本發(fā)明涉及一種用于通過(guò)測(cè)量頭(110)來(lái)檢查基板(190)的表面的測(cè)量裝置，該測(cè)量頭具有用于檢測(cè)表面的傳感器(111)和設(shè)置在傳感器旁側(cè)的氣動(dòng)件(112)，該氣動(dòng)件包括入口(115)和至少一個(gè)向下取向的出口(114)。此外，測(cè)量裝置還具有：面定位系統(tǒng)(220)，其被設(shè)置用來(lái)將測(cè)量頭(110、210)精確地定位在基板(190)之上的x-y平面內(nèi)；以及壓力空氣生成裝置(250)，其與入口(215)氣動(dòng)地耦合，從而在用壓力空氣加載氣動(dòng)件(112、212)時(shí)，測(cè)量頭(110、210)可以預(yù)設(shè)的高度定位在基板(190)上方并且在氣墊上滑動(dòng)。此外，本發(fā)明還涉及一種具有多個(gè)前述類(lèi)型的測(cè)量裝置的測(cè)量系統(tǒng)，該系統(tǒng)這樣地彼此相對(duì)設(shè)置，即各個(gè)傳感器形成測(cè)量行。

1.一種用于檢查基板(190)的表面的測(cè)量裝置，具有：測(cè)量頭(110)，所述測(cè)量頭具有：傳感器(111)，用于檢測(cè)所述表面；在所述傳感器(111)旁側(cè)設(shè)置的氣動(dòng)件(112)，所述氣動(dòng)件包括入口(115)和至少一個(gè)向下取向的出口(114)；面定位系統(tǒng)(220)，設(shè)置用來(lái)將測(cè)量頭(110、210)精確地定位在所述基板(190)之上的x-y平面內(nèi)；以及壓力空氣生成裝置(250)，所述壓力空氣生成裝置與入口(115、215)氣動(dòng)地耦合，從而在用壓力空氣加載氣動(dòng)件(112、212)時(shí)，所述測(cè)量頭(110、210)可以預(yù)設(shè)的高度定位在所述基板(190)上方，所述測(cè)量裝置附加地具有設(shè)置在所述面定位系統(tǒng)(220)與所述測(cè)量頭(110、210)之間的耦合裝置(130、230)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其中，所述耦合裝置(130)這樣地構(gòu)造，即所述測(cè)量頭(110)可沿著垂直于x-y平面的z方向在確定的移動(dòng)范圍內(nèi)自由移動(dòng)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)量裝置，其中，所述耦合裝置(130)這樣地構(gòu)造，即在確定的角度范圍內(nèi)所述測(cè)量頭(110)可圍繞軸線(xiàn)(VP)自由傾斜，所述軸線(xiàn)(VP)平行于x-y平面取向。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)量裝置，其中，所述耦合裝置具有：上耦合件(331)，所述上耦合件與所述氣動(dòng)件剛性地連接；以及下耦合件(333)，所述下耦合件通過(guò)鉸接的懸置裝置與所述上耦合件(331)連接。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)量裝置，其中，所述鉸接的懸置裝置包括至少兩個(gè)桿(332a、332b)，所述桿的上端部與所述上耦合件(331)以及所述桿的下端部與所述下耦合件(333)分別在球形件(334)中連接。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的測(cè)量裝置，其中，所述氣動(dòng)件(112)圍繞所述傳感器(111)設(shè)置。7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的測(cè)量裝置，其中，所述至少一個(gè)向下取向的出口(114)是空氣噴嘴，所述空氣噴嘴被這樣地構(gòu)造，即噴出的空氣的速度達(dá)到接近音速。8.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的測(cè)量裝置，其中，所述傳感器(111)具有光學(xué)的、電容的和/或感應(yīng)式的傳感器件。9.一種用于檢查基板的表面的測(cè)量系統(tǒng)，具有：至少兩個(gè)根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的測(cè)量裝置(100)，所述測(cè)量裝置這樣地彼此設(shè)置，即各個(gè)傳感器沿著測(cè)量行設(shè)置。