1.一種垂直式探針卡，其特征在于，包含：
一多層模塊(11)，包含一空間轉換層(114)，設置在所述多層模塊(11)的一測試側；
多個從動件(12)，其具有變形能力，所述從動件(12)的一端固設于所述空間轉換層
(114)；
一絕緣導引板(13)，開設多個貫通的導孔(131)；
多個探針(14)，每一所述探針(14)能滑移地裝卸在所述絕緣導引板(13)的對應導孔
(131)內，并包含一頭部(141)及一針尖(142)；所述探針(14)的頭部(141)接觸對應從動件
(12)的一自由端(121)，致使所述探針(14)與所述多層模塊(11)電性相連；當所述針尖(142)
接觸待測物時，每一所述探針(142)在所述導孔(131)內滑移，而每一所述從動件(12)抵
制對應探針(14)的位移而獨立變形；
所述從動件(12)利用微機電系統或半導體制程技術制造；
所述從動件(12)受力時，可吸收外力而整體變形達到平衡，無須額外設置其它輔
件吸收外力或提供支撐。
2.根據權利要求1所述的垂直式探針卡，其特征在于，所述從動件(12)為一懸臂
結構。
3.根據權利要求2所述的垂直式探針卡，其特征在于，所述懸臂結構包含一懸臂
(122)和一將所述懸臂(122)固定于所述空間轉換層(114)的一基座(123)。
4.根據權利要求3所述的垂直式探針卡，其特征在于，所述空間轉換層(114)具有
一空腔(115)，所述空腔(115)提供所述懸臂(122)變形的空間。
5.根據權利要求2所述的垂直式探針卡，其特征在于，所述空間轉換層(114)具有
一空腔(115)，致使所述懸臂結構的一懸臂(122)可固設于所述空間轉換層(114)，而所述
空腔(115)提供所述懸臂變形的空間。
6.根據權利要求1所述的垂直式探針卡，其特征在于，所述從動件(12)為一屈曲
梁結構。
7.根據權利要求6所述的垂直式探針卡，其特征在于，所述從動件(12)利用自動
或半自動引線接合技術的方式制造或利用放電加工技術的方式制造，將具有彈性和變
形能力的金屬導線固接于所述空間轉換層(114)，其中，所述金屬導線的材質選自由金
(Au)、鋁(A1)、銅(Cu)、銀(Ag)以及鉑(Pt)所組成的群組。
8.根據權利要求6所述的垂直式探針卡，其特征在于，所述從動件(12)利用自動
或半自動引線接合技術的方式制造或利用放電加工技術的方式制造，將具有彈性和變
形能力的金屬導線固接于所述空間轉換層(114)，其中，引線接合后的金屬導線再通過
涂層方式包覆一金屬層，以增加所述從動件(12)整體的機械強度，所述金屬層的材質
選自由鎳(Ni)、鈷(Co)、鐵(Fe)、銅(Co)、金(Au)、鉑(Pt)、銀(Ag)、銠(Rh)以及釕(Ru)
所組成的群組。
9.根據權利要求1所述的垂直式探針卡，其特征在于，所述探針(14)利用微機電
系統或半導體制程技術制造。
10.根據權利要求1所述的垂直式探針卡，其特征在于，所述探針(14)的頭部(141)
為一彈性變形結構。
11.根據權利要求1所述的垂直式探針卡，其特征在于，所述從動件(12)先組裝于
一基板(125)再安裝于所述空間轉換層(114)。
12.根據權利要求1所述的垂直式探針卡，其特征在于，所述多層模塊(11)包含一
印刷電路板(111)，其中，所述空間轉換層(114)與所述印刷電路板(111)電性相連。
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