一種等離子體蝕刻機(jī)臺(tái)的頂出銷(xiāo)，包含有一絕緣外殼與一導(dǎo)電中心銷(xiāo)安裝于絕緣外殼之中。導(dǎo)電中心銷(xiāo)在頂起基板時(shí)，可直接接觸基板，以移除基板上的殘留靜電。絕緣外殼則形成抗腐蝕且高阻抗的保護(hù)層。導(dǎo)電中心銷(xiāo)可進(jìn)一步設(shè)置一安全槽，以避免造成下電極的損傷，也可以設(shè)置一扳手固定槽，以方便固定頂出銷(xiāo)。一種等離子體蝕刻機(jī)臺(tái)包含一上電極、一下電極、一安裝于該下電極的下方的升降裝置以及多個(gè)頂出銷(xiāo)，頂出銷(xiāo)設(shè)置于該升降裝置。本發(fā)明可有效地導(dǎo)引基板與下電極上殘留的靜電至接地線路，避免靜電造成玻璃基板的損傷。

1.一種頂出銷(xiāo)，用于一等離子體蝕刻機(jī)臺(tái)，以頂起一基板，其特征在于，
該頂出銷(xiāo)包含：
一絕緣外殼；以及
一導(dǎo)電中心銷(xiāo)，安裝于該絕緣外殼之中，并在頂起該基板時(shí)，接觸該基板，
以移除該基板上的殘留靜電，該導(dǎo)電中心銷(xiāo)具有一底部接地端，以電性連接該
等離子體蝕刻機(jī)臺(tái)的一接地線路，該導(dǎo)電中心銷(xiāo)上設(shè)置有一安全槽，該安全槽
相較于該導(dǎo)電中心銷(xiāo)具有較小的截面積，且該頂出銷(xiāo)向上升起時(shí)，該安全槽能
夠高出于該等離子體蝕刻機(jī)臺(tái)的下電極的表面。
2.如權(quán)利要求1所述的頂出銷(xiāo)，其特征在于，所述的導(dǎo)電中心銷(xiāo)的材料選
自于金、銀、銅、鐵、鋁合金與不銹鋼所構(gòu)成的群組，該絕緣外殼的材料選自
于聚苯并咪唑、聚醚醚酮、陶瓷、石英與聚酰亞胺所構(gòu)成的群組。
3.如權(quán)利要求1所述的頂出銷(xiāo)，其特征在于，該安全槽與該導(dǎo)電中心銷(xiāo)
的一頂端距離92毫米。
4.如權(quán)利要求1所述的頂出銷(xiāo)，其特征在于，所述的絕緣外殼具有一扳
手固定槽，設(shè)置于該絕緣外殼的上方部位，用以固定該頂出銷(xiāo)，該扳手固定槽
與該絕緣外殼的一頂端距離12毫米。
5.如權(quán)利要求1所述的頂出銷(xiāo)，其特征在于，所述的絕緣外殼的一頂端，
具有一倒角。
6.如權(quán)利要求1所述的頂出銷(xiāo)，其特征在于，所述的絕緣外殼的一頂端，
具有一斜面倒角。
7.一種等離子體蝕刻機(jī)臺(tái)，其特征在于，包含：
一上電極；
一下電極，具有多個(gè)第一開(kāi)口與多個(gè)第二開(kāi)口；
一升降裝置，安裝于該下電極的下方；以及
多個(gè)如權(quán)利要求1所述的頂出銷(xiāo)，其特征在于，所述的頂出銷(xiāo)安裝于該升
降裝置上，且穿過(guò)所述第二開(kāi)口，當(dāng)該基板進(jìn)行蝕刻時(shí)，該升降裝置驅(qū)動(dòng)所述
頂出銷(xiāo)降下，使該基板平置于該下電極之上，并覆蓋所述第二開(kāi)口，當(dāng)所述頂
出銷(xiāo)頂起該基板時(shí)，該導(dǎo)電中心銷(xiāo)接觸該基板，以移除該基板上的殘留靜電。
8.如權(quán)利要求7所述的等離子體蝕刻機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述的第一開(kāi)
口為冷卻氣體的入口，以降低該基板的溫度。
9.如權(quán)利要求8所述的等離子體蝕刻機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述的下電極
在等離子體蝕刻時(shí)，還通入一預(yù)定電壓，以產(chǎn)生靜電吸附該基板。
10.一種等離子體蝕刻機(jī)臺(tái)，其特征在于，包含：
一上電極；
一下電極，具有多個(gè)開(kāi)口；
一升降裝置，安裝于該下電極的下方；以及
多個(gè)如權(quán)利要求1所述的頂出銷(xiāo)，其特征在于，所述的頂出銷(xiāo)設(shè)置于該升
降裝置上，且分別對(duì)應(yīng)穿過(guò)所述開(kāi)口。