本發明公開了一種去除石化工業廢氣中苯系物的處理方法，廢氣依次通過余熱交換器、氣體過熱保護裝置、熱式氣體質量流量計、混合氣體流量調節閥、布袋式除塵器、鎢線圈表面活化?臭氧氧化處理裝置、煙氣水洗凈化塔、引風機進行處理。本發明創造性的利用了臭氧在某些金屬單質表面所特有的表面活化特性，當鎢金屬線圈處于通電熾熱的狀態下，臭氧在其表面可迅速釋放出活化氧原子，可在鎢金屬表面產生一種強氧化環境，當諸如苯系物等含有共軛效應C?C鍵的分子處于此種強氧化環境下時，其共軛C?C鍵會被活化氧原子打破，苯系物分子最終被氧化分解為HO和CO等無機分子，從而達到去除廢氣中苯系物的目的。

1.一種去除石化工業廢氣中苯系物的處理方法，其特征在于，含有苯系物的石化工業廢氣通過氣體管路進入余熱交換器，在此經過熱交換作用使過熱的廢氣得到降溫和穩定，并且得到的剩余熱量可供利用，余熱交換器的出口通過氣體管路連接氣體過熱保護裝置，氣體過熱保護裝置的出口通過氣體管路連接熱式氣體質量流量計，對廢氣流量、流速進行實時監控記錄，熱式氣體質量流量計的出口通過氣體管路連接混合氣體流量調節閥，通過導入空氣的方法調整廢氣中苯系物的實際濃度，并對廢氣進行精確的稀釋降溫，混合氣體流量調節閥的出口通過氣體管路連接布袋式除塵器，在此除去廢氣中的顆粒污染物，布袋式除塵器的出口通過氣體管路連接鎢線圈表面活化-臭氧氧化處理裝置，含有苯系物的石化工業廢氣通過鎢線圈表面活化-臭氧氧化處理裝置底部的進氣閥門進入處理裝置內部，經過超細濾網的精細過濾徹底去除顆粒雜質后，進入氣體預混四通閥，同時由臭氧發生器生成的臭氧氣體以及由氮氣儲罐供給的氮氣也進入氣體預混四通閥，待處理廢氣、臭氧和氮氣在氣體預混四通閥中按照事先設定好的體積比例充分混合，混合均勻后的氣體通過混合氣體噴頭均勻噴射至金屬鎢線圈處，金屬鎢線圈在穩壓電源的供電下進入通電熾熱狀態，此時混合氣體中的臭氧在金屬鎢線圈表面迅速釋放出活化氧原子，并在局部產生一種強氧化環境，當廢氣中含有共軛效應C-C鍵的苯系物分子處于此種強氧化環境下時，其共軛C-C鍵會被活化氧原子打破，苯系物分子最終被氧化分解為H₂O和CO₂，從而達到去除廢氣中苯系物的目的，經過凈化處理后去除廢氣中的苯系物的廢氣由裝置頂部的排氣閥門排出，通過氣體管路連接煙氣水洗凈化塔，在此對處理后的廢氣進行進一步的水洗凈化和冷卻，煙氣水洗凈化塔的出口通過氣體管路連接引風機，引風機的出口通過氣體管路連通大氣環境；鎢線圈表面活化-臭氧氧化處理裝置的氣體預混四通閥采用三進一出結構，最大承壓為1.05MPa，工作溫度范圍為105~850℃，鎢線圈表面活化-臭氧氧化處理裝置的工作壓力范圍為0.055~0.75MPa，工作溫度范圍為250~700℃，有效容積為230m³，鎢線圈表面活化-臭氧氧化處理裝置的金屬鎢線圈在工作時的表面溫度為2600℃，工作電壓為380V，其鎢含量大于99.95%；其中，鎢線圈表面活化-臭氧氧化處理裝置由氣體預混區和氧化反應區兩部分組成，裝置底部設有進氣閥門，進氣閥門后端由氣體管路連接至超細濾網，超細濾網后端由氣體管路連接至氣體預混四通閥，同時，臭氧發生器和氮氣儲罐也分別由氣體管路連接至氣體預混四通閥，氣體預混四通閥出口端由氣體管路連接至混合氣體噴頭，混合氣體噴頭上方安裝有1套金屬鎢線圈，金屬鎢線圈由位于裝置外部的1部穩壓電源予以供電，裝置頂部設有排氣閥門。