本發明提供一種流量控制閥以及流量控制閥用的滑閥位置檢測裝置，其具有：磁響應性的目標探針(31)，其安裝在流量控制閥的滑閥(12)的一端；以及傳感器殼體(32)，其安裝在套筒(11)的一端。傳感器殼體(32)具有形成有容許目標探針(31)的進入的內部空間的筒部(33)，在筒部(33)的周圍設置有沿軸向隔著規定間隔而配置的第1及第2線圈(C1、C2)。探針(31)形成使相對于線圈的磁響應性與該探針的直線位置對應而向一個方向逐漸變化的構造。配置為第1線圈(C1)與探針(31)進行感應，第2線圈(C2)不感應。第1線圈(C1)的阻抗與探針(31)的直線位置對應而變化，通過對第1及第2線圈的輸出進行差動合成，從而檢測探針(31)的直線位置。

1.一種流量控制閥，其在具有多個端口的套筒內，可滑動地收
容具有多個閥體的滑閥，通過利用致動器使該滑閥直線地移動，進行
流量控制，
其特征在于，具有：
大致直線狀的目標探針，其安裝在所述滑閥的一端，由磁響應
性的材質構成；
開口，其設置在所述套筒的一端，以容許所述目標探針通過；
傳感器殼體，其安裝在所述套筒的所述一端，用于檢測所述目
標探針的直線位置，其中，所述傳感器殼體具有筒部，該筒部形成有
容許所述目標探針進入的內部空間，所述內部空間與所述套筒的所述
一端的所述開口連結，所述筒部由非磁性體構成；以及
第1線圈以及第2線圈，其在所述傳感器殼體內的所述筒部的
周圍，沿軸向隔著規定間隔而配置，
所述第1線圈配置為與所述目標探針進行感應，所述目標探針
具有體積逐漸減小的錐形形狀的前端部分，使相對于該第1線圈的磁
響應性與該目標探針的直線位置對應而向一個方向逐漸變化，并且所
述第2線圈構成為，至少在所述目標探針的規定的直線位移范圍內不
與該目標探針的直線位移進行感應，通過將所述第1及第2線圈的輸
出進行差動合成，從而檢測所述目標探針的直線位置即所述滑閥的位
置，
并且，所述目標探針由多片硅鋼板的層疊體構成，包含具有面
積逐漸減小的錐形形狀的前端部分的多個所述硅鋼板，且靠近層的中
央的所述硅鋼板的所述錐形形狀部分的長度比靠近外側的所述硅鋼
板的所述錐形形狀部分的長度長。
2.一種流量控制閥，其在具有多個端口的套筒內，可滑動地收
容具有多個閥體的滑閥，通過利用致動器使該滑閥直線地移動，進行
流量控制，
其特征在于，具有：
大致直線狀的目標探針，其安裝在所述滑閥的一端，由磁響應
性的材質構成；
開口，其設置在所述套筒的一端，以容許所述目標探針通過；
傳感器殼體，其安裝在所述套筒的所述一端，用于檢測所述目
標探針的直線位置，其中，所述傳感器殼體具有筒部，該筒部形成有
容許所述目標探針進入的內部空間，所述內部空間與所述套筒的所述
一端的所述開口連結，所述筒部由非磁性體構成；以及
第1線圈以及第2線圈，其在所述傳感器殼體內的所述筒部的
周圍，沿軸向隔著規定間隔而配置，
所述第1線圈配置為與所述目標探針進行感應，所述目標探針
形成使相對于該第1線圈的磁響應性與該目標探針的直線位置對應
而向一個方向逐漸變化的構造，并且所述第2線圈構成為，至少在所
述目標探針的規定的直線位移范圍內不與該目標探針的直線位移進
行感應，通過將所述第1及第2線圈的輸出進行差動合成，從而檢測
所述目標探針的直線位置即所述滑閥的位置，
相對于所述目標探針，所述第1線圈位于近端側，第2線圈位
于遠端側，
所述目標探針形成下述形狀，即，具有使其前端進入遠端側的
所述第2線圈的感應區域的長度，在其前端進入遠端側的所述第2
線圈的感應區域時，該目標探針的靠近根部的規定部分進入所述第1
線圈的感應區域，利用靠近該根部的規定部分增強第1線圈的感應程
度，以抵消該第2線圈的感應。
3.一種流量控制閥，其在具有多個端口的套筒內，可滑動地收
容具有多個閥體的滑閥，通過利用致動器使該滑閥直線地移動，進行
流量控制，
其特征在于，具有：
大致直線狀的目標探針，其安裝在所述滑閥的一端，由磁響應
性的材質構成；
開口，其設置在所述套筒的一端，以容許所述目標探針通過；
傳感器殼體，其安裝在所述套筒的所述一端，用于檢測所述目
標探針的直線位置，其中，所述傳感器殼體具有筒部，該筒部形成有
容許所述目標探針進入的內部空間，所述內部空間與所述套筒的所述
一端的所述開口連結，所述筒部由非磁性體構成；以及
第1線圈以及第2線圈，其在所述傳感器殼體內的所述筒部的
周圍，沿軸向隔著規定間隔而配置，
對將所述第1及第2線圈的輸出進行差動合成而得到的交流檢
測信號進行整流，并生成直流檢測電壓信號的電路；以及
增益設定電路，其將所述直流檢測電壓信號放大，
所述第1線圈配置為與所述目標探針進行感應，所述目標探針
形成使相對于該第1線圈的磁響應性與該目標探針的直線位置對應
而向一個方向逐漸變化的構造，并且所述第2線圈構成為，至少在所
述目標探針的規定的直線位移范圍內不與該目標探針的直線位移進
行感應，通過將所述第1及第2線圈的輸出進行差動合成，從而檢測
所述目標探針的直線位置即所述滑閥的位置，
并且，在增益設定電路中，作為增益設定用的電阻元件，使用
具有規定溫度特性的電阻元件，設定所述增益設定用的電阻元件的所
述規定溫度特性，以抵消由渦流損耗以及電路內要素的溫度特性引起
的阻抗變化。
4.一種流量控制閥，其在具有多個端口的套筒內，可滑動地收
容具有多個閥體的滑閥，通過利用致動器使該滑閥直線地移動，進行
流量控制，
其特征在于，具有：
大致直線狀的目標探針，其安裝在所述滑閥的一端，由磁響應
性的材質構成；
開口，其設置在所述套筒的一端，以容許所述目標探針通過；
傳感器殼體，其安裝在所述套筒的所述一端，用于檢測所述目
標探針的直線位置，其中，所述傳感器殼體具有筒部，該筒部形成有
容許所述目標探針進入的內部空間，所述內部空間與所述套筒的所述
一端的所述開口連結，所述筒部由非磁性體構成；以及
第1線圈以及第2線圈，其在所述傳感器殼體內的所述筒部的
周圍，沿軸向隔著規定間隔而配置，
所述第1線圈配置為與所述目標探針進行感應，所述目標探針
形成使相對于該第1線圈的磁響應性與該目標探針的直線位置對應
而向一個方向逐漸變化的構造，并且所述第2線圈構成為，至少在所
述目標探針的規定的直線位移范圍內不與該目標探針的直線位移進
行感應，通過將所述第1及第2線圈的輸出進行差動合成，從而檢測
所述目標探針的直線位置即所述滑閥的位置，
對于所述滑閥的最大位移量不同的多種流量控制閥，通過使設
置在所述套筒的一端的開口的尺寸、和所述傳感器殼體相對于所述套
筒的一端的安裝構造通用化，并且使所述傳感器殼體內的所述筒部所
形成的所述內部空間的長度成為可以與所述多種流量控制閥中最長
的所述滑閥的最大位移量對應的尺寸，由此，雖然針對所述多種流量
控制閥使用不同尺寸的所述目標探針，但包含所述第1線圈以及第2
線圈在內的相同的所述傳感器殼體，可以共通地應用于所述多種流量
控制閥。
5.根據權利要求1至4中的任一項所述的流量控制閥，其特征
在于，
在所述傳感器殼體內，在所述筒部的周圍空間中收容用于對所
述第1及第2線圈進行交流勵磁的電路、以及用于生成并輸出位置檢
測數據的電路。
6.根據權利要求1或3或4所述的流量控制閥，其特征在于，
相對于所述目標探針，所述第1線圈位于近端側，第2線圈位
于遠端側。
7.根據權利要求6所述的流量控制閥，其特征在于，
所述目標探針具有使其前端不會進入遠端側的所述第2線圈的
感應區域中的長度。
8.根據權利要求1或3或4所述的流量控制閥，其特征在于，
在所述第2線圈的內側，環狀地設置磁響應性屏蔽部件。
9.根據權利要求1至4中任一項所述的流量控制閥，其特征在
于，
所述目標探針具有多片硅鋼板的層疊體。
10.根據權利要求9所述的流量控制閥，其特征在于，
所述多片硅鋼板的層疊體由樹脂進行模塑。
11.一種用于流量控制閥的滑閥位置檢測裝置，其特征在于，
所述流量控制閥，在具有多個端口的套筒內，可滑動地收容具
有多個閥體的滑閥，通過利用致動器使該滑閥直線地移動，從而進行
流量控制，
所述滑閥位置檢測裝置具有：大致直線狀的目標探針，其安裝
在所述流量控制閥的所述滑閥的一端，由磁響應性的材質構成，其中，
在所述流量控制閥的所述套筒的一端設置開口，以容許所述目標探針
通過；
傳感器殼體，其安裝在所述流量控制閥的所述套筒的所述一端，
用于檢測所述目標探針的直線位置，其中，所述傳感器殼體具有筒部，
該筒部形成有容許所述目標探針進入的內部空間，所述內部空間與所
述套筒的所述一端的所述開口連結，所述筒部由非磁性體構成；以及
第1線圈以及第2線圈，其在所述傳感器殼體內的所述筒部的
周圍，沿軸向隔著規定間隔而配置，
所述第1線圈配置為與所述目標探針進行感應，所述目標探針
具有體積逐漸減小的錐形形狀的前端部分，使相對于該第1線圈的磁
響應性與該目標探針的直線位置對應而向一個方向逐漸變化，并且所
述第2線圈構成為，至少在所述目標探針的規定的直線位移范圍內不
與該目標探針的直線位移進行感應，通過將所述第1及第2線圈的輸
出進行差動合成，從而檢測所述目標探針的直線位置即所述滑閥的位
置，
并且，所述目標探針由多片硅鋼板的層疊體構成，包含具有面
積逐漸減小的錐形形狀的前端部分的多個所述硅鋼板，且靠近層的中
央的所述硅鋼板的所述錐形形狀部分的長度比靠近外側的所述硅鋼
板的所述錐形形狀部分的長度長。
12.一種用于流量控制閥的滑閥位置檢測裝置，其特征在于，
所述流量控制閥，在具有多個端口的套筒內，可滑動地收容具
有多個閥體的滑閥，通過利用致動器使該滑閥直線地移動，從而進行
流量控制，
所述滑閥位置檢測裝置具有：
大致直線狀的目標探針，其安裝在所述流量控制閥的所述滑閥
的一端，由磁響應性的材質構成，其中，在所述流量控制閥的所述套
筒的一端設置開口，以容許所述目標探針通過；
傳感器殼體，其安裝在所述流量控制閥的所述套筒的所述一端，
用于檢測所述目標探針的直線位置，其中，所述傳感器殼體具有筒部，
該筒部形成有容許所述目標探針進入的內部空間，所述內部空間與所
述套筒的所述一端的所述開口連結，所述筒部由非磁性體構成；
第1線圈以及第2線圈，其在所述傳感器殼體內的所述筒部的
周圍，沿軸向隔著規定間隔而配置；
對將所述第1及第2線圈的輸出進行差動合成而得到的交流檢
測信號進行整流，并生成直流檢測電壓信號的電路；以及
增益設定電路，其將所述直流檢測電壓信號放大，
所述第1線圈配置為與所述目標探針進行感應，所述目標探針
形成使相對于該第1線圈的磁響應性與該目標探針的直線位置對應
而向一個方向逐漸變化的構造，并且所述第2線圈構成為，至少在所
述目標探針的規定的直線位移范圍內不與該目標探針的直線位移進
行感應，通過將所述第1及第2線圈的輸出進行差動合成，從而檢測
所述目標探針的直線位置即所述滑閥的位置，
并且，在增益設定電路中，作為增益設定用的電阻元件，使用
具有規定溫度特性的電阻元件，設定所述增益設定用的電阻元件的所
述規定溫度特性，以抵消由渦流損耗以及電路內要素的溫度特性引起
的阻抗變化。
13.一種用于流量控制閥的滑閥位置檢測裝置，其特征在于，
所述流量控制閥，在具有多個端口的套筒內，可滑動地收容具
有多個閥體的滑閥，通過利用致動器使該滑閥直線地移動，從而進行
流量控制，
所述滑閥位置檢測裝置具有：
大致直線狀的目標探針，其安裝在所述流量控制閥的所述滑閥
的一端，由磁響應性的材質構成，其中，在所述流量控制閥的所述套
筒的一端設置開口，以容許所述目標探針通過；
傳感器殼體，其安裝在所述流量控制閥的所述套筒的所述一端，
用于檢測所述目標探針的直線位置，其中，所述傳感器殼體具有筒部，
該筒部形成有容許所述目標探針進入的內部空間，所述內部空間與所
述套筒的所述一端的所述開口連結，所述筒部由非磁性體構成；以及
第1線圈以及第2線圈，其在所述傳感器殼體內的所述筒部的
周圍，沿軸向隔著規定間隔而配置，
所述第1線圈配置為與所述目標探針進行感應，所述目標探針
形成使相對于該第1線圈的磁響應性與該目標探針的直線位置對應
而向一個方向逐漸變化的構造，并且所述第2線圈構成為，至少在所
述目標探針的規定的直線位移范圍內不與該目標探針的直線位移進
行感應，通過將所述第1及第2線圈的輸出進行差動合成，從而檢測
所述目標探針的直線位置即所述滑閥的位置，
并且，對于所述滑閥的最大位移量不同的多種流量控制閥，通
過使設置在所述套筒的一端的開口的尺寸、和所述傳感器殼體相對于
所述套筒的一端的安裝構造通用化，并且使所述傳感器殼體內的所述
筒部所形成的所述內部空間的長度成為可以與所述多種滑閥型流量
控制閥中最長的所述滑閥的最大位移量對應的尺寸，由此，雖然針對
所述多種流量控制閥使用不同尺寸的所述目標探針，但包含所述第1
線圈以及第2線圈在內的相同的所述傳感器殼體，可以共通地應用于
所述多種滑閥型流量控制閥。
14.根據權利要求11至13中任一項所述的用于流量控制閥的滑
閥位置檢測裝置，其特征在于，
在所述第2線圈的內側，設置環狀的磁響應性屏蔽部件。