一種樹脂器皿包括密封容器(31),所述密封容器具有入口(36)和出口(40)以及底表面(33)。所述樹脂器皿進一步包括過濾器裝置(60)。所述過濾器裝置(60)包括具有第一端(62)和第二端(64)的殼體(61)。當從所述第一端(62)朝向所述第二端(64)進行觀察時,所述過濾器裝置(60)包括:具有第一端(68)和第二端(70)且具有第一厚度的第一除霧層(66)、具有第一端(74)和第二端(76)且具有第二厚度且包括硅石的第二層(72)、和具有第一端(80)和第二端(82)且具有第三厚度且包括活性碳的第三層(78),所述過濾器裝置的所述層(66、72、78)被布置在所述殼體(61)內。所述過濾器裝置(60)進一步包括:被設置在所述殼體(61)的所述第一端(62)處的用于接收氣態流體的入口(84),和用于在所述氣態流體經過了所述過濾器裝置(60)的所述層(66、72、78)之后排出所述氣態流體的出口(86),所述出口(86)被設置在所述殼體(60)的所述第二端(64)處。所述過濾器裝置(60)的所述出口(86)被連接至所述密封容器(31)的所述出口(40),從而使得所述過濾器裝置(60)的入口(84)位于與密封容器(31)的底表面(33)相隔一定距離的位置處。
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