本發(fā)明公開(kāi)了一種基板檢測(cè)及修復(fù)裝置。本發(fā)明涉及的基板檢測(cè)及修復(fù)裝置，通過(guò)旋轉(zhuǎn)用于承載支撐基板的檢測(cè)單元而將基板豎立起來(lái)，從而拉近基板與操作者之間的距離，并能夠?qū)⒉僮髡邔?duì)基板的視線角度設(shè)定為舒適的角度。因此具有檢測(cè)操作非常方便的效果。而且，基板支撐固定在檢測(cè)單元上，而檢測(cè)單元的探針在基板的下側(cè)進(jìn)行升降的同時(shí)與基板的電極線連接或不連接。即，具有小尺寸和小體積的探針在進(jìn)行升降，且探針設(shè)置在檢測(cè)單元的內(nèi)部，因此，具有縮減設(shè)置基板檢測(cè)及修復(fù)裝置的空間的效果。而且，不需要用于移動(dòng)基板的高價(jià)裝置，可降低基板檢測(cè)及修復(fù)裝置的成本。

1.一種基板檢測(cè)及修復(fù)裝置，其特征在于，包括：
工作臺(tái)；
檢測(cè)單元，被設(shè)置在所述工作臺(tái)上，并承載支撐著形成有陽(yáng)極線和陰極
線的基板，且具有向所述基板供給電源的多個(gè)探針，用于檢測(cè)所述基板有無(wú)
缺陷；
修復(fù)單元，以能夠沿X軸方向和Y軸方向移動(dòng)的方式設(shè)置在所述工作臺(tái)
上，以修復(fù)所述基板的缺陷部位；
所述檢測(cè)單元包括：
底臺(tái)，設(shè)置在所述工作臺(tái)上；
第一支撐塊，長(zhǎng)度方向與X軸方向平行地設(shè)置在所述底臺(tái)上，且承載支
撐所述基板的中央部側(cè)；
一對(duì)第二支撐塊，隔著所述第一支撐塊分別設(shè)置在所述第一支撐塊的一
側(cè)和另一側(cè)的所述底臺(tái)部位，且長(zhǎng)度方向與X軸方向平行，可沿Y軸方向運(yùn)
動(dòng)，并以相互靠近或遠(yuǎn)離的形式運(yùn)動(dòng)，且承載支撐與Y軸方向垂直的所述基
板的一側(cè)和另一側(cè)外緣部；
一對(duì)第一鉗位器，設(shè)置在所述第一支撐塊的一端側(cè)和另一端側(cè)，以相互
靠近或遠(yuǎn)離的形式運(yùn)動(dòng)，且分別支撐與X軸方向垂直的所述基板的一側(cè)面和
另一側(cè)面；
第二鉗位器，分別設(shè)置在所述第二支撐塊上，且分別與所述第二支撐塊
一同運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，分別支撐與Y軸方向垂直的所述基板的一側(cè)面和另一側(cè)面，
所述檢測(cè)單元被設(shè)置成，在所述工作臺(tái)上能夠以一側(cè)面為基準(zhǔn)使另一側(cè)
面旋轉(zhuǎn)，
所述探針位于所述基板的下側(cè)，設(shè)置成可升降，并與所述基板的所述陽(yáng)
極線和所述陰極線連接或不連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測(cè)及修復(fù)裝置，其特征在于，
在所述工作臺(tái)的一側(cè)形成有暗室，該暗室為操作者對(duì)與所述檢測(cè)單元一
同旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度的所述基板進(jìn)行目測(cè)檢查的作業(yè)空間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測(cè)及修復(fù)裝置，其特征在于，
所述探針?lè)謩e設(shè)置在所述第二支撐塊側(cè)，且分別與所述第二支撐塊一同
運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，可相對(duì)于所述第二支撐塊進(jìn)行升降。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板檢測(cè)及修復(fù)裝置，其特征在于，
在所述第二支撐塊上分別設(shè)置有升降板，該升降板分別與所述第二支撐
塊一同運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，可相對(duì)于所述第二支撐板進(jìn)行升降，
在所述升降板上分別可拆裝地結(jié)合有支撐架，
在所述支撐架上分別支撐設(shè)置有多個(gè)所述探針。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板檢測(cè)及修復(fù)裝置，其特征在于，
所述探針被設(shè)置成，可相對(duì)于所述支撐架升降，
在所述支撐架上設(shè)置有彈性支撐構(gòu)件，該彈性支撐構(gòu)件向所述基板側(cè)彈
性支撐所述探針。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板檢測(cè)及修復(fù)裝置，其特征在于，
在所述第二支撐塊上分別設(shè)置有多個(gè)按壓板，該按壓板分別與所述第二
支撐塊一同運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，可相對(duì)于所述第二支撐塊升降，并向下按壓所述基
板的上表面的外緣部側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板檢測(cè)及修復(fù)裝置，其特征在于，
所述按壓板被設(shè)置成，能夠與所述第二支撐塊的運(yùn)動(dòng)獨(dú)立地分別沿Y軸
方向進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板檢測(cè)及修復(fù)裝置，其特征在于，
在所述底臺(tái)上設(shè)置有能夠沿Y軸方向運(yùn)動(dòng)的托板，
在所述托板上設(shè)置有所述第二支撐塊，
在所述托板上形成有第一止動(dòng)件和第二止動(dòng)件，該第一止動(dòng)件限制向靠
近所述第二支撐塊的方向運(yùn)動(dòng)的所述按壓板的運(yùn)動(dòng)距離，該第二止動(dòng)件限制
向遠(yuǎn)離所述第二支撐塊的方向運(yùn)動(dòng)的所述按壓板的運(yùn)動(dòng)距離。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板檢測(cè)及修復(fù)裝置，其特征在于，
在所述按壓板上形成有卡止凸起，該卡止凸起沿所述按壓板的運(yùn)動(dòng)方向
被卡在所述第一止動(dòng)件或所述第二止動(dòng)件上。