(15.2)期間，后者繞著所述探針(15.2)的縱軸線(A2)轉(zhuǎn)動。