一種基于摩擦誘導選擇性刻蝕的玻璃表面納米加工方法，主要應用于玻璃表面微納米結構的加工。其具體操作方法是：將尖端為球狀的探針安裝在原子力顯微鏡上，將清洗過的玻璃固定在樣品臺上，啟動原子力顯微鏡，給探針施加定載荷F或者變載荷F′，并使探針沿著設定的掃描軌跡，循環次數N和掃描速率v在玻璃表面進行掃描；掃描后將玻璃置于質量濃度為10?20％的HF溶液中，腐蝕5?10秒，即可。該方法不需要模版或掩膜，單次腐蝕就能在玻璃表面加工斜面、臺階、陣列等三維納米圖案；其加工流程極其簡便，腐蝕速率極快，是一種簡單、精確、高效的玻璃表面的納米加工方法。

1.一種基于摩擦誘導選擇性刻蝕的玻璃表面納米加工方法，其具體操作方法是：
A、將尖端為球狀的掃描探針安裝在原子力顯微鏡上，將清洗過的玻璃固定在樣品臺
上，啟動原子力顯微鏡，給探針施加定載荷F，或者變載荷F'，并使探針按照設定的掃描軌
跡、掃描循環次數N和掃描速率v在玻璃表面進行掃描；所述的變載荷F'的最大值和定載荷F
均不高于臨界載荷F_c；所述的玻璃含有金屬陽離子，能夠和HF溶液產生化學作用，在刻劃區
域生成難溶于HF溶液的產物；
B、將掃描后的玻璃置于質量濃度為10-20％的HF溶液中，腐蝕5-15秒，即可。
2.根據權利要求1所述的一種基于摩擦誘導選擇性刻蝕的玻璃表面納米加工方法，其
特征在于：所述的探針的掃描軌跡為正方形面掃描。
3.根據權利要求2所述的一種基于摩擦誘導選擇性刻蝕的玻璃表面納米加工方法，其
特征在于：所述的掃描載荷為變載荷，掃描的循環次數為1次。
4.根據權利要求2所述的一種基于摩擦誘導選擇性刻蝕的玻璃表面納米加工方法，其
特征在于：所述的探針的掃描載荷為定載荷，掃描的循環次數為2次以上，且后次掃描比前
次掃描的面積更小，但掃描中心一致。
5.根據權利要求2所述的一種基于摩擦誘導選擇性刻蝕的玻璃表面納米加工方法，其
特征在于：所述的掃描載荷為定載荷，掃描的循環次數為2次以上，且后次掃描與前次掃描
的面積相同，但掃描中心不一致。
6.根據權利要求1所述的一種基于摩擦誘導選擇性刻蝕的玻璃表面納米加工方法，其
特征在于：所述的探針的掃描軌跡為面掃描，掃描載荷為定載荷，掃描的循環次數為1次。