本發(fā)明提供掃描型探針顯微鏡及其探針接觸檢測(cè)方法，其在探針接觸的試樣表面是斜面的情況下能改善檢測(cè)出探針與試樣表面的接觸的壓接力的值相比于水平面產(chǎn)生變化的現(xiàn)象。該掃描型探針顯微鏡使探針與試樣表面接觸，利用上述探針掃描上述試樣表面，具備：懸臂，其在前端具有上述探針；位移檢測(cè)部，其檢測(cè)上述懸臂的撓曲量和扭曲量；以及接觸判定部，其根據(jù)由上述位移檢測(cè)部檢測(cè)到的無(wú)變形的懸臂中的全方位的撓曲量和扭曲量，判定上述探針對(duì)于上述試樣表面的一次接觸。

1.一種掃描型探針顯微鏡，使探針與試樣表面接觸，利用所述探針掃描所述試樣表面，該掃描型探針顯微鏡具備：懸臂，其在前端具有所述探針；位移檢測(cè)部，其檢測(cè)所述懸臂的撓曲量和扭曲量；接觸判定部，其根據(jù)由所述位移檢測(cè)部檢測(cè)到的無(wú)變形的懸臂中的全方位的撓曲量和扭曲量，判定所述探針對(duì)于所述試樣表面的一次接觸；測(cè)定部，其在使所述探針與所述試樣表面接觸時(shí)，測(cè)定任意一方相對(duì)于另一方進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的距離即相對(duì)距離；移動(dòng)驅(qū)動(dòng)部，其在由所述測(cè)定部測(cè)定所述相對(duì)距離之后，使所述探針向從所述試樣離開的方向進(jìn)行退避，移動(dòng)至所述試樣的下一測(cè)定位置；以及計(jì)算部，其根據(jù)所述撓曲量以及所述扭曲量，計(jì)算使所述探針向從所述試樣離開的方向退避的退避距離，所述移動(dòng)驅(qū)動(dòng)部具備：XY掃描儀，在所述退避之后，該XY掃描儀使得所述探針移動(dòng)至測(cè)定下降位置，該測(cè)定下降位置位于所述下一測(cè)定位置的正上方，并且在該測(cè)定下降位置不接觸所述探針；以及Z方向驅(qū)動(dòng)裝置，其使所述探針從所述測(cè)定下降位置下降到所述下一測(cè)定位置，基于所述計(jì)算部的所述退避距離的計(jì)算是與所述掃描的方向上的所述試樣的斜面的傾斜對(duì)應(yīng)地進(jìn)行的，其中，所述掃描的方向上的所述試樣的斜面的傾斜是根據(jù)所述扭曲量而決定的。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描型探針顯微鏡，其中，所述接觸判定部在所述撓曲量與所述扭曲量中的至少任意一個(gè)超過(guò)預(yù)定范圍的情況下，判定為所述探針與所述試樣表面接觸。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掃描型探針顯微鏡，其中，所述移動(dòng)驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行控制而使得由所述位移檢測(cè)部檢測(cè)到的所述扭曲量或所述撓曲量中的一方維持預(yù)定的邊界值且另一方處于范圍內(nèi)，在這樣的狀態(tài)下利用所述探針進(jìn)行掃描。4.一種掃描型探針顯微鏡的探針接觸檢測(cè)方法，使探針與試樣表面接觸，利用所述探針掃描所述試樣表面，該掃描型探針顯微鏡的探針接觸檢測(cè)方法具備以下的步驟：位移檢測(cè)步驟，檢測(cè)在前端具有所述探針的懸臂的撓曲量和扭曲量；以及接觸判定步驟，根據(jù)通過(guò)所述位移檢測(cè)步驟檢測(cè)出的無(wú)變形的懸臂中的全方位的撓曲量和扭曲量，判定所述探針對(duì)于所述試樣表面的一次接觸，測(cè)定步驟，在使所述探針與所述試樣表面接觸時(shí)，測(cè)定任意一方相對(duì)于另一方進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的距離即相對(duì)距離；退避步驟，根據(jù)所述撓曲量以及所述扭曲量，計(jì)算使所述探針向從所述試樣離開的方向退避的退避距離，并且使所述探針向從所述試樣離開的方向退避；以及移動(dòng)步驟，在所述測(cè)定步驟中測(cè)定所述相對(duì)距離之后，使所述探針移動(dòng)至所述試樣的下一測(cè)定位置，在所述退避步驟之后，XY掃描儀使得所述探針移動(dòng)至測(cè)定下降位置，該測(cè)定下降位置位于所述下一測(cè)定位置的正上方，并且在該測(cè)定下降位置不接觸所述探針，Z方向驅(qū)動(dòng)裝置使所述探針從所述測(cè)定下降位置下降到所述下一測(cè)定位置，在所述退避步驟中，所述退避距離的計(jì)算是與所述掃描的方向上的所述試樣的斜面的傾斜對(duì)應(yīng)地進(jìn)行的，其中，所述掃描的方向上的所述試樣的斜面的傾斜是根據(jù)所述扭曲量而決定的。