本發(fā)明提出一種平行平面間距測量裝置，其特征在于：包括底板、旋轉(zhuǎn)臺、定位支架和間距測量儀，所述定位支架上安裝雙向調(diào)節(jié)測量裝置，所述旋轉(zhuǎn)臺可相對底板運(yùn)動，帶動所述雙向調(diào)節(jié)測量裝置旋轉(zhuǎn)，通過所述間距測量儀測量所述雙向調(diào)節(jié)測量裝置探頭間距離。本發(fā)明還公開了一種平行平面間距測量方法。本發(fā)明通過采用雙向調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)臺式平面測量裝置提高了接觸式測量精度并減少了測量耗時(shí)。測量探頭連線與測量平面的夾角可以通過測量裝置保證，測量接觸力可以通過在線調(diào)節(jié)保證并一致性較好，可以應(yīng)用到所有針對狹小空間的高精度接觸式平行平面測量。

1.一種平行平面間距測量裝置，其特征在于：包括底板、旋轉(zhuǎn)臺、定位支架和高度規(guī)，所
述定位支架上安裝雙向調(diào)節(jié)測量裝置，所述旋轉(zhuǎn)臺可相對底板運(yùn)動，帶動所述雙向調(diào)節(jié)測
量裝置旋轉(zhuǎn)，所述雙向調(diào)節(jié)測量裝置包括兩個(gè)一維微分頭調(diào)節(jié)平移臺和兩個(gè)具有探頭的測
量儀，測量儀通過支撐桿固定在所述一維微分頭調(diào)節(jié)平移臺上；測量時(shí)使所述雙向調(diào)節(jié)測
量裝置的探頭分別與上測量平面的下表面和下測量平面的上表面接觸，通過所述高度規(guī)測
量所述雙向調(diào)節(jié)測量裝置探頭間距離。
2.如權(quán)利要求1所述的平行平面間距測量裝置，其特征在于：所述測量儀為千分表。
3.如權(quán)利要求1所述的平行平面間距測量裝置，其特征在于：所述測量儀探頭與被測量
平面為點(diǎn)接觸。
4.如權(quán)利要求1所述的平行平面間距測量裝置，其特征在于：所述測量儀探頭與被測量
平面為柔性接觸。
5.如權(quán)利要求1所述的平行平面間距測量裝置，其特征在于：所述雙向調(diào)節(jié)測量裝置為
多組。
6.如權(quán)利要求1所述的平行平面間距測量裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)臺的調(diào)節(jié)范圍為
360°。
7.一種如權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的平行平面間距測量裝置的使用方法，包括以下步
驟：
a)固定雙向調(diào)節(jié)測量裝置和高度規(guī)的位置，使雙向調(diào)節(jié)測量裝置的探頭分別位于上、
下測量平面之間；
b)調(diào)節(jié)兩個(gè)一維微分頭調(diào)節(jié)平移臺，使雙向調(diào)節(jié)測量裝置的探頭分別與上測量平面的
下表面和下測量平面的上表面接觸并記錄雙向調(diào)節(jié)測量裝置的讀數(shù)；
c)旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺，使雙向調(diào)節(jié)測量裝置的上探頭與高度規(guī)的上量塊下表面接觸，記錄雙
向調(diào)節(jié)測量裝置的讀數(shù)；
d)調(diào)節(jié)雙向調(diào)節(jié)測量裝置的下探頭與高度規(guī)的下量塊的上表面接觸，記錄雙向調(diào)節(jié)測
量裝置的讀數(shù)；
e)讀取高度規(guī)下量塊的上表面與上量塊的下表面間距數(shù)據(jù)。