本發(fā)明提供了一種探針卡電路及其測試方法，所述濾波單元、第一節(jié)點(diǎn)、探針單元和第二節(jié)點(diǎn)順次連接構(gòu)成一回路；所述開關(guān)單元處于所述回路中，而探針單元電連接一晶圓；所述晶圓測試機(jī)連接所述第一節(jié)點(diǎn)，所述第二節(jié)點(diǎn)接地。本發(fā)明提供的晶圓測試方法，由于所述開關(guān)單元處在所述濾波單元和所述探針單元構(gòu)成的回路中，可以起到隔離所述濾波單元和所述晶圓的作用，規(guī)避了由于濾波單元的充放電效應(yīng)對晶圓測試造成的影響，在沒有增加任何成本的前提下提升了測試穩(wěn)定性；提升了產(chǎn)品良率。

1.一種探針卡電路，其特征在于，所述探針卡電路包括探針單元、濾波單元、開關(guān)單元、第一節(jié)點(diǎn)和第二節(jié)點(diǎn)；所述濾波單元、第一節(jié)點(diǎn)、探針單元和第二節(jié)點(diǎn)順次連接構(gòu)成一回路，所述開關(guān)單元處于所述回路中；所述探針單元與一晶圓電連接；一晶圓測試機(jī)連接所述第一節(jié)點(diǎn)，所述第二節(jié)點(diǎn)接地；所述開關(guān)單元控制所述探針卡電路的導(dǎo)通和斷開，所述開關(guān)單元開啟時(shí)，所述探針卡電路導(dǎo)通；所述開關(guān)單元閉合時(shí)，所述探針卡電路斷開，以規(guī)避所述濾波單元的充放電效應(yīng)對晶圓造成的影響。2.如權(quán)利要求1所述的探針卡電路，其特征在于，所述濾波單元包括至少一個(gè)電容。3.如權(quán)利要求2所述的探針卡電路，其特征在于，所述濾波單元包括第一電容和第二電容，所述第一電容與所述第二電容并聯(lián)，所述第一電容的容值與所述第二電容的容值不相等。4.如權(quán)利要求3所述的探針卡電路，其特征在于，所述第一電容和所述第二電容中的一個(gè)容值大于等于0.1μF，另一個(gè)容值小于等于0.01μF。5.如權(quán)利要求1所述的探針卡電路，其特征在于，所述晶圓包括多個(gè)芯片，每個(gè)所述芯片上設(shè)置有測試焊點(diǎn)。6.如權(quán)利要求5所述的探針卡電路，其特征在于，所述探針單元包括多個(gè)探針，所述探針的數(shù)量與所述晶圓上芯片的數(shù)量相匹配，每個(gè)所述探針與每個(gè)所述芯片的測試焊點(diǎn)接觸。7.一種探針卡，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的探針卡電路，實(shí)現(xiàn)晶圓測試機(jī)和晶圓之間的信號連接。8.一種晶圓的測試方法，其特征在于，采用如權(quán)利要求7所述的探針卡，對晶圓進(jìn)行測試。