本發明公開了一種原子力顯微鏡探針裝置，包括探測針和探針座。所述探測針包括微懸臂以及設于所述微懸臂一端的針尖，所述懸臂遠離所述針尖的另一端的側表面形成有狹槽。探針座包括吸附件和定位件。所述吸附件具有吸附面，該吸附面上開設有與抽真空部件連通的導氣槽，用于使所述探測針吸附于所述吸附面。所述定位件包括本體以及設于所述本體下端的狹槽貼片，所述狹槽貼片與所述狹槽的形狀相配合；所述本體滑設于所述吸附件的兩側且于第一位置和第二位置之間移動以使所述狹槽貼片嵌入所述狹槽或從所述狹槽中分離。本發明的原子力顯微鏡探針裝置能夠避免換針過程中探針錯位，跌落或位置不正等問題。

1.一種原子力顯微鏡的探針裝置，包括探測針，所述探測針包括微懸臂以及設于所述微懸臂一端的針尖，其特征在于，所述微懸臂遠離所述針尖的另一端的側表面形成有狹槽；所述探針裝置還包括：探針座，其包括：吸附件，其具有吸附面；所述吸附面上開設有與抽真空部件連通的導氣槽，用于使所述探測針吸附于所述吸附面；以及定位件，其包括本體以及設于所述本體下端的狹槽貼片，所述狹槽貼片與所述狹槽的形狀相配合；所述本體滑設于所述吸附件的兩側且于第一位置和第二位置之間移動以使所述狹槽貼片嵌入所述狹槽或從所述狹槽中分離。2.根據權利要求1所述的原子力顯微鏡探針裝置，其特征在于，所述本體包括導引件和連接件，所述連接件設于所述吸附件的兩側并連接所述導引件和所述狹槽貼片；所述導引件滑動地設置于所述吸附件的頂面。3.根據權利要求1所述的原子力顯微鏡探針裝置，其特征在于，所述吸附件的側面或頂面設有容置槽；所述本體包括導引件和連接件，所述連接件設于所述吸附件的兩側并連接所述導引件和所述狹槽貼片；所述導引件滑動地設置于所述容置槽中。4.根據權利要求1至3任一項所述的原子力顯微鏡探針裝置，其特征在于，所述本體和所述狹槽貼片為一體成型。5.根據權利要求1所述的原子力顯微鏡探針裝置，其特征在于，所述狹槽形成于所述另一端的側表面的中心線上。6.根據權利要求5所述的原子力顯微鏡探針裝置，其特征在于，所述狹槽的形狀為U形。7.一種如權利要求1所述的原子力顯微鏡探針裝置的使用方法，其特征在于，包括以下步驟：利用所述抽真空部件將所述探測針吸附于所述吸附面；以及施加外力于所述定位件，將其本體從所述第一位置移動至所述第二位置，以使所述狹槽貼片嵌入所述狹槽。