本發明目的在于降低制造成本。具備多個探針(11)以及主體部(12)，該主體部(12)具有支承探針(11)的前端部(21)的支承部(41、42)以及支承探針(11)的基端部(23)的支承板(43、44)，各支承板(41～44)構成為能從第一姿勢轉移至第二姿勢且能維持該狀態，所述第一姿勢中各支承板(41～44)相互抵接并相堆疊，以使得各支承孔(51～54)的各開口面沿著垂直方向在假想直線上相對，所述第二姿勢中支承板(41、42)相抵接且支承板(42、43)相隔開，并且支承孔(52～54)的各開口面沿著傾斜方向在假想直線(A3)上相對，探針(11)維持在如下狀態：在被第二姿勢的各支承板(41～44)支承的狀態下、前端部(21)沿著垂直方向延伸且除去前端部(21)以外的部分沿著傾斜方向延伸。

1.一種探針單元，具備多個探針及支承該探針的支承部，所述多個探針用于使其前端
部與基板的導體部相接觸從而進行電信號的輸入輸出，
所述支承部具備第一支承板、第二支承板以及第三支承板并配置成該各支承板以上述
順序相對并且具備配置在所述第一支承板和所述第二支承板之間的間隔件而構成，所述第
一支承板具有第一支承孔且對插通于該第一支承孔的所述前端部進行支承，所述第二支承
板具有第二支承孔且對插通于該第二支承孔的所述探針的基端部進行支承，所述第三支承
板具有第三支承孔且對插通于該第三支承孔的所述基端部進行支承，
所述各支承板以如下姿勢固定于所述間隔件，該姿勢為：在所述第二支承板及所述第
三支承板相抵接或靠近的狀態下，所述第一支承板與所述第二支承板相隔開，并且所述第
一支承孔、所述第二支承孔及所述第三支承孔的各開口面沿著相對于該各支承板的層疊方
向傾斜的傾斜方向在假想直線上相對，
所述探針維持在所述前端部沿著所述第一支承孔延伸并且除去該前端部以外的部分
沿著所述傾斜方向延伸的狀態，
所述第一支承板形成有可供第一定位銷和第二定位銷插通的第一插通孔，
所述第二支承板和所述第三支承板分別形成有可供所述第一定位銷插通的第二插通
孔和可供第三定位銷插通的第三插通孔，
所述間隔件中，可供所述第二定位銷插入的第一插入孔形成于與所述第一支承板相對
的面，可供所述第三定位銷插入的第二插入孔形成于與所述第二支承板相對的面，
所述第一插通孔和所述第二插通孔分別形成在如下位置：當該各支承板相互抵接或靠
近而堆疊時該各插通孔的中心軸成為同軸以使得所述第一支承孔、所述第二支承孔及所述
第三支承孔的各開口面沿著與所述各支承板垂直的垂直方向在假想直線上相對，
所述第一插入孔形成在如下位置：當所述各支承板處于所述姿勢時該第一插入孔的中
心軸與所述第一插通孔的中心軸成為同軸，
所述第三插通孔和所述第二插入孔分別形成在如下位置：當所述各支承板處于所述姿
勢時該第三插通孔的中心軸與該第二插入孔的中心軸成為同軸。
2.如權利要求1所述的探針單元，其特征在于，
所述間隔件形成為包圍所述各探針且俯視時呈U字形。
3.一種基板檢查裝置，其特征在于，
具備權利要求1或2所述的探針單元、以及檢查部，所述檢查部基于通過與基板的導體
部相接觸的所述探針單元的所述探針而輸入的電信號來檢查該基板。
4.一種探針單元制造方法，用于制造探針單元，該探針單元具備多個探針及支承該探
針的支承部，所述多個探針用于使其前端部與基板的導體部相接觸從而進行電信號的輸入
輸出，其特征在于，
使用所述支承部，所述支承部具備第一支承板、第二支承板以及第三支承板并配置成
該各支承板以上述順序相對并且具備配置在所述第一支承板和所述第二支承板之間的間
隔件而構成，所述第一支承板具有第一支承孔且對插通于該第一支承孔的所述前端部進行
支承，所述第二支承板具有第二支承孔且對插通于該第二支承孔的所述探針的基端部進行
支承，所述第三支承板具有第三支承孔且對插通于該第三支承孔的所述基端部進行支承，
使第一定位銷插通到形成于所述第一支承板的第一插通孔和分別形成于所述第二支
承板和所述第三支承板的第二插通孔中，維持使所述各支承板相互抵接或靠近而堆疊以使
得所述第一支承孔、所述第二支承孔及所述第三支承孔的各開口面沿著與該各支承板垂直
的垂直方向在假想直線上相對的狀態，在該狀態下使所述探針插通于所述各支承孔，之后，
在使所述第二支承板及所述第三支承板相抵接或靠近的狀態下使所述第一支承板與
所述第二支承板相隔開，拔出所述第一定位銷，在所述第一支承板和所述第二支承板之間
配置所述間隔件，
將第二定位銷插入所述第一插通孔和形成于所述間隔件中與所述第一支承板相對的
面上的第一插入孔，并且將第三定位銷插入分別形成于所述第二支承板和所述第三支承板
的第三插通孔和形成于所述間隔件中與該第二支承板相對的面上的第二插入孔，使該各支
承板轉移至所述第一支承孔、所述第二支承孔及所述第三支承孔的各開口面沿著相對于該
各支承板的層疊方向傾斜的傾斜方向在假想直線上相對的姿勢，在轉移后的該姿勢的狀態
下將所述各支承板固定于所述間隔件，使所述探針維持在所述前端部沿著所述第一支承孔
延伸并且除去該前端部以外的部分沿著所述傾斜方向延伸的狀態。
5.如權利要求4所述的探針單元制造方法，其特征在于，
將形成為俯視時呈U字形的所述間隔件配置在所述第一支承板和所述第二支承板之間
以使得包圍所述各探針。