1.一種用于原子力顯微鏡的掃描探針夾持裝置，其特征在于：包括固定夾具(2)、探針
夾連接器(3)和探針夾(4)；所述探針夾連接器(3)固定于固定夾具(2)上，并與探針夾(4)連
接；
所述探針夾連接器(3)包括電路主板(6)、信號電纜(8)和插針(7)；電路主板(6)上固定
有多個插針(7)，其中兩個插針(7)與兩根信號電纜(8)相連。
2.按權利要求1所述的一種用于原子力顯微鏡的掃描探針夾持裝置，其特征在于:所述
固定夾具(2)為一個折彎的金屬片，包括側板(30)和底板(26)；側板(30)上設有多個螺絲孔
(23)和側板減重孔(24)，底板(26)設有多個底板減重孔(25)，與探針夾連接器(3)螺栓連
接；側板(30)的外表面與底板(26)的外表面成100～105度角。
3.按權利要求1所述的一種用于原子力顯微鏡的掃描探針夾持裝置，其特征在于：所述
探針夾(4)包括探針夾電路主板(9)、壓電陶瓷片(12)、探針定位塊(15)、彈簧片(10)和冠簧
插孔(14)；
所述探針夾電路主板(9)上設有多個冠簧插孔(14)和第一過孔(17)、第二過孔(18)；冠
簧插孔(14)與插針(7)對應且數量相等；其中兩個冠簧插孔(14)通過兩個插針(7)的插入與
探針夾連接器(3)上的兩根信號線纜(8)電連接；探針夾電路主板(9)上還設有第一凹槽
(16)，第一凹槽(16)內固定有壓電陶瓷片(12)；壓電陶瓷片(12)上固定有探針定位塊(15)；
所述彈簧片(10)的一端通過第二過孔(18)與探針夾電路主板(9)螺栓連接，另一端依
靠彈簧片(10)的預緊力夾住探針(11)使其固定于探針定位塊(15)上。
4.按權利要求3所述的一種用于原子力顯微鏡的掃描探針夾持裝置，其特征在于：所述
第一凹槽(16)的高度小于或等于壓電陶瓷片(12)的厚度。
5.按權利要求3所述的一種用于原子力顯微鏡的掃描探針夾持裝置，其特征在于：所述
探針定位塊(15)為長方體，上表面有用于定位探針(11)的第二凹槽(21)。
6.按權利要求5所述的一種用于原子力顯微鏡的掃描探針夾持裝置，其特征在于：所述
第二凹槽(21)高度小于探針(11)的厚度。
7.按權利要求3所述的一種用于原子力顯微鏡的掃描探針夾持裝置，其特征在于：還包
括探針夾底座(5)，由固定塊(19)和固定圓柱(20)構成；固定塊(19)上表面設有固定圓柱
(20)；所述固定圓柱(20)與探針夾電路主板(9)上的第一過孔(17)對應；探針夾底座(5)在
更換探針(11)時置于探針夾電路主板(9)下部、通過固定圓柱(20)插入探針夾(4)實現探針
(11)的裝卸。
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