1.一種原子力顯微鏡探針裝置，其特征在于，包括：
探測針，包括微懸臂以及設于所述微懸臂一端的針尖，所述微懸臂在其遠離所述針
尖的另一端處、與設有所述針尖的表面相對的表面上形成有臺階孔；
探針座，包括：
吸附件，其具有吸附面，所述吸附面上開設有與抽真空部件連通的導氣槽，用
于使所述探測針吸附于所述吸附面；以及
定位件，從所述吸附面向下伸出插入所述臺階孔中并旋轉以與所述臺階孔的臺
階面抵接。
2.根據權利要求1所述的原子力顯微鏡探針裝置，其特征在于，所述臺階孔為兩
段式臺階孔，包括小孔段和大孔段。
3.根據權利要求2所述的原子力顯微鏡探針裝置，其特征在于，所述定位件包括
相連的轉動桿及轉動條，其中所述轉動桿的截面最大尺寸小于所述小孔段的截面最小尺
寸；所述轉動條的截面形狀與所述小孔段的截面形狀相配合，其截面最大尺寸大于所述
小孔段的截面最小尺寸且小于所述大孔段的截面最小尺寸；其中，所述截面最大尺寸為
截面外周邊各點至旋轉中心的距離最大值，所述截面最小尺寸為截面外周邊各點至旋轉
中心的距離最小值。
4.根據權利要求3所述的原子力顯微鏡探針裝置，其特征在于，所述轉動桿的長
度與所述小孔段的深度相同；所述轉動條的長度小于所述大孔段的深度。
5.根據權利要求4所述的原子力顯微鏡探針裝置，其特征在于，所述臺階孔為長
方形孔，所述轉動條為長方形條。
6.一種原子力顯微鏡探針裝置，其特征在于，包括：
探測針，包括微懸臂以及設于所述微懸臂一端的針尖，所述微懸臂在其遠離所述針
尖的另一端處形成有貫穿所述微懸臂的通孔；
探針座，包括：
吸附件，其包括真空吸附槽以及吸附面，所述真空吸附槽用于使所述探測針吸
附于所述吸附面；以及
定位件，從所述吸附面伸出插入所述通孔中并旋轉以與所述微懸臂設有所述針
尖的表面抵接。
7.根據權利要求6所述的原子力顯微鏡探針裝置，其特征在于，所述定位件包括
相連的轉動桿及轉動條，其中所述轉動桿的截面最大尺寸小于所述通孔的截面最小尺
寸，所述轉動條的截面形狀與所述通孔的截面形狀相配合且其截面最大尺寸大于所述通
孔的截面最小尺寸；其中，所述截面最大尺寸為截面外周邊各點至旋轉中心的距離最大
值，所述截面最小尺寸為截面外周邊各點至旋轉中心的距離最小值。
8.根據權利要求7所述的原子力顯微鏡探針裝置，其特征在于，所述轉動桿的長
度與所述通孔的深度相同。
9.根據權利要求8所述的原子力顯微鏡探針裝置，其特征在于，所述通孔為長方
形孔，所述轉動條為長方形條。
展開
