原子力顯微鏡的Z掃描器和探針裝置及探針裝置安裝器，裝置有Z掃描器和連接在Z掃描器下面的探針裝置，Z掃描器有由下至上依次設(shè)置的環(huán)形鐵片、環(huán)形壓電陶瓷片和環(huán)形磁鐵，環(huán)形鐵片、環(huán)形壓電陶瓷片和環(huán)形磁鐵同軸設(shè)置，內(nèi)周共同構(gòu)成通光孔；探針裝置有用于與環(huán)形鐵片通過磁力相連的探針夾持結(jié)構(gòu)，嵌入在探針夾持結(jié)構(gòu)上的懸臂梁探針和通過螺絲將懸臂梁探針固定在探針夾持結(jié)構(gòu)上的彈簧壓片。探針裝置的探針裝置安裝器有安裝器主體的一端形成有矩形開口，矩形開口的兩側(cè)和底部分布的形成有用于通過沉頭螺釘連接探針裝置的沉頭螺紋孔，安裝器主體遠(yuǎn)離矩形開口部分，形成有用于連接外部裝置的沉頭通孔。本發(fā)明能夠適用于各種功效和多種掃描方式的原子力顯微鏡。

1.一種用于原子力顯微鏡的裝置，包括有Z掃描器（1）、連接在所述Z掃描器（1）下面的探針裝置（2）、探針裝置安裝器（3），其特征在于，所述的Z掃描器（1）包括：由下至上依次設(shè)置的環(huán)形鐵片（11）、環(huán)形壓電陶瓷片（12）和環(huán)形磁鐵（13），所述環(huán)形鐵片（11）、環(huán)形壓電陶瓷片（12）和環(huán)形磁鐵（13）同軸設(shè)置，內(nèi)周共同構(gòu)成通光孔（14）；所述探針裝置（2）包括：用于與所述的環(huán)形鐵片（11）通過磁力相連的探針夾持結(jié)構(gòu)（21），嵌入在所述探針夾持結(jié)構(gòu)（21）上的懸臂梁探針（22）和通過螺絲（24）將所述的懸臂梁探針（22）固定在所述探針夾持結(jié)構(gòu)（21）上的彈簧壓片（23），所述的探針夾持結(jié)構(gòu)（21）包括夾持主體（211），所述夾持主體（211）的下端面一體形成有平部分（212）和斜面部分（213），在所述平部分（212）上且鄰近斜面部分（213）形成有與所述的通光孔（14）相對應(yīng)的上下貫通的通光窗口（214）和位于通光窗口（214）周邊的用于連接外部的探針裝置安裝器（3）的安裝孔（215），在斜面部分（213）上臨近所述通光窗口（214）的一側(cè)形成有用于嵌入所述懸臂梁探針（22）的凹槽（216），在斜面部分（213）上對應(yīng)凹槽（216）一側(cè)形成有用于通過螺絲（24）固定彈簧壓片（23）的螺孔（217），所述彈簧壓片（23）的一端壓在所述安裝懸臂梁探針（22）上；所述夾持主體（211）的上端面嵌入有三個用于與所述Z掃描器（1）上的環(huán)形鐵片（11）通過磁力相連的磁塊（218）；所述的探針裝置安裝器(3)， 包括有安裝器主體（31），所述安裝器主體（31）的一端形成有矩形開口（32），所述矩形開口（32）的兩側(cè)和底部分布的形成有4個用于通過沉頭螺釘（4）連接探針裝置（2）的沉頭螺紋孔（33），所述安裝器主體（31）的遠(yuǎn)離矩形開口（32）的部分，形成有用于連接外部裝置的沉頭通孔（34）。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于原子力顯微鏡的裝置，其特征在于，所述的環(huán)形磁鐵（13）的內(nèi)徑大于環(huán)形壓電陶瓷片（12）的內(nèi)徑。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于原子力顯微鏡的裝置，其特征在于，所述的環(huán)形鐵片（11）、環(huán)形壓電陶瓷片（12）和環(huán)形磁鐵（13）之間是通過環(huán)氧樹脂膠固定連接，其中，所述的環(huán)形鐵片（11）下端面連接探針夾持器（2），所述環(huán)形磁鐵（13）的上端面安裝在原子力顯微鏡的Y掃描器上。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于原子力顯微鏡的裝置，其特征在于，所述的彈簧壓片（23）沿長度方向形成有用于調(diào)節(jié)彈簧壓片（23）壓在所述懸臂梁探針（22）上的量的調(diào)節(jié)槽（231），所述螺絲（24）貫穿所述調(diào)節(jié)槽（231）與所述的螺孔（217）螺紋連接。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于原子力顯微鏡的裝置，其特征在于，所述的斜面部分（213）是與水平面夾角為10-12°的傾斜面。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于原子力顯微鏡的裝置，其特征在于，所述用于嵌入懸臂梁探針（22）的凹槽（216）深度為0.2～0.3mm。