1.一種表面電阻測試探頭,其特征在于:包括一個平面等厚的絕緣模塊(2),所述的絕
緣模塊(2)上設有四個等距直線排列、孔徑形狀相同的上下貫通的通孔(3),四個所述的通
孔(3)內的相同位置各設有一條與電阻測試外電路連接的金屬導線(5),四個所述的通孔
(3)內均注入有等量的水銀(6)形成水銀柱與所述的通孔(3)內的所述的金屬導線(5)和所
述的通孔(3)的下方的待測樣品表面連通;所述水銀柱通過位于通孔(3)上方的水銀儲存注
入裝置(4)注入和回收;所述水銀存儲注入裝置(4)由可變形頭和注射管組成,水銀存儲注
入裝置上方有一壓板(9),測試前,壓板(9)壓下,可變形頭中存儲的水銀注滿通孔形成測試
水銀柱,測試完畢,壓板(9)復位,可變形頭產生吸力,水銀柱被收回。
2.根據權利要求1所述的表面電阻測試探頭,其特征在于:所述的金屬導線(5)伸入到
所述的通孔(3)內的部分的長度形狀完全相同。
3.根據權利要求1或2所述的表面電阻測試探頭,其特征在于:所述的金屬導線(5)在所
述的絕緣模塊(2)內部打孔進入所述的通孔(3),或從所述的通孔(3)的上方進入到所述的
通孔(3)內。
4.根據權利要求1或2所述的表面電阻測試探頭,其特征在于:所述的絕緣模塊(2)為有
機玻璃板、陶瓷板或聚苯胺板。
5.具有權利要求1所述的表面電阻測試探頭的測試裝置,其特征在于:包括一個四端電
阻測試外電路和一個四端測試頭即所述的表面電阻測試探頭,所述的表面電阻測試探頭包
括一個平面等厚的絕緣模塊(2),所述的絕緣模塊(2)上設有四個等距直線排列、孔徑形狀
相同的上下貫通的通孔(3),四個所述的通孔(3)內的相同位置各設有一條與所述的四端電
阻測試外電路連接的金屬導線(5),通孔(3)上方設一水銀儲存注入裝置(4),由可變形頭和
注射管組成,水銀存儲注入裝置上方有一壓板(9),測試前,壓板(9)壓下,可變形頭中存儲
的水銀注滿通孔形成測試水銀柱,與所述的通孔(3)內的所述的金屬導線(5)和所述的通孔
(3)的下方的待測樣品表面連通,形成“四端電阻測試外電路-金屬導線-水銀柱-待測樣
品”測試通路,測試完畢,壓板(9)復位,可變形頭產生吸力,水銀柱被收回。
6.根據權利要求5所述的表面電阻測試探頭的測試裝置,其特征在于:所述的四端電阻
測試外電路為含兩個電流端和兩個電壓端的電阻測試電路或集成電阻測試設備。
7.根據權利要求6所述的表面電阻測試探頭的測試裝置,其特征在于:所述的四端電阻
測試外電路的兩個電流端與四個所述的通孔(3)的最外兩個所述的通孔(3)內的所述的金
屬導線(5)相連,兩個電壓端與四個所述的通孔(3)的中間兩個所述的通孔(3)內的所述的
金屬導線(5)相連。
8.使用權利要求1所述的表面電阻測試探頭的表面電阻測試方法,其特征在于:使用四
個等距直線排列、形狀高度相同的液態的水銀柱作為測試探頭接觸被測樣品表面并分別與
電阻測試外電路的電流、電壓四個端口連接,形成“電阻測試外電路-水銀柱-待測樣品表
面”通路,通過四端測電阻原理測量待測樣品電阻。
9.根據權利要求8所述的使用表面電阻測試探頭的表面電阻測試方法,其特征在于:通
過移動待測樣品表面的絕緣模塊來移動水銀柱,從而獲得待測樣品不同區域的電阻。
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