一種水冷壓電變形鏡，包括鏡體，鏡體支撐件和壓電片，鏡體支撐件中設有容納冷卻液的冷卻腔，冷卻腔具有冷卻液入口和冷卻液出口，鏡體設置于鏡體支撐件頂部以封閉冷卻腔；壓電片呈環形，壓電片作為邊框固定于鏡體；壓電片與鏡體之間設置第一電極，壓電片的上表面設置第二電極；鏡體未被壓電片覆蓋的部分作為鏡體的工作區域；鏡體和鏡體支撐件固定。本發明具有壓電片直接與鏡體接觸，且不與冷卻液接觸的優點。

1.一種水冷壓電變形鏡，包括鏡體，鏡體支撐件和壓電片，鏡體支撐件中設有容納冷卻
液的冷卻腔，冷卻腔具有冷卻液入口和冷卻液出口，鏡體設置于鏡體支撐件頂部以封閉冷
卻腔；其特征在于：壓電片呈環形，壓電片作為邊框固定于鏡體；壓電片與鏡體之間設置第
一電極，壓電片的上表面設置第二電極；鏡體未被壓電片覆蓋的部分作為鏡體的工作區域；
鏡體和鏡體支撐件固定。
2.如權利要求1所述的水冷壓電變形鏡，其特征在于：第一電極為與壓電片形狀、尺寸
相同的整體電極，第二電極為由電極塊組成的分體電極，電極塊包括最外層的環形塊和內
層的扇形塊，多個扇形塊等距離分布圍成一個組合環，環形塊與組合環同軸設置，組合環為
一個或者多個。
3.如權利要求1或2所述的水冷壓電變形鏡，其特征在于：鏡體由壓緊機構向鏡體支撐
件壓緊，壓緊機構包括與鏡體支撐件螺接的螺釘和將壓電片和鏡體向鏡體支撐件壓緊的壓
板，螺釘沿鏡體的外周均勻分布，壓板與第二電極之間有距離，壓板在外、第二電極在內；鏡
體與鏡體支撐件之間設置第一墊圈，壓電片與壓板之間設置第二墊圈。
4.如權利要求3所述的水冷壓電變形鏡，其特征在于：鏡體的工作區域鍍有高反射率的
介質膜或者金屬膜。
5.如權利要求4所述的水冷壓電變形鏡，其特征在于：鏡體呈圓形，壓電片和第一電極
呈圓環形，第二電極的組合環由扇形塊以圓心等間距陣列分布；壓板為法蘭。
6.如權利要求5所述的水冷壓電變形鏡，其特征在于：壓電片位于鏡體外側，鏡體內側
與冷卻腔相連。