本發(fā)明是有關(guān)于一種分離式結(jié)構(gòu)的探針，用來接觸一待測物，以對(duì)其電氣特性進(jìn)行探測。本發(fā)明所提供的探針具有一接觸頭，可以用來接觸待測物，并且此探針具有一第一針體和一第二針體。其中，第一針體與接觸頭互相連接，以傳送一測試訊號(hào)到待測物上來進(jìn)行探測。另外，第二針體也連接到接觸頭，其用來傳送待測物因?yàn)闇y試訊號(hào)所產(chǎn)生的一回應(yīng)訊號(hào)，以獲得待測物的電氣特性。本發(fā)明所提供的探針具有較小的訊號(hào)衰減度，進(jìn)而使本發(fā)明提供的偵測裝置能夠較精確地量測待測物的電氣特性。

1.一種分離式結(jié)構(gòu)的探針，適于接觸一待測物，以對(duì)該待測物的電氣特性進(jìn)行探測，該探針連接至一電路板，該電路板具有一第一表面和一第二表面，且該第一表面具有一第一訊號(hào)傳輸走線，該第二表面具有一第二訊號(hào)傳輸走線，其特征在于該探針具有：一第一訊號(hào)端，連接至該第一訊號(hào)傳輸走線；一第二訊號(hào)端，連接至該第二訊號(hào)傳輸走線；一接觸頭，用以接觸該待測物；一第一針體，連接該接觸頭與該第一訊號(hào)端，該第一針體從該第一訊號(hào)傳輸走線接收一測試訊號(hào)，并從該接觸頭送至該待測物上，以使該待測物產(chǎn)生一回應(yīng)訊號(hào)；以及一第二針體，連接該接觸頭與該第二訊號(hào)端，用以傳送該待測物對(duì)該測試訊號(hào)所產(chǎn)生的一回應(yīng)訊號(hào)至該第二訊號(hào)端。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分離式結(jié)構(gòu)的探針，其特征在于其中所述的接觸頭、第一針體和第二針體的材質(zhì)為鎢鋼、鈹銅或鈀合金。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分離式結(jié)構(gòu)的探針，其特征在于其中所述的待測物包含晶圓上的各晶粒和一半導(dǎo)體元件二者其中之一。4.一種具有低訊號(hào)衰減的測試裝置，適于量測一待測物的電氣特性，其特征在于該測試裝置包括：一電路板，具有一第一表面和一第二表面，且該第一表面具有一第一訊號(hào)傳輸走線，該第二表面具有一第二訊號(hào)傳輸走線；一第一探針，具有一接觸端，用以接觸該待測物，并具有一第一訊號(hào)端和一第二訊號(hào)端，其中該第一訊號(hào)端連接至該第一訊號(hào)傳輸走線，該第二訊號(hào)端連接至該第二訊號(hào)傳輸走線，其中該第一探針透過該第一訊號(hào)端從該第一訊號(hào)傳輸走線接收一測試訊號(hào)，并從該接觸端送至該待測物上，以使該待測物產(chǎn)生一回應(yīng)訊號(hào)，而該第一探針再透過該第二訊號(hào)端將該回應(yīng)訊號(hào)送至該第二訊號(hào)傳輸走線，以量測該待測物的電氣特性。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有低訊號(hào)衰減的測試裝置，其特征在于其更包括：一第二探針，其中一端用以接觸該待測物，另一端則電性連接至該電路板，以連接一共同電壓；以及一第三探針，其中一端用以接觸該待測物，另一端則電性連接至該電路板，以連接該共同電壓。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有低訊號(hào)衰減的測試裝置，其特征在于其中所述的共同電壓的電位為接地電位。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有低訊號(hào)衰減的測試裝置，其特征在于其更包括：一第四探針，其中一端連接至該第二探針，另一端則電性連接至該電路板，以連接該共同電壓；以及一第五探針，其中一端連接至該第三探針，另一端則電性連接至該電路板，以連接該共同電壓。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的具有低訊號(hào)衰減的測試裝置，其特征在于其中所述的第一探針、第二探針、第三探針、第四探針和第五探針的材質(zhì)為鎢鋼、鈹銅或鈀合金。9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有低訊號(hào)衰減的測試裝置，其特征在于其中所述的第一探針的材質(zhì)為鈹銅或鈀合金。10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有低訊號(hào)衰減的測試裝置，其特征在于其中所述的待測物包含晶圓上的各晶粒和一半導(dǎo)體元件二者其中之一。