一種覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，包括過(guò)濾器、流量計(jì)、風(fēng)機(jī)、水洗塔、多級(jí)循環(huán)水泵、多個(gè)循環(huán)液儲(chǔ)池、以及控制系統(tǒng)，過(guò)濾器連接流量計(jì)，流量計(jì)連接風(fēng)機(jī)，風(fēng)機(jī)連接水洗塔，所述水洗塔包括：進(jìn)風(fēng)口、孔板均風(fēng)板、多個(gè)噴淋器、塔板、廢氣出口，所述多個(gè)循環(huán)液儲(chǔ)池與所述塔板連接，所述多個(gè)循環(huán)液儲(chǔ)池還通過(guò)多級(jí)循環(huán)水泵連接多個(gè)噴淋器，所述塔板繞其外邊緣設(shè)有一圈凹槽，塔板的中間設(shè)有一圓形開口，該圓形開口的直徑小于凹槽內(nèi)邊沿的直徑，所述塔板的上端面支撐有多個(gè)排導(dǎo)流斜板，導(dǎo)流斜板的上端面設(shè)有多條固定導(dǎo)流斜板的鋼板。本發(fā)明使氣流分布更加均勻，降低了塔板的阻力，采用多級(jí)單獨(dú)循環(huán)吸收，DMF的吸收率可高達(dá)98.5%。

1.一種覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：包括過(guò)濾器、流量計(jì)、風(fēng)
機(jī)、水洗塔、多級(jí)循環(huán)水泵、多個(gè)循環(huán)液儲(chǔ)池、以及控制系統(tǒng)，過(guò)濾器連接流量計(jì)，流量計(jì)連
接風(fēng)機(jī)，風(fēng)機(jī)連接水洗塔，所述水洗塔包括：進(jìn)風(fēng)口、孔板均風(fēng)板、多個(gè)噴淋器、塔板、廢氣出
口，所述多個(gè)循環(huán)液儲(chǔ)池與所述塔板連接，所述多個(gè)循環(huán)液儲(chǔ)池還通過(guò)多級(jí)循環(huán)水泵連接
多個(gè)噴淋器，所述塔板繞其外邊緣設(shè)有一圈凹槽，塔板的中間設(shè)有一圓形開口，該圓形開口
的直徑小于凹槽內(nèi)邊沿的直徑，所述塔板的上端面支撐有多個(gè)導(dǎo)流斜板，導(dǎo)流斜板的上端
面設(shè)有多條固定導(dǎo)流斜板的鋼板，所述導(dǎo)流斜板沿所述塔板的中心線對(duì)稱分布且間距相
等，該間距上方設(shè)有一可蓋住該間距的彎板，所述導(dǎo)流斜板與彎板的平面投影在塔板，并將
所述塔板中心的圓形開口覆蓋，所述塔板與水洗塔塔壁之間具有1～5cm的縫隙，所述塔板
與塔壁的所述縫隙上方設(shè)有一圈焊接在塔壁上的傾斜板，該傾斜板的斜面向下，傾斜板投
影面可蓋住所述縫隙。
2.如權(quán)利要求1所述的覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：所述孔板
均風(fēng)板的板面開設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)開孔直徑在10～16mm的小孔，所述小孔均勻分布且呈菱形排
列，相鄰兩個(gè)小孔的邊線距離為8～14mm。
3.如權(quán)利要求1所述的覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：該傾斜板
的斜面向下，斜面與塔壁的夾角為75～85°。
4.如權(quán)利要求1所述的覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：所述水洗
塔從下往上依次包括：進(jìn)風(fēng)口、孔板均風(fēng)板、第三噴淋室、第三噴淋器、第二除霧器、第二塔
板、第二填料層、第二噴淋室、第二噴淋器、第一塔板、第一填料層、第一噴淋室、第一噴淋
器、第一除霧器、廢氣出口。
5.如權(quán)利要求4所述的覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：所述導(dǎo)流
斜板包括斜板、排液溝及折彎段，斜板傾斜設(shè)置且與第二塔板的傾斜角度為60°，所述排液
溝與斜板下端連接，所述折彎段與斜板上端連接呈90°彎折，每段斜板的長(zhǎng)度恰好將排液溝
的液體排入所述凹槽。
6.如權(quán)利要求4所述的覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：所述第三
噴淋器設(shè)于水洗塔下部，第三噴淋器包括上、下兩層，上、下兩層的噴水孔相互錯(cuò)開設(shè)置。
7.如權(quán)利要求4所述的覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：所述第一
填料層選用比表面積為250m²/m³的金屬絲網(wǎng)填料，第二填料層選用比表面積為500m²/m³的
金屬絲網(wǎng)填料。
8.如權(quán)利要求4所述的覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：所述第一
噴淋器、第二噴淋器及第三噴淋器上分別設(shè)有第一控制閥、第二控制閥及第三控制閥，所述
第一控制閥、第二控制閥及第三控制閥分別與所述控制系統(tǒng)連接。
9.一種覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收方法，采用如權(quán)利要求1-8任一所述的覆銅板
制造用的DMF廢氣水洗回收裝置。
10.如權(quán)利要求9所述的回收方法，其特征在于：當(dāng)所述循環(huán)液儲(chǔ)池的DMF濃度達(dá)到相應(yīng)
控制范圍的高限值時(shí)，由相應(yīng)的循環(huán)水泵把相應(yīng)循環(huán)液儲(chǔ)池的儲(chǔ)液從濃度低的儲(chǔ)池泵入高
一級(jí)濃度的儲(chǔ)池，同時(shí)，所述循環(huán)液儲(chǔ)池還由控制系統(tǒng)通過(guò)液位高度調(diào)整進(jìn)入所述噴淋器
的控制閥開度，當(dāng)所述循環(huán)液儲(chǔ)池的液位超過(guò)控制高度時(shí)開大控制閥開度，當(dāng)所述循環(huán)液
儲(chǔ)池液位太高時(shí)關(guān)小控制閥開度，液位太低時(shí)由上一級(jí)儲(chǔ)池泵液補(bǔ)充。