一種磷化氫氣體的制取與使用和氮氣稀釋系統，所述磷化氫氣體的制取與使用和氮氣稀釋系統包括電源、氮氣源、氮氣純度檢測儀、壓力傳感器、磷化氫發生器、磷化氫濃度檢測儀、連接管路及控制閥、報警器和保護電路；所述氮氣源出氣口與磷化氫發生器進氣口連接，可向磷化氫發生器內注入純氮氣，用于稀釋磷化氫發生器產生的磷化氫氣體的濃度。

1.一種磷化氫氣體的制取與使用和氮氣稀釋系統，其特征在于：所述磷化氫氣體的制取與使用和氮氣稀釋系統包括電源、磷化氫發生器、氮氣源包括制氮機和高壓氮氣瓶或罐、連接管路、控制閥、壓力傳感器及報警器、氮氣純度檢測儀及報警器、磷化氫氣體濃度檢測儀及報警器和保護電路；所述電源與氮氣源、磷化氫發生器連接，用于提供電能；所述氮氣源出氣口與磷化氫發生器進氣口連接，可向磷化氫發生器內注入純氮氣，用于稀釋磷化氫發生器產生的磷化氫氣體的濃度；所述壓力傳感器及報警器與制氮機的氮氣儲氣罐連接，用于檢測氮氣儲氣罐內的壓力值；所述氮氣純度檢測儀及報警器與氮氣源的出口管路連接，用于檢測氮氣的濃度值；所述磷化氫濃度檢測儀及報警器與磷化氫發生器的出口管路連接，用于檢測磷化氫氣體的濃度值；所述連接管路及控制閥與氮氣源、磷化氫發生器、氮氣純度檢測儀及報警器、磷化氫濃度檢測儀及報警器和環流熏蒸回路連接，構造氮氣、磷化氫氣體和環流熏蒸回路之間的氣體通道；所述磷化氫氣體的制取與使用和氮氣稀釋系統運行過程中當制氮機的儲氣罐壓力小于0.05Mpa時壓力傳感器的報警器將會報警，同時相關的保護電路使磷化氫發生器停止運行，待制氮機的儲氣罐壓力大于0.05Mpa時，磷化氫發生器可以重新啟動；當氮氣源的氣體純度值低于98.5％時，氮氣純度檢測儀的報警器將會報警，同時相關的保護電路使磷化氫發生器停止運行，待氮氣的純度值高于98.5％時，磷化氫發生器可以重新啟動；當磷化氫發生器產生的磷化氫氣體經純氮氣稀釋后濃度值高于1.79％或26g/m³標準值時，磷化氫濃度檢測儀的報警器將會報警，同時相關的保護電路使磷化氫發生器停止運行，待磷化氫發生器產生的磷化氫氣體經純氮氣稀釋后濃度值低于1.79％或26g/m³標準值時，磷化氫發生器可以重新啟動；經純氮氣稀釋后濃度值低于1.79％或26g/m³標準值的磷化氫氣體經管路輸送至環流熏蒸回路。2.根據權利要求1所述的一種磷化氫氣體的制取與使用和氮氣稀釋系統，其特征在于，所述氮氣源可以是小型分子篩空分法制氮機。