本發(fā)明公開了一種多工件臺(tái)直寫光刻系統(tǒng)，采用并行曝光結(jié)構(gòu)，屬于直寫式光刻機(jī)曝光技術(shù)領(lǐng)域。包括在支撐結(jié)構(gòu)上通過(guò)掃描方向運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌安裝的并行式多工件臺(tái)；以及通過(guò)步進(jìn)方向運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌安裝的，實(shí)現(xiàn)對(duì)基板曝光的光路系統(tǒng)。與現(xiàn)有的單工件臺(tái)直寫光刻技術(shù)相比，本發(fā)明大幅降低了結(jié)構(gòu)的復(fù)雜性，使原本按順序串行進(jìn)行的曝光流程變?yōu)椴⑿械钠毓饬鞒蹋瑯O大地縮短了曝光時(shí)間，相比目前主流單工件臺(tái)式直寫式曝光機(jī)的產(chǎn)能有著顯著的增加。此外，本發(fā)明一方面簡(jiǎn)化了的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能夠更好的發(fā)揮真空吸附效果，提高曝光品質(zhì)及生產(chǎn)良率；另一方面，由于多工件臺(tái)的平行設(shè)計(jì)，不需要聚焦模塊和對(duì)準(zhǔn)模塊進(jìn)行上下移動(dòng)，在保證光刻精度的同時(shí)，不會(huì)增加任何的耗時(shí)。

1.一種多工件臺(tái)直寫光刻系統(tǒng)，其特征在于，
包括在支撐結(jié)構(gòu)上通過(guò)掃描方向運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌安裝的并行式多工件臺(tái)；
以及通過(guò)步進(jìn)方向運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌安裝的，實(shí)現(xiàn)對(duì)基板曝光的光路系統(tǒng)；
所述并行式多工件臺(tái)通過(guò)掃描方向運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌隨掃描軸進(jìn)行縱向移動(dòng)；
所述光路系統(tǒng)通過(guò)步進(jìn)方向運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌隨步進(jìn)軸進(jìn)行橫向移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多工件臺(tái)直寫光刻系統(tǒng)，其特征在于，
所述并行式多工件臺(tái)為左右并排設(shè)置，承載待曝光的基板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多工件臺(tái)直寫光刻系統(tǒng)，其特征在于，
所述掃描方向運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌承載多個(gè)工件臺(tái)獨(dú)立作掃描方向的往復(fù)運(yùn)動(dòng)；
掃描方向運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)范圍使多個(gè)工件臺(tái)的縱向范圍被光路系統(tǒng)覆蓋。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多工件臺(tái)直寫光刻系統(tǒng)，其特征在于，
所述安裝光路系統(tǒng)的步進(jìn)方向運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌承載光路系統(tǒng)作步進(jìn)方向的移動(dòng)；
整個(gè)光路系統(tǒng)的掃描曝光范圍覆蓋整個(gè)多工件臺(tái)的橫向距離。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多工件臺(tái)直寫光刻系統(tǒng)，其特征在于，
所述支撐結(jié)構(gòu)為龍門結(jié)構(gòu)。