本發(fā)明屬于數(shù)控精密測量設(shè)備，涉及一種對(duì)光柵讀數(shù)頭調(diào)節(jié)裝置改進(jìn)的三坐標(biāo)測量機(jī)光柵讀數(shù)頭自適應(yīng)機(jī)構(gòu)。自適應(yīng)機(jī)構(gòu)由彈力可調(diào)整氣墊組件、氣墊定位桿組件和光柵讀數(shù)頭支架組件組成。彈力可調(diào)整氣墊組件通過碟形彈簧的彈力作用，保證氣墊與導(dǎo)軌間的氣膜間隙始終為一定值；氣墊定位桿組件的設(shè)計(jì)，嚴(yán)格保證了氣墊、球頭螺桿之間的相對(duì)旋轉(zhuǎn)角度與光柵讀數(shù)頭所允許的旋轉(zhuǎn)角度范圍相互匹配，使光柵讀數(shù)頭在運(yùn)動(dòng)過程中安全、平穩(wěn)；光柵讀數(shù)頭支架組件與彈力可調(diào)整氣墊組件采用剛性連接，基本達(dá)到運(yùn)動(dòng)同步，保證了測量精度，氣墊定位桿組件采用分體式連接，可拆卸性能良好。

1.一種包括光柵讀數(shù)頭支架組件的三坐標(biāo)測量機(jī)光柵讀數(shù)頭自適應(yīng)機(jī)構(gòu)，其特征是，三坐標(biāo)測量機(jī)光柵讀數(shù)頭自適應(yīng)機(jī)構(gòu)(30)由彈力可調(diào)整氣墊組件(1)、氣墊定位桿組件(2)和光柵讀數(shù)頭支架組件(3)組成，彈力可調(diào)整氣墊組件(1)中，氣墊螺母(6)與氣墊螺紋套(7)螺紋連接，氣墊螺紋套(7)內(nèi)設(shè)置碟形彈簧(8)，碟形彈簧(8)的下端為球頭螺桿(9)，球頭螺桿(9)的下端用彈性定位套(10)與平墊(11)連接，彈性定位套(10)用螺釘(12)固定在氣墊(13)上，氣墊(13)固定在光柵讀數(shù)頭支架組件(3)的轉(zhuǎn)接板(19)上；氣墊定位桿組件(2)中，復(fù)位彈簧(18)套在氣墊定位桿(16)上，氣墊定位桿(16)穿過定位安裝座(17)內(nèi)部的銳邊，氣墊定位桿(16)螺紋連接在氣墊(13)上；光柵讀數(shù)頭支架組件(3)中，轉(zhuǎn)接板(19)、連接板(20)及調(diào)整板(22)均為角形板，轉(zhuǎn)接板(19)的一個(gè)外側(cè)面與彈力可調(diào)整氣墊組件(1)的氣墊(13)剛性連接，轉(zhuǎn)接板(19)的另一個(gè)外側(cè)面與連接板(20)的一個(gè)外側(cè)面用螺釘(21)螺紋連接，連接板(20)的另一個(gè)外側(cè)面與調(diào)整板(22)的一個(gè)內(nèi)側(cè)安裝面中設(shè)置同軸銷孔(27)，圓柱銷(23)穿在其中，連接板(20)與調(diào)整板(22)用螺釘(24)連接，讀數(shù)頭安裝板(25)固定在調(diào)整板(22)的另一個(gè)內(nèi)側(cè)安裝面上；三坐標(biāo)測量機(jī)光柵讀數(shù)頭自適應(yīng)機(jī)構(gòu)(30)中，氣墊螺紋套(7)螺紋連接在三坐標(biāo)測量機(jī)主滑架(29)上，氣墊定位桿組件(2)與三坐標(biāo)測量機(jī)主滑架(29)用螺釘(32)剛性連接，氣墊(13)在非工作狀態(tài)下的導(dǎo)軌面(28)與三坐標(biāo)測量機(jī)上的主導(dǎo)軌面(31)貼合。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三坐標(biāo)測量機(jī)光柵讀數(shù)頭自適應(yīng)機(jī)構(gòu)，其特征是，球頭螺桿(9)與氣墊(13)之間的相對(duì)旋轉(zhuǎn)角度與光柵讀數(shù)頭(4)的旋轉(zhuǎn)角度范圍相互匹配。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三坐標(biāo)測量機(jī)光柵讀數(shù)頭自適應(yīng)機(jī)構(gòu)，其特征是，光柵讀數(shù)頭支架組件(3)的轉(zhuǎn)接板(19)的調(diào)整方向垂直于光柵尺(5)的直線運(yùn)動(dòng)方向并做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，連接板(20)及調(diào)整板(22)間通過圓柱銷(23)繞垂直于光柵尺(5)的平面的軸線旋轉(zhuǎn)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三坐標(biāo)測量機(jī)光柵讀數(shù)頭自適應(yīng)機(jī)構(gòu)，其特征是，球頭螺桿(9)與氣墊(13)的接觸面為球面與平面的接觸。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三坐標(biāo)測量機(jī)光柵讀數(shù)頭自適應(yīng)機(jī)構(gòu)，其特征是，氣墊(13)采用超硬鋁材料加工而成，氣墊(13)的導(dǎo)軌面(28)的平面度在2μm以下。