本發(fā)明提供尤其適用于諸如硅晶圓的薄工件在輸送帶或指狀物/鏈上轉(zhuǎn)移穿過用于將該等晶圓轉(zhuǎn)化成太陽能電池的處理設備的多線并排獨立驅(qū)動運輸系統(tǒng)，該處理設備包括UV預處理器、摻雜器、干燥器、擴散爐及金屬化爐。本發(fā)明多線運輸系統(tǒng)可使用具有一浮橋式晶圓支撐系統(tǒng)的金屬絲網(wǎng)帶，該等金屬絲網(wǎng)帶包含縱向隔開的承載器金屬絲元件，該等承載器金屬絲元件在晶圓的側(cè)邊緣處藉助于相對的內(nèi)傾下斜區(qū)段或側(cè)翼而僅以點接觸支撐該等晶圓。或者，包含具有向內(nèi)突出的指狀物之間隔開的鏈的指狀物驅(qū)動器可用于藉由側(cè)邊緣接觸來運輸該等晶圓。具有相關聯(lián)的張力器總成的摩擦或鏈輪驅(qū)動器用以移動運輸帶或指狀物鏈穿過爐區(qū)。每一線可經(jīng)獨立控制以沿晶圓處理路徑提供獨特熱分布。

1.一種具有多個工件運輸線的改良式IR爐，其在操作性組合中包含：
a.一爐架構，其支撐至少一縱向加熱區(qū)總成，每一所述縱向加熱區(qū)總成具
有分別在一水平工件運輸路徑上方及下方界定的一上部部分及一下部部分，且
所述縱向加熱區(qū)總成具有起重器，所述起重器經(jīng)安置以提供分別在所述水平工
件運輸路徑上方及下方的一上加熱區(qū)部分及一下加熱區(qū)部分的相對垂直運動
以提供進入加熱區(qū)的進口；
b.多個連續(xù)的縱向輸送機運輸系統(tǒng)，其以并排關系安置于所述爐架構中，
每一所述縱向輸送機運輸系統(tǒng)經(jīng)組態(tài)以在一第一方向上沿所述水平工件運輸
路徑運輸工件，所述第一方向是自所述改良式IR爐的一入口端經(jīng)由用于所述
工件的至少一表面的IR熱處理的所述改良式IR爐的所述加熱區(qū)至所述改良式
IR爐的一退出端，且接著在自所述退出端回至所述入口端的一輸送機返回路
徑上運輸；
c.并排所述縱向輸送機運輸系統(tǒng)中的每一者具有在所述縱向輸送機運輸
系統(tǒng)的每一者的所述輸送機返回路徑中安置的一可個別控制的輸送機驅(qū)動系
統(tǒng)及輸送機張緊系統(tǒng)；及
d.一控制器，其用于藉由驅(qū)動器在工件運輸線的一第一線中獨立于抑或同
步于所述工件運輸線的一第二線來控制工件穿過所述加熱區(qū)的移動速率，以沿
所述工件運輸線的每一者的整個處理路徑穿過所述加熱區(qū)而提供一獨特熱分
布，每一者的熱分布經(jīng)組態(tài)以用于正在所述改良式IR爐的所述工件運輸線中
處理的一特定工件。
2.如權利要求1所述的改良式爐，其中所述輸送機是選自金屬絲網(wǎng)帶及指
狀物鏈中的至少一者。
3.如權利要求2所述的改良式爐，其中所述輸送機為具有多個縱向間隔開
的承載器金屬絲元件的一金屬絲網(wǎng)帶，所述多個縱向間隔開的承載器金屬絲元
件經(jīng)組態(tài)以在處理期間僅沿所述工件的底部與所述工件的側(cè)邊緣的相交線以
實質(zhì)上點接觸支撐薄工件，所述承載器金屬絲元件經(jīng)橫向地定向于藉由所述金
屬絲網(wǎng)帶所界定的所述水平工件運輸路徑。
4.如權利要求3所述的改良式爐，其中所述金屬絲網(wǎng)帶藉由安置于所述下
加熱區(qū)部分中的滑動器元件中間地支撐于側(cè)邊緣之間。
5.如權利要求2所述的改良式爐，其中所述輸送機各自包含一對指狀物鏈，
所述一對指狀物鏈于所述處理路徑的每一縱向側(cè)上隔開且由所述輸送機驅(qū)動
系統(tǒng)同步驅(qū)動，所述一對指狀物鏈包括朝彼此橫向指向的指狀物，所述指狀物
終止于所述處理路徑的一垂直中央線之前以在所述指狀物之間提供一間隙，且
所述指狀物經(jīng)組態(tài)以僅沿所述工件的底部與所述工件的側(cè)邊緣的相交線以實
質(zhì)上點接觸支撐薄工件，支撐藉由所述指狀物連續(xù)地在所述工件的處理運輸期
間被維持。
6.如權利要求3所述的改良式爐，其中所述承載器金屬絲元件包含一對間
隔開的側(cè)翼，所述側(cè)翼包括朝所述金屬絲網(wǎng)帶的一中央線向內(nèi)且向下斜的一工
件支撐部分，所述側(cè)翼在一外側(cè)抬升部分的底部處及在所述金屬絲網(wǎng)帶的所述
外側(cè)的中部處緊固至所述金屬絲網(wǎng)帶。
7.如權利要求6所述的改良式爐，其中所述側(cè)翼的所述工件支撐部分由在
所述中部處緊固至所述金屬絲網(wǎng)帶的一連續(xù)金屬絲部分接合。
8.如權利要求3所述的改良式爐，其中所述輸送機驅(qū)動系統(tǒng)包含一第一個
別且獨立控制的馬達驅(qū)動驅(qū)動轉(zhuǎn)筒及一第二非驅(qū)動纏繞轉(zhuǎn)筒，所述第二非驅(qū)動
纏繞轉(zhuǎn)筒相對于所述馬達驅(qū)動驅(qū)動轉(zhuǎn)筒以一壓輪-輥輪關系安置于直接上游位
置以確保由所述馬達驅(qū)動驅(qū)動轉(zhuǎn)筒對所述金屬絲網(wǎng)帶的分區(qū)夾持，且所述輸送
機張緊系統(tǒng)安置于所述輸送機驅(qū)動系統(tǒng)的直接下游，所述輸送機張緊系統(tǒng)包括
在縱向上隔開的升高空轉(zhuǎn)輥輪之間形成的一重力束圈且具有在所述重力束圈
中安置的一垂直自由浮動輥輪以提供帶張力。
9.如權利要求8所述的改良式爐，其中所述金屬絲網(wǎng)帶在所述輸送機驅(qū)動
系統(tǒng)的轉(zhuǎn)筒處由空氣冷卻。
10.如權利要求8所述的改良式爐，其中所述承載器金屬絲元件包含一對
間隔開的側(cè)翼，所述側(cè)翼包括朝所述金屬絲網(wǎng)帶的一中央線向內(nèi)且向下斜的一
工件支撐部分，且所述第二非驅(qū)動纏繞轉(zhuǎn)筒包括在所述第二非驅(qū)動纏繞轉(zhuǎn)筒表
面上的一墊，所述墊的寬度不寬于在承載器金屬絲斜產(chǎn)品支撐部分的相對內(nèi)部
末端之間的間隔，使得所述工件支撐部分不會因所述第二非驅(qū)動纏繞轉(zhuǎn)筒的壓
力而變形。
11.如權利要求1所述的改良式爐，其中藉由高強度IR燈陣列在所述加熱
區(qū)提供輻射加熱，所述爐為一頂部升起爐，且所述輸送機驅(qū)動系統(tǒng)及所述輸送
機張緊系統(tǒng)在所述輸送機的所述輸送機返回路徑中安置于所述加熱區(qū)中的至
少一者的一固定下部部分下方。
12.如權利要求11所述的改良式爐，其包含由在一共同爐架構中的一輸送
機分隔壁分離的以并排線配置的雙輸送機運輸系統(tǒng)，所述爐加熱區(qū)部分橫向地
橫跨兩個輸送機運輸系統(tǒng)且在所述爐加熱區(qū)部分中的至少一者中具有一縱向
分離器以隔離對于可獨立控制的每一輸送機的個別加熱區(qū)。
13.如權利要求5所述的改良式爐，其中所述輸送機驅(qū)動系統(tǒng)包含一馬達
驅(qū)動鏈輪總成，且所述輸送機張緊系統(tǒng)在所述輸送機返回路徑中安置于鄰近于
所述爐的所述入口端處。
14.如權利要求5所述的改良式爐，其包括一入口轉(zhuǎn)移輸送機及一出口轉(zhuǎn)
移輸送機，所述入口轉(zhuǎn)移輸送機及所述出口轉(zhuǎn)移輸送機用于將工件引入至所述
爐輸送機系統(tǒng)的所述入口端上且自所述爐輸送機系統(tǒng)的所述出口端移除經(jīng)熱
處理的工件。
15.一種處理橫穿在一熱處理爐中的至少一運輸線的工件的方法，所述熱
處理爐具有一架構，所述架構支撐多個順序排列的縱向加熱區(qū)總成，所述縱向
加熱區(qū)總成具有分別在一水平產(chǎn)品運輸路徑上方及下方界定的一上加熱區(qū)部
分及一下加熱區(qū)部分，且所述縱向加熱區(qū)總成具有起重器，所述起重器經(jīng)安置
以提供分別在所述水平產(chǎn)品運輸路徑上方及下方的所述上加熱區(qū)部分及所述
下加熱區(qū)部分的相對垂直運動以提供進入加熱區(qū)的進口，所述方法包含以下步
驟：
a.連續(xù)地運輸在至少一對并排處理路徑中排列的多個薄工件，每一處理路
徑在一第一方向上沿所述水平產(chǎn)品運輸路徑界定在所述架構內(nèi)的一獨立產(chǎn)品
線，所述第一方向是自所述熱處理爐的一入口端經(jīng)由用于所述工件的至少一表
面的熱處理的所述熱處理爐的所述加熱區(qū)至所述熱處理爐的一退出端，且接著
在自所述退出端回至所述入口端的一輸送機返回路徑上運輸；
b.將所述獨立產(chǎn)品線處理路徑彼此隔離；
c.相對于其他路徑個別地控制在每一產(chǎn)品線路徑中的工件的運輸速率；
d.在所述工件經(jīng)運輸穿過所述熱處理區(qū)的同時將所述工件的至少一面曝
露至高強度IR輻射以熱處理所述工件達一預選持續(xù)時間；
e.獨立于抑或同步于所述獨立產(chǎn)品線中的另一者來控制在每一產(chǎn)品線的
每一區(qū)中的溫度，以沿穿過所述加熱區(qū)的每一產(chǎn)品線處理路徑提供一獨特熱分
布，所述獨特熱分布經(jīng)組態(tài)以用于正在所述熱處理爐中處理的一特定產(chǎn)品。
16.如權利要求15所述的工件處理方法，其中薄工件在處理期間的運輸包
括沿一工件底部表面與相對側(cè)邊緣的相交線而連續(xù)地在處理期間僅以點接觸
支撐所述工件。
17.如權利要求16所述的工件處理方法，其中運輸步驟包括輸送在金屬絲
網(wǎng)帶及指狀物鏈中的至少一者上支撐的所述薄工件。
18.如權利要求17所述的工件處理方法，其中在金屬絲網(wǎng)帶上運輸所述工
件，所述金屬絲網(wǎng)帶包括承載器金屬絲，所述承載器金屬絲經(jīng)組態(tài)以將所述工
件支撐于所述金屬絲網(wǎng)帶上方同時沿一工件底部表面與相對側(cè)邊緣的相交線
而僅以所述點接觸接觸所述工件。
19.如權利要求16所述的工件處理方法，其中所述熱處理爐包括多個縱向
加熱區(qū)總成，所述多個縱向加熱區(qū)總成對于每一線包括至少一預熱區(qū)、一峰值
燒制區(qū)及一冷卻區(qū)。
20.如權利要求19所述的工件處理方法，其包括控制工件穿過所述峰值燒
制區(qū)的所述運輸速率以提供大約不超過約1秒的在所述峰值燒制區(qū)中的一傳
過時間。